平成17(行ケ)10506 審決取消請求事件

- 1 -平成２０年２月２１日判決言渡平成１７年（行ケ）第１０５０６号審決取消請求事件平成１９年１２月１２日口頭弁論終結判決原告日本電池株式会社承継人株式会社ジーエス・ユアサパワーサプライ訴訟代理人弁護士内田敏彦訴訟代理人弁理士後呂和男同村上二郎同水澤圭子被告ウシオ電機株式会社訴訟代理人弁理士加茂裕邦同五十畑勉男同長谷川吉雄主文 特許庁が無効２００４－８０１５８号事件について平成１７年４月１９日にした審決を取り消す。 訴訟費用は被告の負担とする。 事実及び理由 第１請求主文と同じ。 第２当事者間に争いのない事実 特許庁における手続の経緯被告は，発明の名称を「誘電体バリア放電ランプ，および照射装置」とする特許第３３４６２９１号（平成１０年７月３１日特許出願（以下「本件出願」- 2 -という，平成１４年９月６日設定登録。以下「本件特許」という。請求項。）の数は２である）の特許権者である（以下，設定登録時明細書及び図面（甲。 ２）を併せて「本件明細書」という。 。）原告が，平成１６年９月２２日，本件特許の請求項１及び２に係る発明についての特許を無効とすることを求めて，審判請求（無効２００４－８０１５８号事件）をしたところ，特許庁は，平成１７年４月１９日に「本件審判の請，求は成り立たない」との審決（以下「審決」という）をした。 。 。 特許請求の範囲本件明細書の特許請求の範囲請求項１及び２の記載は次のとおりである以，（下「本件発明１「本件発明２」といい，これらを併せて「本件発明」とい」，うことがある。 。）【請求項１「石英ガラスからなる放電容器の内部に誘電体バリア放電によって】エキシマ分子を ，（下「本件発明１「本件発明２」といい，これらを併せて「本件発明」とい」，うことがある。 。）【請求項１「石英ガラスからなる放電容器の内部に誘電体バリア放電によって】エキシマ分子を形成する放電用ガスが充填され，この放電容器の少なくとも一部に光透過性部分が形成されている誘電体バリア放電ランプにおいて，前記光，，． 透過性部分における非水素結合性ＯＨ基の割合が全体のＯＨ基に対して０３６以下であることを特徴とする誘電体バリア放電ランプ」。 【請求項２「誘電体バリア放電により放電容器内にエキシマが生成されて紫外】線が放出される誘電体バリア放電ランプと，この誘電体バリア放電ランプを収納し，誘電体バリア放電ランプからの紫外線を取り出す窓部材よりなる照射装置において，前記窓部材は，石英ガラスよりなり非水素結合性ＯＨ基の割合が全体のＯＨ基に対して，０．３６以下であることを特徴とする照射装置」。 審決の理由別紙審決書の写しのとおりである。すなわち，審決は，( )本件出願前に「非水素結合性ＯＨ基の割合が０．４８程度であり，真空 紫外から赤外までの透過率特性に優れ，ＵＶランプ材として適している石英ガラス（以下審決と同様「石英ガラス発明」という）が公然実施さ」。 F310- 3 -れていたと認定した。 ( )そして，本件発明１及び２と「石英ガラス発明」を対比して，一 F310致点，相違点を以下のとおり認定した。 ア一致点「ＵＶランプ材として適している所定割合の非水素結合性ＯＨ基を含む石英ガラス」の点。 イ相違点１前者が「石英ガラスからなる放電容器の内部に誘電体バリア放電によっ，てエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填され，この放電容器の少なくとも一部に光透過性部分が形成されている誘電体バリア放電ランプ」で 者が「石英ガラスからなる放電容器の内部に誘電体バリア放電によっ，てエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填され，この放電容器の少なくとも一部に光透過性部分が形成されている誘電体バリア放電ランプ」であるのに対し，後者にはこのような誘電体バリア放電ランプの構成が示されていない点。 ウ相違点２石英ガラスに含まれる非水素結合性ＯＨ基の割合に関し，前者が０．３６以下としているのに対し，後者は０．４８程度であって，０．３６以下という条件を満たしていない点。 ( )相違点１については，当業者が格別の推考力を要することなくなし得る 程度のことであると判断した（審決書２１頁６行～２４行，２４頁１３行～下から９行。 ）相違点２については，本件発明１ないし本件発明２は，紫外線によるダメージを軽減するために石英ガラスに含ませるＯＨ基の含有量があまりに多くなるとＯＨ基自体による紫外線吸収によって早期に所望の放射量が得られなくなるという問題を解決することを技術的課題として，石英ガラス中の特定ＯＨ基の濃度が０．３６より小さいという構成を採用し，これにより真空紫外光の石英ガラス自身による吸収を良好に抑えるとともに，紫外線照射によるダメージを軽減することができるという作用効果を奏するところ，石英ガ- 4 -ラス発明は，特定ＯＨ基の濃度が本件発明１ないし本件発明２と異なF310り，石英ガラスに含まれる特定ＯＨ基の割合を０．３６以下とした点の上記意義を示唆するものではなく，この点が公然知られたものであるとも公然実施されていたともいえないから，当業者が容易に想到し得たものとすることはできないと判断した（審決書２３頁１９行～下から８行，２４頁下から７行～同５行。 ）第３取消事由に係る原告の主張 取消事由１〔公知技術に係る認定の誤り〕審決は「非水素結合 たものとすることはできないと判断した（審決書２３頁１９行～下から８行，２４頁下から７行～同５行。 ）第３取消事由に係る原告の主張 取消事由１〔公知技術に係る認定の誤り〕審決は「非水素結合性ＯＨ基の割合が０．４８程度であり，真空紫外から，赤外までの透過率特性に優れＵＶランプ材として適している石英ガラス石，」（「英ガラス発明）は本件出願前に公然実施されていたと認定したものの，F310」「石英ガラス発明」を放電ランプの光透過性部分又は照射装置の窓部材F310に使用した「誘電体バリア放電ランプ」及び「照射装置」は本件出願前に公然実施されていたとはいえないと認定した。 しかし，審決の上記認定は，以下のとおり誤りである。 ( )本件発明の「石英ガラス」の周知性 本件発明に係る「石英ガラス」は，甲３（審決における甲１）に記載の「」等の合成石英ガラスが上記「石英ガラス」に含まれるこSUPRASILF310 とについては，例えば甲１２（ウシオ電機株式会社「エキシマＶＵＶ／Ｏ 洗浄装置」カタログ）の６枚目に記載されたエキシマ光照射装置ＵＥＲ－のランプハウスの図面中に部材名として「合成石英ガラス」が記載さ れているように，当業者に周知である。 ( )石英ガラスの非水素結合性ＯＨ基割合と紫外線照射との関係 ア石英ガラス（」など）には，以下の特性がある。 「SUPRASILF310(ア)本件特許の特許請求の範囲（請求項１）記載の「石英ガラスからなる放電容器の内部に誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形成する- 5 -放電用ガスが充填され，この放電容器の少なくとも一部に光透過性部分が形成されている誘電体バリア放電ランプ」は，本件出願前から工業的に生産され，その放電容器に使用可能なガラスとして各 する- 5 -放電用ガスが充填され，この放電容器の少なくとも一部に光透過性部分が形成されている誘電体バリア放電ランプ」は，本件出願前から工業的に生産され，その放電容器に使用可能なガラスとして各種の石英ガラスが使用されていた（甲１２。 ）(イ)これらの誘電体バリア放電ランプを構成する石英ガラス又は窓部材を構成する石英ガラスは，誘電体バリア放電ランプが点灯されると，放電容器内部の放電用ガスから放射される真空紫外光を受けて光化学反応を生じ，その非水素結合性ＯＨ基の割合（以下「特定ＯＨ基割合」と，いう）を比較的短時間で減少させる性質を有する（甲１３，甲１４。 。 ）イ特定ＯＨ基割合についての解析結果紫外線ランプ用の石英ガラスとして市販されていた信越石英株式会社製の合成石英ガラス（以下，単に「石英ガラス」といSUPRASILF310F310う）は，一般的な誘電体バリア放電ランプの放電容器に照射されるもの。 と同等強度の真空紫外光を照射すると，わずか２５時間後には，その特定ＯＨ基割合が０．３６以下に低下し，その後は，常に０．３６以下の値を維持する（甲１４，５頁の＜表＞及びその直下の記載。 ）また，このように真空紫外光の照射によって特定ＯＨ基割合が急速に低下する石英ガラスは，次表に示すように，上述のに限らSUPRASILF310ず本件発明の出願前から紫外線ランプ用の石英ガラスとして販売されていた他の石英ガラスである日本石英硝子株式会社製のＥＳ（甲１７の１，）及び信越石英株式会社製のにも共通して現れる性質であるSUPRASILP20（，，，算出の基礎データはにつき甲１５ＥＳにつき甲１６SUPRASILP20につき甲１３に添付の表Ａ及び図Ａ。 SUPRASILF310）- 6 -( )公然 ILP20（，，，算出の基礎データはにつき甲１５ＥＳにつき甲１６SUPRASILP20につき甲１３に添付の表Ａ及び図Ａ。 SUPRASILF310）- 6 -( )公然実施を推認する事情の存在 以下の事実経緯に照らすならば「石英ガラス発明」を部材として，F310使用した「誘電体バリア放電ランプ」及び「照射装置」も本件出願前に公然実施されていたと推認すべきである。 すなわち，信越石英株式会社の「石英ガラス」は，甲３（同社の１F310９９５年度版カタログ）のみならず，甲６（同社の１９９４年版カタログ１０頁）及び甲７（同社の２００４年版カタログ１頁）のいずれにも真空紫外の透過率に優れたＵＶランプ材として記載されていることに鑑みれば，遅くとも本件出願日（平成１０年７月３１日）の３年前である１９９５年から本件出願後まで継続して販売されていた事実が認められる。そして，ガラス等の工業材料製品を，その製造元であるメーカーが３年以上継続して製造販売し，かつ該製品を継続して自社の製品カタログにその用途を記載して掲載している事実があれば，該製品は，製品カタログに掲載されてから１年も経過すれば，実際に販売され，購入業者は該製品を製品カタログに記載されている用途に使用して誘電体バリア放電ランプや照射装置などの最終製品を製造し，公然と販売・使用されるものと認めるのが合理的である。 ( )「使用の誘電体バリア放電ランプ」の使用 F310０（受理時）２５時間１００時間４３０時間SuprasilF310(信越石英株式会社製)0.4810.3530.3090.237SuprasilP20(信越石英株式会社製)0.5020.4070.3360.267ＥＳ（日本石英硝子株式会社製）0.505 社製)0.4810.3530.3090.237SuprasilP20(信越石英株式会社製)0.5020.4070.3360.267ＥＳ（日本石英硝子株式会社製）0.5050.3920.3110.27真空紫外光の照射による特定ＯＨ基割合の変化- 7 -ア「使用の誘電体バリア放電ランプ」は，本件出願前に公然と販売F310されるとともに，その用法に従って点灯された。 ところで，誘電体バリヤ放電ランプの寿命は約１０００時間とされている（甲８，２９頁右欄１行～３行）から，本件特許が出願される１年前の１９９７年７月までに公然と販売され，公然と点灯使用された「使F310用の誘電体バリア放電ランプ」は，その大半が，本件出願前に２５時間以上点灯されていると推認するのが合理的である。 しかるところ，甲４の実験においては「石英ガラス」に誘電，F310Xe体バリア放電ランプからの真空紫外光を照射した場合に，この「石英ガラ」，（）． スにおける特定ＯＨ基割合が受領時０時間照射において０F310，． 。 ４８程度であったものが２５時間の照射で０３６以下にまで低下したこの実験条件と「石英ガラス」を光透過性部材として使用した場合，F310の条件とは，ほとんど同等であるから，同じ「石英ガラス」を光透F310過性部材として使用して製造した誘電体バリア放電ランプにおいても，ランプの点灯時間が２５時間程度となったところで，その特定ＯＨ基割合が当初の０．４８程度から０．３６以下に変化すると推認できる。 イ前記アのとおり「石英ガラス」を使用して製造した誘電体バリア，F310放電ランプは，ランプの点灯時間が２５時間を経過した後には，その特定ＯＨ基割合は０．３６以下の値を維持するから，本件出願前 前記アのとおり「石英ガラス」を使用して製造した誘電体バリア，F310放電ランプは，ランプの点灯時間が２５時間を経過した後には，その特定ＯＨ基割合は０．３６以下の値を維持するから，本件出願前に２５時間以上公然と点灯使用された「使用の誘電体バリア放電ランプ」は「石F310，英ガラスからなる放電容器の内部に誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填され，この放電容器の少なくとも一部に光透過性部分が形成されている誘電体バリア放電ランプにおいて，前記光透過性部分における石英ガラスの特定ＯＨ基の割合が，全体のＯＨ基F310に対して，０．３６以下である誘電体バリア放電ランプ」との構成を有しているということができ，本件発明１と構成は同一となる。 - 8 -ウなお「使用の誘電体バリア放電ランプ」が購入者のもとで点灯さ，F310れるまで，その光透過性部分たる「石英ガラス」が一度も誘電体F310Xeバリア放電による真空紫外光の照射を受けていないことを前提として，「使用の誘電体バリア放電ランプ」の性質の変化を述べたが，一般F310にランプは購入者に出荷される前にランプメーカーにおいて，ランプ特性を安定化させるためのエージングと呼ばれる初期点灯が，ランプ特性が安定するまでの時間実行される（甲１９，甲２０）から，購入者において点灯される以前の段階の，ランプメーカーから出荷された時点において既に特定ＯＨ基割合の数値がエージングにより本件発明１の数値範囲内に入っていた可能性が高いともいえる。 ( )小括 以上のとおり，本件発明１は，その出願前にエージングのうえ公然と販売された，又は公然と２５時間程度点灯使用された「使用の誘電体バリF310ア放電ランプ」の発明と同一であり，また同じ理由により，本件発明 とおり，本件発明１は，その出願前にエージングのうえ公然と販売された，又は公然と２５時間程度点灯使用された「使用の誘電体バリF310ア放電ランプ」の発明と同一であり，また同じ理由により，本件発明２も，その出願前にエージングのうえ公然と販売された，又は公然と２５時間程度照射使用された「使用の照射装置」の発明と同一である。 F310 取消事由２〔相違点２に係る容易想到性の判断の誤り〕審決は，相違点２について，本件発明１ないし本件発明２は，紫外線によるダメージを軽減するために石英ガラスに含ませるＯＨ基の含有量があまりに多くなるとＯＨ基自体による紫外線吸収によって早期に所望の放射量が得られなくなるという問題を解決することを技術的課題として，石英ガラス中の特定ＯＨ基の濃度が０．３６より小さいという構成を採用し，これにより真空紫外光の石英ガラス自身による吸収を良好に抑えるとともに，紫外線照射によるダメF310ージを軽減することができるという作用効果を奏するところ石英ガラス，発明は，特定ＯＨ基の濃度が本件発明１ないし本件発明２と異なり，石英ガラスに含まれる特定ＯＨ基の割合を０．３６以下とした点の上記意義を示唆する- 9 -ものではなく，この点が公然知られたものであるとも公然実施されていたともいえないから，当業者が容易に想到し得たものとすることはできないと判断した。 しかし，審決の判断は，以下のとおり誤りである。 すなわち，①仮に２５時間程度点灯使用された「使用の誘電体バリア，F310放電ランプ」ないし「使用の照射装置」が本件出願前に公然実施されたF310ものでないとしても，石英ガラス発明に出願前に周知ないし刊行物記載F310の「誘電体バリア放電ランプ」ないし「照射装置」を組み合わせて「使F310用の誘電体バリア放電ラン 施されたF310ものでないとしても，石英ガラス発明に出願前に周知ないし刊行物記載F310の「誘電体バリア放電ランプ」ないし「照射装置」を組み合わせて「使F310用の誘電体バリア放電ランプ」ないし「使用の照射装置」とすることはF310容易であり，また，②本件発明は，特定ＯＨ基割合が０．３６以上の石英ガラスを使用して誘電体バリア放電ランプを組み立て，あるいは特定ＯＨ基割合が０．３６以上の石英ガラスを窓部材として使用し，その後に該石英ガラス中の特定ＯＨ基割合を減少させる処理（γ線を照射する方法等）を行って特定ＯＨ基割合を０．３６以下に減少させたものを含む発明であるところ，特定ＯＨ基割合を０．３６以下に減少させることに阻害事由は存在しないから，審決の容易想到性に関する判断は誤りである。 ( )容易想到性判断の誤り( )〔２５時間点灯することによって本件発明に係 る技術に至ることの容易性〕ア甲４における実験条件の記載（甲４，４０６７頁左欄下から１２行～同欄末行，同訳文２頁３３行～３頁３行）を見ると，同号証に記載の実験の条件と市販のを誘電体バリア放電ランプの光透過性部材SUPRASILF310（又は照射装置の窓部材）として使用した場合の条件とは，次に示すとおり，ほぼ同一である。すなわち，ａ誘電体バリア放電ランプの放電容器の光透過性部材（又は照射装Xe置の窓部材）を石英ガラスによって構成したときに石英ガラスが照射を受ける紫外光と，甲４に記載の実験条件の紫外光とは波長においてほぼ- 10 -一致する。 ｂ本件出願当時に製造されていた誘電体バリヤ放電ランプの出力についてみるに，放電容器としての合成石英ガラスに照射される紫外線強度は１５～１６程度であると推測され（甲８，２９頁の下mWcmTableI－ に製造されていた誘電体バリヤ放電ランプの出力についてみるに，放電容器としての合成石英ガラスに照射される紫外線強度は１５～１６程度であると推測され（甲８，２９頁の下mWcmTableI－２方の，及びの行standard 200WUER200-172standard 100WUER1000-172OutputpowermWcmのの列，甲４に記載されている実験条件が約１４）（４０６７頁左欄５行目）であることとほぼ一致する。 －２ｃ誘電体バリア放電ランプの表面（放電容器の外側）温度は，１００℃（）（），程度すなわち３７３°Ｋ程度とされることが一般的であり甲１８放電容器の内側温度はそれよりもやや高い温度であろうことが推測され。 ，。 るすると甲４の試料表面の温度である４１３±１２°Ｋと差はない（，ｄ誘電体バリヤ放電ランプの寿命は約１０００時間とされている甲８２９頁右欄１行～３行。一方，甲４における実験の照射時間は，２５）時間，１００時間，４３０時間であるから，誘電体バリア放電ランプの通常の点灯時間の範囲内である。 イ以上のとおり，甲４における実験の条件と，該実験に供したものと同一の合成石英ガラス（市販品たる）を誘電体バリア放電ラSUPRASILF310Xeンプとして使用した場合の条件とは同等のものであるしたがって，。 ，誘電体バリア放電ランプからの真空紫外光をに照射したSUPRASILF310場合に特定ＯＨ基割合が２５時間の照射で０．４８程度から０．３６以下に変化したのであるから，同じを光透過性部材として使SUPRASILF310用して製造した誘電体バリア放電ランプ（上記「使用の誘電体バリF310ア放電ランプ）においても，ランプの点灯時間が２５時間程度経過す から，同じを光透過性部材として使SUPRASILF310用して製造した誘電体バリア放電ランプ（上記「使用の誘電体バリF310ア放電ランプ）においても，ランプの点灯時間が２５時間程度経過する」時点で，その光透過性部材たる石英ガラス（）の特定ＯＨSUPRASILF310基割合が当初の０．４８程度から０．３６以下に変化することを予測することができる。 - 11 -ウそうすると，仮に上記の２５時間程度点灯使用された「使用の誘，F310電体バリア放電ランプ」の発明ないし「使用の照射装置」の発明がF310公然実施されておらず本件出願前に公然実施された発明が審決のいう石，「英ガラス発明」だけであったとしても，この「石英ガラス発F310F310明」に，出願前の周知ないし刊行物記載の「誘電体バリア放電ランプ」及び「照射装置」の発明を組み合わせて「使用の誘電体バリア放電ラ，F310ンプ」ないし「使用の照射装置」とすることが審決も判断したようF310に推考容易である以上，これらをその本来の用法に従って点灯し，又は第三者をして点灯させること，又は周知の通りにエージングを行うことについても，何ら阻害要因は存在せず，しかも，この本来的点灯又はエージングにより２５時間程度で本件発明の誘電体バリア放電ランプないし照「」「射装置」とすることは容易である。 ( )容易想到性判断の誤り( )〔特定ＯＨ基割合の数値の意義との関係〕 ア本件発明１及び２において特定ＯＨ基割合の数値限定の部分を除いた前段部分の構成は公知技術である（甲５及び甲９）から，本件発明１及び２が公知技術から容易に発明することができないものであるとするには，特定ＯＨ基割合の数値限定が何らかの技術的意義ないし臨界的意義を有してF310いるこ 術である（甲５及び甲９）から，本件発明１及び２が公知技術から容易に発明することができないものであるとするには，特定ＯＨ基割合の数値限定が何らかの技術的意義ないし臨界的意義を有してF310いることを要するというべきである。すなわち，前記推考容易な「使用の誘電体バリア放電ランプ」ないし「使用の照射装置」の発明F310を実施（点灯使用）すると，これらの実施形態による特定ＯＨ基割合は，わずか２５時間程度の点灯使用により，必然的に本件発明と同じ「０．３」，（． ６以下となるのであるから本件発明に係る特定ＯＨ基割合の数値０３６以下）は，キセノンエキシマ光の照射量と共に時間的に変化してゆく特定ＯＨ基割合の数値に着目し，単にこれらの数値のうちから，適宜その１つを選択しただけにすぎないものであって，結局，本件発明に特有の困難性はない。 - 12 -イ本件明細書（甲２）の記載及び本件出願経過全体から，特許請求の範囲記載の特定ＯＨ基割合の数値（０．３６以下）には，技術的観点からみて臨界的ないし特異的な意義はない。 甲４，４０６７頁，(ａ)（訳文３頁，図１(ａ)）及び同４０６８FIG.1頁，(ｂ)（訳文４頁，図２(ｂ)）に基づいて，石英ガラスの厚さがFIG.2０．５ｍｍである場合及び１ｍｍである場合について，紫外線照射開始時点（０Ｈ）と照射開始から２５時間経過した時点（２５Ｈ）との紫外線総吸収量を計算により求めると，厚さが０．５ｍｍである場合，厚さが１ｍ，。 ｍである場合のいずれも紫外線総吸収量の値は両時点とも全く差がないこのことは，本件明細書の図４（甲２）に示される１６０ｎｍという特定波長において，照射量と共に特定ＯＨ基割合が時間的に減少するにつれ，透過率が上昇（あるいは吸収率が減少）するとしても，キセノンエキシマ光全体の（ 件明細書の図４（甲２）に示される１６０ｎｍという特定波長において，照射量と共に特定ＯＨ基割合が時間的に減少するにつれ，透過率が上昇（あるいは吸収率が減少）するとしても，キセノンエキシマ光全体の（全波長領域にわたる）紫外線総透過量（あるいは紫外線総吸収量）は照射時間の経過にもかかわらず全く変化しないこと，すなわち，本件特許の特許請求の範囲請求項１及び２に記載された誘電体バリア放電ランプないし照射装置による，キセノンエキシマ光の全波長領域にわたる照射においては，照射量と共に特定ＯＨ基割合が時間的に減少しても，紫外線総透過量は増加せず，本件明細書に記載されているような「十分な紫外線放射量，特にキセノンエキシマ放射帯の短波長側の光を十分に得ることができる」との効果は期待できないことを示している。 ウ本件出願当時，誘電体バリア放電ランプの放電容器に使用可能なガラスとして販売されていた合成石英ガラス紫外線透過率は，SUPRASILF310nmnm波長１７０よりも長い波長域では８５％程度であり，波長１７０よりも短い波長領域で急激に低下し，波長１６０では約３８％まで下nmnmがる特性を有する甲１０この合成石英ガラスにおいて波長１６０（）。 ，での透過率が２０％改善されたとすると，その波長での透過率は約４６％- 13 -となる。しかし，もともと８５％という高い透過率を有していた波長１７ 以上の領域での透過率の変化はほとんど生ぜず，波長１７０以nmnm下の領域においては波長が次第に短くなるにつれて少しずつ透過率の改善幅が大きくなり，波長１６０で２０％の改善がなされるものと考えらnm。 ，，れるその改善度合いは甲１０のグラフを実線で表した次の図において斜線領域として示す通りでありエキシマランプからの放射波長であ くなり，波長１６０で２０％の改善がなされるものと考えらnm。 ，，れるその改善度合いは甲１０のグラフを実線で表した次の図において斜線領域として示す通りでありエキシマランプからの放射波長である１，「 近傍から１８０近傍の波長域」の全体から見れば，極めて微nmnm小な量にすぎない。 ，，，，一方エキシマランプの発光スペクトルは甲２１４４２頁のFIG.3（訳文３頁，図３，第２エキシマ連続体）に示され2ndExcimerContinuumるように波長１７２にピークを持ちその中心波長から離れるにつれてnm急激に低下する疑似ガウス分布の狭帯域の光である（上記図に二点鎖線で示す。誘電体バリア放電ランプから放射されるある波長の紫外線の光。）量は，その波長の放射光の強度と，放電容器を構成している石英ガラスの- 14 -その波長における透過率との積として求められるが，上記図から明らかなように，波長１６０の光の放射強度は中心波長１７２の光に比べnmnmて極めて低く（１／１０程度，波長１６０で透過率が高々２０％程）nm度改善されたとしても（しかも波長が１７０に近付くほど改善幅は更nmに小さくなる，その透過率の増加に起因して，エキシマ光の波長域全体）（１６０～１８０）における紫外線放射量（エキシマランプ内部nmnmの放射光の強度と透過率との積を１６０～１８０の範囲で積分しnmnmた値に相当する）の増加に寄与することはほとんどない。 。 なお，波長１６０の紫外光は波長１７２の紫外光の１．０７５nmnm倍のエネルギーを有することになるにすぎないから，上述のように波長１ の紫外光はもともと波長１７２の紫外光のわずか１／１０のnmnm放射強度であることを考慮すれば の１．０７５nmnm倍のエネルギーを有することになるにすぎないから，上述のように波長１ の紫外光はもともと波長１７２の紫外光のわずか１／１０のnmnm放射強度であることを考慮すれば，上記の結論に影響を与えない。 第４被告の反論 取消事由１〔公知技術に係る認定の誤り〕に対し審決が「石英ガラス発明」を放電ランプの光透過性部分又は照射装，F310置の窓部材に使用した「誘電体バリア放電ランプ」及び「照射装置」は本件出願前に公然実施されていたとはいえないとした認定に誤りはない。 ( )原告は，上記誘電体バリア放電ランプを構成する石英ガラスは，誘電体 バリア放電ランプが点灯されると，放電容器内部の放電用ガスから放射される真空紫外光を受けて光化学反応を生じ，その特定ＯＨ基の割合を比較的短時間で減少させる性質を有すると主張する。 しかし，原告の指摘する甲１３，甲１４は，甲４のデータの解析結果を示すだけであり，甲４そのものが本件出願後に発行された文献であるし，解析の計算方法も本件明細書記載の方法であり，本件出願の公開後でなければ分からないから，本件出願前に，石英ガラスが上記性質を有することが知られていたとの事実を，上記解析結果が立証するものではない。 - 15 -原告が根拠とする，甲１４，５頁の＜表＞に示す値も，上記と同様に，甲４のデータの解析結果を示すだけであるから，本件出願前に同表の事実が知られていたことを立証するものではない。 ( )また，甲４には，４３０時間照射時のデータが示されているだけである から，特定ＯＨ基の割合が２５時間後にどのような値となるか不明である。 甲４の石英ガラス試料の厚みは実際の誘電体バリア放電ランプの石英ガラスの厚みと異なるから，甲１４，５頁の＜表＞や甲４の「４３０時間」照射時のデータを基に ２５時間後にどのような値となるか不明である。 甲４の石英ガラス試料の厚みは実際の誘電体バリア放電ランプの石英ガラスの厚みと異なるから，甲１４，５頁の＜表＞や甲４の「４３０時間」照射時のデータを基にした値は，本件発明の石英ガラスの特徴を示す値とはいえない。 なお，甲４の石英ガラス試料の厚みは０５である（甲４，４０６７.mm頁左欄本文７行，訳文２頁下から５行～同４行）が，本件明細書に石英ガラスの厚み１の例が示される（段落【００１０）ように，実際の誘電体mm】バリア放電ランプの石英ガラスの厚みはそれより厚く，薄い石英ガラスで実験した甲４の特定ＯＨ基割合の変化速度は，実際の誘電体バリア放電ランプで用いられる厚い石英ガラスの特定ＯＨ基割合の変化速度より速くなるから，誘電体バリア放電ランプの石英ガラスの特定ＯＨ基割合が減少する速度は遅くなる。この点からしても，特定ＯＨ基割合が２５時間後に０３６以.下に低下するものではない。 ( )原告は「使用の誘電体バリア放電ランプ」又は「使用の照射 F310F310，装置」は，本件出願前に公然と販売・使用されていたと主張する。 しかし，甲３ないし甲６により認定できる事実は，カタログに「石英ガラス」が記載されていたというだけであって「使用の誘電体バリF310F310，ア放電ランプ」又は「使用の照射装置」が，本件特許の出願前に公然F310と販売され，公然と使用されていたことではない。 ，，，( )原告は本件発明１はその出願前にエージングのうえ公然と販売され 又は公然と２５時間程度点灯使用された「使用の誘電体バリア放電ラF310- 16 -ンプ」の発明と同一であると主張する。 しかし，原告の主張に係る「使用の誘電体バリア放電ランプ」は，F310本件特許の出 時間程度点灯使用された「使用の誘電体バリア放電ラF310- 16 -ンプ」の発明と同一であると主張する。 しかし，原告の主張に係る「使用の誘電体バリア放電ランプ」は，F310本件特許の出願前に公然と販売されたものではなく，公然と使用されていたものでもないから，誘電体バリア放電ランプの寿命のいかんにかかわらず，点灯使用されることはない。また，甲４は本件出願後に発行された文献であるから，本件出願前に「石英ガラス」の特定ＯＨ基割合が，２５時間，F310の照射で０３６以下にまで低下したり，同じ「石英ガラス」を光透過.F310性部材として使用して製造した誘電体バリア放電ランプにおいても，ランプ.の点灯時間が２５時間程度となったとしても，特定ＯＨ基割合が当初の０４８から０３６以下に変化するであろうと推論することは，甲４の発行前.には不可能であった。 ( )原告がする「使用の照射装置」についての主張も，同様の理由によ F310り，失当である。 取消事由２〔容易想到性の判断の誤り〕に対し( )本件発明に係る技術に至ることの容易性の主張に対し 以下のとおり，審決が，石英ガラス発明に出願前に周知ないし刊行F310F310物記載の誘電体バリア放電ランプないし照射装置を組み合わせて「」「」「使用の誘電体バリア放電ランプ」ないし「使用の照射装置」とするこF310とは困難であると判断した点に誤りはない。 ア本件出願前に「」に対し誘電体バリア放電ランプから公SUPRASILF310然と照射されたと認定するに足りる証拠はない。甲４の実験では「」に対して照射されているが，甲４は本件出願後に発行SUPRASILF310された文献であるから，甲４記載の内容は，本件出願前には一切知られておらず，Ｘｅ に足りる証拠はない。甲４の実験では「」に対して照射されているが，甲４は本件出願後に発行SUPRASILF310された文献であるから，甲４記載の内容は，本件出願前には一切知られておらず，Ｘｅ誘電体バリア放電ランプからの紫外光により石英ガラスの特定ＯＨ基割合が減少するか否かは，全く知られていない。 確かに「」は，信越石英株式会社から本件特許の出願，SUPRASILF310- 17 -前に市販されていたものであるが，その特定ＯＨ基割合は，甲４のデータを借りて計算すると，受領時（０時間照射）において０４８程度であっ.たと推定されるだけであって，それ以外の技術的示唆はない。 イ原告は，甲４記載の実験条件と，市販のを誘電体バリSUPRASILF310ア放電ランプの光透過性部材（又は照射装置の窓部材）として使用した場合の条件とはほぼ同一であり，甲４によれば，誘電体バリア放電ランXeプからの真空紫外光を照射した場合にの特定ＯＨ基割合SUPRASILF310が２５時間の照射で０．４８程度から０．３６以下に変化したのであるから，同じを光透過性部材として使用して製造した誘電体SUPRASILF310バリア放電ランプにおいても，ランプの点灯時間が２５時間程度経過した時点で，その光透過性部材たる石英ガラス（）の特定ＯＨSUPRASILF310基割合が当初の０．４８程度から０．３６以下に変化すると推測できると主張する。 しかし，原告の上記主張は，以下のとおり失当である。 すなわち，本件出願後に発行された文献である甲４の記載に基づく主張であり，本件出願前に，の特定ＯＨ基割合が２５時間のSUPRASILF310，照射で０４８程度から０３６以下に変化するか否かは知られていないし..本件出願前に，を誘電体バリア放 く主張であり，本件出願前に，の特定ＯＨ基割合が２５時間のSUPRASILF310，照射で０４８程度から０３６以下に変化するか否かは知られていないし..本件出願前に，を誘電体バリア放電ランプとして使用しSUPRASILF310た証拠もないから，本件出願前に，放電容器の光透過性部材を構成するの特定ＯＨ基割合が０３６以下に低下するかどうかも知SUPRASILF310.られていない。 また，ランプに「エージング」を行ったにしても，特定ＯＨ基割合の数値がどのような値になるのか不明である。原告は「ユーザーにおいて点，灯される以前の段階の，ランプメーカーから出荷された時点で既に特定ＯＨ基割合の数値が本発明の範囲内に入っていた蓋然性は極めて高い」な。 どと主張するが，本件発明において光透過性部分の特定ＯＨ基割合が０． - 18 -３６以下であることは事実に係る事項であるから，蓋然性つまり確率をもって云々されるべき事項ではない。 ウ原告は「石英ガラス発明」に，出願前の周知ないし刊行物記載，F310の「誘電体バリア放電ランプ」及び「照射装置」の発明を組み合わせて，「使用の誘電体バリア放電ランプ」ないし「使用の照射装置」F310F310とすることが容易である以上，これらをその本来の用法に従って点灯し，，。 又はエージングを行うことについても阻害要因は存在しないと主張するしかし，この点の原告の主張も失当である。 すなわち，原告の主張に係る「使用の誘電体バリア放電ランプ」F310ないし「使用の照射装置」は，本件出願前に公然と販売されたものF310F310ではなく公然と使用されていたものでもないから本件出願前には，，「使用の誘電体バリア放電ランプ」ないし「使用の照射装置」も公然F310と存在してい 公然と販売されたものF310F310ではなく公然と使用されていたものでもないから本件出願前には，，「使用の誘電体バリア放電ランプ」ないし「使用の照射装置」も公然F310と存在していない。 ( )特定ＯＨ基割合の数値の意義との関係に係る主張に対し 以下のとおり，審決が，本件発明は，紫外線によるダメージを軽減するために石英ガラスに含ませるＯＨ基の含有量があまりに多くなるとＯＨ基自体による紫外線吸収によって早期に所望の放射量が得られなくなるという問題，． を解決することを技術的課題として石英ガラス中の特定ＯＨ基の濃度が０３６より小さいという構成を採用し，これにより真空紫外光の石英ガラス自身による吸収を良好に抑えるとともに，紫外線照射によるダメージを軽減す，，ることができるという作用効果を奏するのに対し石英ガラス発明はF310特定ＯＨ基の濃度が本件発明１ないし本件発明２と異なり，石英ガラスに含まれる特定ＯＨ基の割合を０．３６以下とした点の上記意義を示唆するものではなく，この点が公然知られたものであるとも公然実施されていたともいえないから，当業者が容易に想到し得たものとすることはできないと判断した点に誤りはない。 - 19 -ア本件発明は「石英ガラスにＯＨ基が含まれる場合は，いかなる場合で，あってもＯＨ基自身による紫外線の吸収が起こる」という従来の常識を覆し「石英ガラスに含まれるＯＨ基のうち非水素結合性ＯＨ基がこの現象，に深く関与していることを見い出し本件明細書段落０００５(ａ)」（【】），真空紫外光の透過率を高めること，及びその透過率を高めることで石英ガラスに吸収される量を少なくして石英ガラスのダメージを抑えるという課題を解決するために，(ｂ)全体のＯＨ基のうち非水素結合性ＯＨ基の割合を下 の透過率を高めること，及びその透過率を高めることで石英ガラスに吸収される量を少なくして石英ガラスのダメージを抑えるという課題を解決するために，(ｂ)全体のＯＨ基のうち非水素結合性ＯＨ基の割合を下げるという構成を採り，これにより，(ｃ)石英ガラスの紫外線透過率を向上させて紫外光を十分に利用し，かつ石英ガラスの紫外光によるダメージを抑えるという効果を得る，という技術思想を基本として，誘電体バリア放電ランプ及び照射装置として光透過率が約２０％も改善されるという実用的な観点から「石英ガラスにおける全体のＯＨ基のうち非水素結合性ＯＨ基の割合０．３６以下」との数値を選定したものであり，数値の選定が容易であるとはいえない。 イ甲２３には「‥‥‥放電容器は合成石英ガラスで，その透過率は１６０では約２６％，１６５では約６８％，１７０以上においては８nmnmnm３％であった。従って，図３のスペクトルの１７０以下の形は，合成nm石英ガラスの透過率に影響されており，‥‥‥ （３２頁右欄２１行～２」６行）と記載されている。 このことから，エキシマランプからの放射波長は１６０近傍から１nmnmnmnm 近傍の範囲であり，石英ガラスは波長１７０よりも１６０の方が吸収が大きく透過率が低く（吸収が大きいと，その分透過率が低くなる，また波長１７０以下の光は石英ガラスの透過率に強く影響を）nm受け，しかもその影響は，１７０よりも１６０の方が大きいことnmnmが分かる。 このように波長１６０の方が石英ガラスの透過率への影響を強く受nm- 20 -け，また石英ガラスの透過率は波長１７０以上においては８３％，つnmまり波長１７２近傍よりも波長が長いと変化がなく，逆に波長１７２nm近傍よりも波長が短いと変化が大きく， nm- 20 -け，また石英ガラスの透過率は波長１７０以上においては８３％，つnmまり波長１７２近傍よりも波長が長いと変化がなく，逆に波長１７２nm近傍よりも波長が短いと変化が大きく，その変化は波長１６０近nmnm傍でより大きい。 ウ下掲図は透過率の異なる２つの石英ガラスのモデルケースを示すもので，ラインＡは透過率の高い石英ガラスの光透過率を示し，ラインＢはそれよりも光透過率の低い石英ガラスの透過率曲線を示す。いずれのガラスも波長１７２近辺では同じように透過率が高めであり両者の差は小さnm。 ，，，い一方波長１６０近傍ではラインＡの透過率が高いのに対してnmラインＢの透過率は低めであり，両者の差は波長１７２における差よnmりも大きい。 すなわち，波長１６０ｎｍの紫外線は，もともと石英ガラスに対する透過率が低いため，その紫外線の透過率を高めることは，石英ガラスに吸収（蓄積）される紫外線の量を少なくすることであり，そして石英ガラスに吸収（蓄積）される紫外線の量を少なくすることは石英ガラスへのダメージを抑えることであるにほかならない。 これに対して，波長１７２ｎｍの紫外線は，石英ガラスに対する透過率- 21 -が高いので，もともと石英ガラスへのダメージに係る影響は小さく，例えば１８０ｎｍという波長域の紫外線の透過率を示す実験例を示しても，本「」件発明で課題とする石英ガラスの紫外線によるダメージを良好に抑える上では有意義なものではない。 エさらに，波長１７２よりも波長１６０の方が短波長であり，短nmnm波長光のエネルギーは，長波長光のエネルギーより高いので，石英ガラスに対するダメージ（損傷という意味のダメージ）は大きい。石英ガラスにダメージが発生すると光透過率は減少するので，その意味 nmnm波長光のエネルギーは，長波長光のエネルギーより高いので，石英ガラスに対するダメージ（損傷という意味のダメージ）は大きい。石英ガラスにダメージが発生すると光透過率は減少するので，その意味からも，エキシマランプの中心波長である１７２ｎｍよりも波長１６０での光透過率nmnmについての実験を示す方が改善効果は見えやすい。また，波長１７２よりも波長１６０の方がエネルギーが高いので，光洗浄や物体の表面nm改質などの能力は高い。 このことから，波長１６０の光が，どれだけ石英ガラスを透過してnmランプから放射されているかの実験を示すことが，処理プロセスの効率化という実用的な改善効果をより把握しやすくすることになり，この点からも波長１６０での光透過率の実験結果を示すことには十分な意味があnmる。 第５当裁判所の判断当裁判所は，審決の理由中，原告主張の取消事由１〔公知技術に係る認定の誤り〕と原告主張の取消事由２〔相違点２の容易想到性判断の誤り〕の( )（２５ 時間点灯することによって本件発明に係る技術に至ることの容易性）については誤りがないと判断するが，取消事由２の( )（特定ＯＨ基割合の数値の意義との 関係）については誤りがあると判断する。 審決を取り消す理由は取消事由２の( )のみであるが，他の取消事由の主張に 対する判断と相互に関連するので，取消事由の主張のすべてを順に判断する。 取消事由１〔公知技術についての認定の誤り〕について- 22 -原告は，審決は「非水素結合性ＯＨ基の割合が０．４８程度であり，真空，紫外から赤外までの透過率特性に優れ，ＵＶランプ材として適している石英ガラス（石英ガラス発明）は，本件出願前に公然実施されていたと認」「」F310定したものの「石英ガラス発明」を放電ランプの 外から赤外までの透過率特性に優れ，ＵＶランプ材として適している石英ガラス（石英ガラス発明）は，本件出願前に公然実施されていたと認」「」F310定したものの「石英ガラス発明」を放電ランプの光透過性部分又は照，F310射装置の窓部材に使用した「誘電体バリア放電ランプ」及び「照射装置」は本件出願前に公然実施されていたとはいえないと認定した点に誤りがあると主張する。 しかし，原告の主張は以下のとおり理由がない。 ( )カタログの記載 ア甲３（製品ガイド」と題する信越石「Shin-EtsuQUARTZPRODUCTSShin-EtsuQUARTZ英株式会社の製品カタログ平成７年発行及び甲６。 ）（「製品ガイド」と題する同社製品カタログ。平成６年発行）PRODUCTSのいずれにも，以下の記載がある。 (ア)「透明石英ガラスは，通常のガラス類と比べて，光透過率が紫外から赤外の全波長にわたって非常に高いという特徴があります。特に短波長の紫外領域では，他のどんなガラスより良好な透過性を示します」。 （４頁第３段落）(イ)「合成石英ガラス合成（信越石英の主要品種」の項目）「品種名の項目ファイバ用・ランプ用用SUPRASILF300,310（「」）（「途」の項目）管・棒（形状」の項目（４頁下段の表）「）」(ウ)「（品種名」の項目）超高純度SUPRASIL-F300 SUPRASIL-F310 「の合成石英ガラス管・棒で，泡や異物がなく金属不純物を含有していません。 は最高品質の光ファイバー用石英素材で，高強度で長尺のF300光ファイバーが高収率で得られます。 はＯＨ基を含有しますが，F310他の特性はと同等です（特徴」の項目（９頁下段「光通信用F300。「）」 イバー用石英素材で，高強度で長尺のF300光ファイバーが高収率で得られます。 はＯＨ基を含有しますが，F310他の特性はと同等です（特徴」の項目（９頁下段「光通信用F300。「）」透明石英ガラス」の表）- 23 -(エ)「ランプ用石英ガラス管として，Ｍシリーズ()，M-235,M282,M382，及び合成石英ガラスがあります。いHERALUXSUPRASIL-F300,F310ずれも独自のツールフリー法で製造，管の内外面は平滑で欠陥がありま。 ，，せんＵＶランプ材として適しておりＭシリーズはオゾンレスタイプはオゾンタイプです。また，シリーズは，真空HERALUXSUPRASIL-F紫外から赤外までの透過率特性に優れています（１０頁「ランプ用。」透明石英ガラス」の欄）イ甲７（ランプ用「Shin-EtsuQUARTZAJOINTVENTUREWITHHeraeus」。 ）石英ガラスと題する同社の製品カタログ本件出願後の平成１６年発行には，次の各記載がある。 (ア)「石英ガラスは，一般のガラス素材に比べ，光透過性に優れ，耐熱性が高いことから，水銀ランプやハロゲンランプ，キセノンランプなどの材料として広く使われています（表題頁１行～２行）。」(イ)「は，天然石英ガラスより更に超高純度で，SUPRASIL-F300,F310泡のない合成石英ガラスです。真空紫外から赤外までの透過率特性に優れています。 はＯＨ基を無くした合成石英ガラス，はＯＨ基F300F310を約含有した合成石英ガラスです（１頁第３段落「合成石英00ppm。」，ガラス」の欄）SUPRASIL-F300,F310( )認定及び判断 ，，，，（）ア甲３ ７の上記の た合成石英ガラスです（１頁第３段落「合成石英00ppm。」，ガラス」の欄）SUPRASIL-F300,F310( )認定及び判断 ，，，，（）ア甲３ ７の上記の各記載によればＯＨ基を含有しＵＶ紫外線ランプ材に適した製品名と称する合成石英ガラス石，「」（「SUPRASIL-F310英ガラス）が，平成６年，平成７年発行に係る信越石英株式会社のF310」製品カタログに掲載されていたこと「石英ガラス」は平成１６年発，F310行に係る同社カタログにも掲載されていたことが認められるそして石。 ，「英ガラス」が，信越石英株式会社から本件出願前に市販されていたF310こと（審決書１７頁１１行～１２行）に争いはない。 - 24 -イ「石英ガラス」は，平成６年発行の甲６，平成７年発行の甲３，F310平成１６年発行の甲７の製品カタログに掲載され，本件出願前に市販されていたことからすれば，本件出願前に，これをカタログに記載された用途に適する「ランプ」が製造された可能性はあるといえる。 しかし，そのようなランプが製造された可能性があるとしても，上記の証拠のみでは，本件出願前に「石英ガラス」を放電ランプの光透過，F310性部分又は照射装置の窓部材に使用して「使用の誘電体バリア放電F310ランプ」ないし「使用の照射装置」が製造されたうえ，公然販売又F310は使用されたとまでは認めるには十分でないというべきである。 したがって，本件出願前に「使用の誘電体バリア放電ランプ」な，F310いし「使用の照射装置」がエージングのうえ，製造され，公然販売F310又は使用されたとする原告の主張は，採用することができない。 したがって，審決の認定には誤りはない。 取消事由２の( ) いし「使用の照射装置」がエージングのうえ，製造され，公然販売F310又は使用されたとする原告の主張は，採用することができない。 したがって，審決の認定には誤りはない。 取消事由２の( )〔２５時間点灯することによって本件発明に係る技術に至 ることの容易性〕について原告は，仮に２５時間程度点灯使用された「使用の誘電体バリア放電，F310ランプ」ないし「使用の照射装置」が本件出願前に公然実施されたものF310でないとしても石英ガラス発明に出願前に周知ないし刊行物記載の誘，「F310電体バリア放電ランプ」ないし「照射装置」を組み合わせて「使用の誘F310電体バリア放電ランプ」ないし「使用の照射装置」の技術に至ることはF310容易であり，これらを２５時間程度点灯使用，あるいはエージングすれば，特定ＯＨ基の割合が本件発明の範囲内のものとなり，本件発明が得られるから，本件発明は当業者が容易に発明をすることができたので，審決の判断は誤りであると主張する。 しかし，原告の主張は，以下のとおり理由がない。 原告主張に係る「使用の誘電体バリア放電ランプ」ないし「使用F310F310- 25 -の照射装置」が本件出願前に製造されていたならば，これらをその本来の用法に従って点灯したり，エージングを行ったりすることに格別の妨げはないといえるが，上記１( )のとおり，前記証拠のみによっては，本件出願前に「石 ，英ガラス」を放電ランプの光透過性部分又は照射装置の窓部材に使用しF310て「使用の誘電体バリア放電ランプ」ないし「使用の照射装置」がF310F310製造されたことを認定することができない以上，本件出願前に「使用の，F310誘電体バリア放電ランプ」ないし「使用の照射装置」を２５時間程度点F ないし「使用の照射装置」がF310F310製造されたことを認定することができない以上，本件出願前に「使用の，F310誘電体バリア放電ランプ」ないし「使用の照射装置」を２５時間程度点F310灯又はエージングを行うことを，当業者が容易になし得たということはできない。 取消事由２〔特定ＯＨ基割合の数値の意義との関係〕について原告は，本件特許の特許請求の範囲に記載されている特定ＯＨ基割合の数値（０．３６以下）には，技術的観点からみて意味がなく，同数値は，キセノンエキシマ光の照射量と共に時間的に変化する特定ＯＨ基割合の数値に着目して，単にこれらの数値のうちから，適宜１つの数値を選択しただけにすぎないものであるから，本件発明に困難性はないと主張する。 ( )本件明細書（甲２）の記載 ア本件明細書の発明の詳細な説明欄には，以下の記載がある。 「０００１【発明の属する技術分野】この発明は，誘電体バリア放電【】によってエキシマ分子を形成し，このエキシマ分子から放射される光を利用する誘電体バリア放電ランプ，および，この誘電体バリア放電ランプを光源とした照射装置に関するもので，特に，誘電体バリア放電ランプの光透過性部分である石英ガラス，あるいは照射装置の窓部材に関するものである。‥‥‥【０００４】このような誘電体バリア放電ランプは，従来の低圧水銀ランプや高圧アーク放電ランプにない特徴，例えば，その中心波長は１７２ｎｍという短い波長の真空紫外線を放射して，しかも線スペクトルに近い単- 26 -一波長の光を選択的に高効率で発生する，を有している。‥‥‥【０００５】ところで，この石英ガラスは適量のＯＨ基(水酸基)を含ませる方が，純粋なシリカ（ＳｉＯ）で構成するより，放射する紫外線によ るダメージを軽減できるということが知られて している。‥‥‥【０００５】ところで，この石英ガラスは適量のＯＨ基(水酸基)を含ませる方が，純粋なシリカ（ＳｉＯ）で構成するより，放射する紫外線によ るダメージを軽減できるということが知られている。つまり，石英ガラスにＯＨ基を含ませる方が良いわけであるが，その含有量があまりに多くなるとＯＨ基自体による紫外線吸収によって早期に所望の放射量が得られなくなるという問題がある。逆に，ＯＨ基の含有量があまりに少なすぎる場合は，紫外線のダメージを受けてしまい石英ガラスの劣化を招くなどの問題を生ずる。 【０００６【発明が解決しようとする課題】そこで，この発明が解決し】ようとする課題は，ＯＨ基を含有した石英ガラスを光透過性部分とした誘電体バリア放電ランプ，および誘電体バリア放電ランプを光源とし，ＯＨ基を含有した石英ガラスを窓部材とした照射装置であって，石英ガラスの紫外線によるダメージを良好に抑え，かつ，十分な紫外線放射量を得ることができる構造を提供することである。 【０００７【課題を解決するための手段】上記課題を解決するために，】この発明にかかる誘電体バリア放電ランプは，石英ガラスからなる放電容器の内部に誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填され，この放電容器の少なくとも一部に光透過性部分が形成されており，この光透過性部分における非水素結合性ＯＨ基の割合が全体のＯＨ基に対して，０．３６以下であることを特徴とする。 【０００８】さらに，この発明にかかる照射装置は，誘電体バリア放電により放電容器内にエキシマが生成されて紫外線が放出される誘電体バリア放電ランプと，この誘電体バリア放電ランプを収納し，誘電体バリア放電ランプからの紫外線を取り出す窓部材よりなる構成において，前記窓部材は，石英ガラスよりなり非水素結合性ＯＨ基の割 される誘電体バリア放電ランプと，この誘電体バリア放電ランプを収納し，誘電体バリア放電ランプからの紫外線を取り出す窓部材よりなる構成において，前記窓部材は，石英ガラスよりなり非水素結合性ＯＨ基の割合が全体のＯＨ基に対し- 27 -て，０．３６以下であることを特徴とする。‥‥‥」「００１２】ここで，誘電体バリア放電ランプは，内側管２もしくは外【側管３で，少なくとも光透過性部分の石英ガラスについて非水素結合性ＯＨ基の濃度が一定範囲内になるように処理されている。これは非水素結合性ＯＨ基の濃度を制御することによって波長１６０ｎｍの付近の光の透過性を著しく向上できるからである。 【００１３】この点をもう少し説明する。本発明者らは，石英ガラスにＯＨ基が含まれる場合は，いかなる場合であってもＯＨ基自身による紫外線J,Spectrosc,Soc,Jap,vol.41,2の吸収が起こるという従来の常識（例えば「，()」には，石英ガラス中のＯＨ基は１６８ｎｍ以下の波長の光を吸1992収することが開示される）を覆し，種々の研究のすえ，石英ガラスに含まれるＯＨ基のうち非水素結合性ＯＨ基がこの現象に深く関与していることを見出したのである。すなわち，水素結合性ＯＨ基は紫外光，特には真空紫外光の吸収が大きいものではないということである。従って，真空紫外光を放射させる誘電体バリア放電ランプやこの誘電体バリア放電ランプを光源とする照射装置にあっては，光透過性部分や光透過窓を構成する石英ガラスは，非水素結合性ＯＨ基の濃度を限りなく少なくして，水素結合性ＯＨ基の濃度をある程度維持することによって，真空紫外光の石英ガラス自身による吸収を良好に抑えることができるとともに，紫外線照射によるダメージを軽減できるというものである。‥‥‥【００１８】次に，全体 基の濃度をある程度維持することによって，真空紫外光の石英ガラス自身による吸収を良好に抑えることができるとともに，紫外線照射によるダメージを軽減できるというものである。‥‥‥【００１８】次に，全体のＯＨ基濃度に対する非水素結合性ＯＨ基の割合と紫外線透過量の関係を示す。図４は縦軸に波長１６０ｎｍの光の透過率（％）を表し，横軸に非水素結合性ＯＨ基の相対濃度を表す。図より，石英ガラス中の非水素結合性ＯＨ基の濃度が０．３６より小さい場合は，真空紫外光，図においては波長１６０ｎｍの光の透過率が１３％以上であることがわかる。そして，非水素結合性ＯＨ基濃度が０．３０より小さい場- 28 -合に透過率は１６％以上となり，さらにＯＨ基濃度が０．２７以上の場合は０．１８以上となり，急激に透過率が増加していることがわかる。 【００１９】ここで，石英ガラス中の非水素結合性ＯＨ基の含有濃度を減少させる方法として石英ガラスにγ線源から放射されるγ線を照射する方法がある。これは，例えば，市販の石英ガラスにγ線を例えば１００時間照射することである。あるいは，他の方法として，石英ガラスを湿った雰囲気（水の分圧で例えば４．６×１０Ｐａ）で比較的低温，例えば３５ ０℃で加熱することが考えられる。これらの処理方法によって，石英ガラス中の水酸化ケイ素（ＳｉＯＨ）に関する結合状態が変化するからと考えられる。そして，このような処理を誘電体バリア放電ランプを組み立てるとき，あるいは，組み立てた後に処理を施すことで石英ガラス中に含まれる非水素結合性ＯＨ基の濃度を上記範囲内のものとすることができる。なお，上述の図４に示す実験では，処理前の非水素結合性ＯＨ基の割合は，全体のＯＨ基の０．５０であり，波長１６０ｎｍの光の透過率は１１％であった。‥‥‥【００２４【発明の効果】この発明 とができる。なお，上述の図４に示す実験では，処理前の非水素結合性ＯＨ基の割合は，全体のＯＨ基の０．５０であり，波長１６０ｎｍの光の透過率は１１％であった。‥‥‥【００２４【発明の効果】この発明にかかる誘電体バリア放電ランプは】放電容器の少なくとも一部に光透過性部分が形成されており，この光透過性部分における非水素結合性ＯＨ基の割合を全体のＯＨ基の０．３６以下としたので，石英ガラスの紫外線によるダメージを良好に抑えることができ，かつ，十分な紫外線放射量，特にキセノンエキシマ放射帯の短波長側の光を十分に得ることができる。また，この発明にかかる照射装置は，誘電体バリア放電ランプからの紫外線を取り出す窓部材の非水素結合性ＯＨ基の割合を全体のＯＨ基の，０．３６以下としたので，同様に石英ガラスの紫外線によるダメージを良好に抑えることができ，かつ，十分な紫外線放射量，特にキセノンエキシマ放射帯の短波長側の光を十分に得ることができる」。 - 29 -イ図４には，以下の内容が示されている。 ，（）すなわち全体のＯＨ基濃度に対する特定ＯＨ基非水素結合性ＯＨ基の割合と波長１６０の紫外線透過率との関係を示すもので，石英ガラnmス中の特定ＯＨ基の濃度が０．５では，波長１６０の紫外線透過率がnm１１％程度，０．３６の辺りでは１３％程度，０．２７の辺りでは１８％程度，０．２６の辺りでは２５％弱であることが示されており，特定ＯＨ基の割合が０．５から少なくなるにつれて，波長１６０の紫外線透過nm率が徐々に大きくなるが，０．３６辺りから透過率の傾きが大きくなり，０．２７以下では，急激に透過率が増加していることが示されている。 ウ上記各記載を総合すれば，本件発明の内容は，以下のとおりと認められる。 すなわち，①本件発明は，例えば，中心波長が１ 大きくなり，０．２７以下では，急激に透過率が増加していることが示されている。 ウ上記各記載を総合すれば，本件発明の内容は，以下のとおりと認められる。 すなわち，①本件発明は，例えば，中心波長が１７２という短い波nm長の真空紫外線を放射して，しかも線スペクトルに近い単一波長の光を選択的に高効率で発生するという，従来の低圧水銀ランプや高圧アーク放電（【】），ランプにない特徴を有する段落０００４誘電体バリア放電ランプ及び，この誘電体バリア放電ランプを光源とした照射装置に関し，特に，誘電体バリア放電ランプの光透過性部分である石英ガラス，あるいは照射装置の窓部材に関する（段落【０００１）ものである，②石英ガラスに】ＯＨ基を含ませると紫外線によるダメージを軽減できるが，含有量が多くなるとＯＨ基自体による紫外線吸収によって早期に所望の放射量が得られなくなる（段落【０００５）という関係があるところ，本件発明は，石】英ガラスに含まれるＯＨ基のうち特定ＯＨ基が紫外線の吸収現象に深く関与しているとの知見を得て，特定ＯＨ基の濃度を限りなく少なくして，水素結合性ＯＨ基の濃度をある程度維持することによって，真空紫外光の石英ガラス自身による吸収を良好に抑えることができるとともに，紫外線照（【】），射によるダメージを軽減できるようにしたものである段落００１３- 30 -F310③従来の特定ＯＨ基の割合０５０の市販の石英ガラス石英ガラス． （発明における特定ＯＨ基の割合は０．４８程度であり，０．５０にきわめて近い割合のものである）では，波長１６０の真空紫外光の透過率。 nmが１１％である（段落【００１９）のに対し，特定ＯＨ基の濃度が０． 】３６の辺りでは透過率が１３％程度，０．２７以下では，透過率が１８％程度から急激に増 ，波長１６０の真空紫外光の透過率。 nmが１１％である（段落【００１９）のに対し，特定ＯＨ基の濃度が０． 】３６の辺りでは透過率が１３％程度，０．２７以下では，透過率が１８％程度から急激に増加する（段落【００１８】及び図４）旨が記載されている。 ，，，そして本件明細書の図４にはＯＨ基の濃度自体を一定のものとして紫外線によるダメージ軽減効果を維持しつつ，特定ＯＨ基の割合を低下させれば，波長１６０の真空紫外光の透過率が大きくなる（波長１６０nmの紫外線吸収率が小さくなる）ことが示されている。 nm( ) 判断 本件明細書の特許請求の範囲の請求項１及び２においては，放出される光の波長について何ら記載がない。また，発明の詳細な説明欄には，本件発明において，特定ＯＨ基の割合を特定するに当たり，透過率をみる波長として図４に示される１６０に着目することに何らかの意義があることを示しnmた記載を見いだすことはできないし，１６０以外の波長について，特定nmＯＨ基の割合を低下させれば，図４記載のように透過率が大きくなるとする根拠を見いだすこともできない。 そうすると，特定ＯＨ基の割合を低下させれば波長１６０の真空紫外nm光の透過率が大きくなる関係が理解されるにしても，本件明細書の記載上放出される光の波長について何ら特定されない本件発明において，波長１６０の真空紫外光の透過率が大きくなることによって，格別の技術的意義がnm生じるものと認めることはできない。 したがって，本件明細書の記載から，特定ＯＨ基の割合を０．３６以下であると特定することにより，真空紫外光の石英ガラス自身による吸収を良好- 31 -に抑えることができるとともに，紫外線照射によるダメージを軽減できるようにするとの作用効果（技術的意義）が生ずると解すること 定することにより，真空紫外光の石英ガラス自身による吸収を良好- 31 -に抑えることができるとともに，紫外線照射によるダメージを軽減できるようにするとの作用効果（技術的意義）が生ずると解することはできない。 ( )被告の主張に対し nmnmア被告はエキシマランプからの放射波長は１６０近傍から１８０，近傍の範囲であり，石英ガラスは波長１７０よりも１６０の方がnmnm吸収が大きく透過率が低いことなどから，波長１６０での光透過率のnm実験結果を示すことには十分な意味があり，本件発明において，波長１６ の真空紫外光の透過率に基づき特定ＯＨ基の割合を特定したことにnmは技術的意義がある旨主張する。 しかし，被告の同主張は，以下のとおり，本件発明がを放電ガスとXeして中心波長の発光を得るものであることを前提とするものであ172nmり，前提を欠くものというべきである。被告の上記主張は，本件明細書の記載に基づくものということができず失当である。 (ア)特開平５－１３８０１４号公報（甲５，審判における甲３）の段落【０００８【００１３【００１４】の記載，レーザー研究第２３】，】，巻第１２号（平成７年１２月発行，甲８。審判における参考資料３）の「，，，，，，放電ガスをそれぞれを選ぶことによりArKrXeKrClXeCl126nm，，，の５波長が得られる。 ，ラ146nm172nm222nm308nm126nm146nmンプは照射窓にを用いているが他ランプの照射窓は石英ガラスをMgF使用している。…２に，，，Ｗ型エキシマランプの分光Fig.ArKrXe 。 ，。」分布を示す…タイプの分光スペクトルを３に示すXeClKrCl スをMgF使用している。…２に，，，Ｗ型エキシマランプの分光Fig.ArKrXe 。 ，。」分布を示す…タイプの分光スペクトルを３に示すXeClKrClFig.（），，２８頁左欄下から１０行～右欄４行の記載光技術コンタクトVol.32（１９９４）別刷（平成６年発行，甲２３）の「われわれは，誘No.2電体バリア放電を励起源としたエキシマランプの実用化を目的にして，種々の検討を行っているが本報告では，放電用ガスとしてキセノン，クリプトン／塩素およびキセノン／塩素を使用した中空円筒形誘電体バリ- 32 -ア放電エキシマランプの特性および応用について報告する（３０頁。」右欄１２行～１８行「誘電体バリア放電励起で実験されているエキ），シマと，エキシマ光の中心波長，半値全幅，放射効率を，波長順に表１にまとめた。エキシマの種類を選択することによって，真空紫外領域から可視光領域にわたって，従来の放電ランプで得られない波長の，比較的挟帯域のスペクトルが，高効率で得られている（３１頁右欄第３。」段落「実験に使用した資料ランプの概略図を図２に示す。管径の異），なる２本の石英ガラス管を同軸に配置し，中空円筒の放電空間を形成した（３２頁左欄１３行～１５行「放電用ガスとしてキセノン，ク。」），リプトン／塩素およびキセノン／塩素を使用した中空円筒形誘電体バリア放電エキシマランプの発光スペクトルを，図３に示す。それぞれ，波長，およびに最大値を有し，半値幅がそれぞれ約172nm222nm308nm ，２および２である単色光的な発光スペクトルが得られnmnmnmた（３２頁右欄１３行～１９行「キセノンエキシマにより，中心。」），波長，入力，出力，効 nm308nm ，２および２である単色光的な発光スペクトルが得られnmnmnmた（３２頁右欄１３行～１９行「キセノンエキシマにより，中心。」），波長，入力，出力，効率％のランプが商品化されて172nm20W2W いる。同様にクリプトン／塩素およびキセノン／塩素により，，222nmランプも商品化されている（３７頁左欄７行～１２行）の記載308nm。」によれば，本件出願当時，放電容器を石英ガラスとするエキシマランプとして，を放電ガスとして用い，中心波長のエキシマ光を得Xe172nmるものに限らず，中心波長のエキシマ光を得る，中心波長222nmKrClのエキシマ光を得るなどを用いるものも知られていたこと308nmXeClが認められる。 (イ)これに対し，本件明細書の特許請求の範囲の請求項１及び２においては，放出される光の中心波長について何ら記載がないのであるから，本件発明は，を放電ガスとして用い，中心波長のエキシマ光Xe172nmを用いるものに限定されるのではなく，中心波長のエキシマ光222nm- 33 -を得る，中心波長のエキシマ光を得るなどを用いるもKrCl308nmXeClのも含むものと解される。 以上のとおり，本件発明がを放電ガスとして中心波長の発光Xe172nmを得るものであることを前提とする被告の上記主張は，本件明細書の記載に基づかないものであって，前提を欠くものである。 波長１６０の真空紫外光の透過率に基づいて特定ＯＨ基の割合を特nm定したことの技術的意義をいう被告主張は，放電ガス，あるいは中心波長について，何ら特定のない，本件発明の「誘電体バリア放電ランプ」ないし「照射装置」について，被告主張に係る技術的意義が存 を特nm定したことの技術的意義をいう被告主張は，放電ガス，あるいは中心波長について，何ら特定のない，本件発明の「誘電体バリア放電ランプ」ないし「照射装置」について，被告主張に係る技術的意義が存在するものということはできない。 なお，甲８のないし甲２３の図３によれば，中心波長があFig.3222nmるいはの場合には，そもそも波長１６０のエキシマ光が放出さ308nmnmれるものとは認めがたいのであるから，石英ガラスの波長１６０の透nm過率を高めたところで，何ら技術的意義が生ずるものとは認められない。 甲８の甲２３の図３Fig.3イ仮にを放電ガスとして中心波長のエキシマ光を得るエキシマXe172nmランプについて，本件明細書の図４に示されるような，特定ＯＨ基の割合の相違に基づく透過率の相違が生ずるとしても，次のとおり，特定ＯＨ基の割合を０．３６以下とする点に格別の技術的意義があるとは認められな- 34 -い。 (ア)甲１３（審判請求書，６頁２行～１５頁１４行及び添付の表Ａ，）甲１４（審判事件弁駁書，３頁２２行～５頁１２行，甲１５及び甲１）６によれば，前記第３，１( )イの表は，甲４（審判における甲２）の （）（），図３訳文５頁及び図７訳文９頁から読み取ったデータに基づき本件明細書の段落【００１６【００１７】記載の算出方法によって，】SUPRASILF310 SUPRASILP20ES，（）以上信越石英化学株式会社製及び（日本石英硝子株式会社製）なる合成石英ガラス（各製品名につき，甲４訳文２頁下から１２行～同９行参照）について，誘電体バリア放Xe電ランプ（同頁下から３行参照）を照射した際の，照射前，２５時間照射後，１００時間照射後，４３０時間照射後の特定ＯＨ 名につき，甲４訳文２頁下から１２行～同９行参照）について，誘電体バリア放Xe電ランプ（同頁下から３行参照）を照射した際の，照射前，２５時間照射後，１００時間照射後，４３０時間照射後の特定ＯＨ基割合を求めたものと認められる。 ，，，(イ)同表によればいずれの合成石英ガラスにおいてもランプ照射後特定ＯＨ基の割合は徐々に減少し，では２５時間照射SUPRASILF310後に０．３５３，及びでは１００時間照射後にそれSUPRASILP20ESぞれ０．３３６，０．３１１となっており，本件発明で特定される０． ３６以下の範囲のものとなっていることが認められる。 上記表の数値は，甲４の図３及び図７から読み取ったデータに基づくものであるので，数値自体厳密に正確なものとはいえず，また，ガラスの厚みにより要する時間の多少はあるにせよ，上記表によれば，特定ＯＨ基を含む石英ガラスに誘電体バリア放電ランプを照射すれば，使Xe用当初の特定ＯＨ基の割合が０．３６以上であっても，相応の時間（数十時間程度）が経過すると，０．３６以下になることは推測に難くないものと認められる。 (ウ)本件発明１は，放電容器が石英ガラスからなる誘電体バリア放電ランプ，本件発明２は，誘電体バリア放電ランプからの紫外線を取り出す- 35 -窓部材石英ガラスよりなる照射装置であるから，を放電ガスとしてXeこれらを使用すれば，いずれにおいても，石英ガラスが誘電体バリXeア放電ランプからの紫外線を照射されることになる。 そうすると，誘電体バリア放電ランプの寿命が約１０００時間とされる（甲８，２９頁右欄「寿命」の欄）ところ，使用当初の特定Ｏ3.3Ｈ基の割合が０．３６以上か否かにかかわらず，数１０時間程度の照射で０．３６以下という本件発明１の要件を満たすこ ０００時間とされる（甲８，２９頁右欄「寿命」の欄）ところ，使用当初の特定Ｏ3.3Ｈ基の割合が０．３６以上か否かにかかわらず，数１０時間程度の照射で０．３６以下という本件発明１の要件を満たすことになるので，本件発明を特定するに当たり，特定ＯＨ基の割合を０．３６以下と規定したことは，使用につれて変化する特定ＯＨ基の割合について，単に，使用中のある時点（寿命と対比して，使用開始から相当短い時点）の数値を特定したにすぎないことになり，真空紫外光の石英ガラス自身による吸収を良好に抑えるとともに紫外線照射によるダメージを軽減することができるといった，本件明細書記載の格別の技術的意義を生ずるような特定とはいえず，単なる設計的事項以上のものということはできない。 ( )小括 以上の検討によれば，本件発明において，特定ＯＨ基に着目し，その割合を特定したことに技術的意義は認められず，単なる設計的事項以上のものということはできない。 したがって，本件発明１の相違点２に係る構成について，本件特許明細書記載の作用効果に基づく意義があることを前提として，本件発明１の想到容易性を否定した審決の判断は，根拠を欠くものであって，誤りである。 ，，。 また本件発明２の相違点２についての審決の判断も同様に誤りである 結論 以上によれば，本件発明１及び２は本件出願前に日本国内において公然実施されていた発明である「石英ガラス発明」並びに本件出願前の公知事実F310又は刊行物記載事実である甲５（特開平５－１３８０１４号公報，甲６（信）- 36 -越石英株式会社「製品ガイド，甲７（信越Shin-EtsuQUARTZPRODUCTS」）石英株式会社「ランプ用透明石英ガラス，甲８（レーザー研究第２３巻第」）１２号，甲９（特開平５－１７４７９３号 製品ガイド，甲７（信越Shin-EtsuQUARTZPRODUCTS」）石英株式会社「ランプ用透明石英ガラス，甲８（レーザー研究第２３巻第」）１２号，甲９（特開平５－１７４７９３号公報）及び甲１０（信越石英株）「式会社・技術情報‥‥‥）に基づいて当業者が容易に発明すること93LT001」ができたものとすることはできないとした審決の判断は誤りであり，この誤りは審決の結論に影響するので，審決を取り消すこととする。主文のとおり判決する。 知的財産高等裁判所第３部裁判長裁判官飯村敏明裁判官三村量一裁判官上田洋幸

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