- 1 -平成２０年１２月１１日判決言渡平成２０年（行ケ）第１００９９号審決取消請求事件（特許）口頭弁論終結日平成２０年１１月２０日判決原告大日本スクリーン製造株式会社同訴訟代理人弁護士岩坪哲速見禎祥被告株式会社エイブル同訴訟代理人弁理士吉田勝広近藤利英子梶原克哲主文 特許庁が無効２００６－８０２７３号事件について平成２０年２月５日にした審決を取り消す。 訴訟費用は被告の負担とする。 事実及び理由 第１請求主文と同旨。 第２事案の概要本件は基板端縁洗浄装置とする名称の発明の特許権を有する原告がその請，「」，求項１～３に係る発明についての特許を無効とする旨の審決を受けたことから，その請求人である被告に対し，審決の取消しを求めた事案である。 特許庁における手続の経緯原告は，平成４年９月１４日に名称を「基板端縁洗浄装置」とする発明につき特- 2 -，（。 許出願をし平成９年１０月１７日に設定登録を受けた特許第２７０８３３７号請求項の数５。甲９。以下「本件特許」という。 。）これに対し，平成１８年１２月２７日に被告から本件特許のうち請求項１～３に係る発明につき特許を無効にすることを求める特許無効の審判請求がされ，同請求は，無効２００６－８０２７３号事件として特許庁に係属した。 原告は平成１９年４月２日付けで訂正以下本件訂正というを請求した，（「」。）（甲１０の１，２。 ）特許庁は平成２０年２月５日訂正を認める特許第２７０８３３７号の請求，，「。 項１ないし３に記載された発明についての特許を無効とするとの審決をしその。」，謄本は，同月１５日，原告に送達された。 特許請求の範囲本件訂正後の請求 第２７０８３３７号の請求，，「。 項１ないし３に記載された発明についての特許を無効とするとの審決をしその。」，謄本は，同月１５日，原告に送達された。 特許請求の範囲本件訂正後の請求項１～３（以下，本件訂正後の請求項につき，それぞれ，単に「」。）（，「」。）請求項１などというに係る発明以下それぞれ本件発明１などというの内容は，次のとおりである。 【請求項１】表面に薄膜が形成された角型基板を載置保持する基板保持手段と，その基板保持手段によって保持された前記角型基板の端縁の表裏両面の少なくともいずれか一方に溶剤を吐出して不要薄膜を溶解する溶剤吐出手段とを備えた基板端縁洗浄装置において，前記溶剤吐出手段に，前記角型基板の端縁に沿った複数の吐出口を備えさせるとともに，前記溶剤吐出手段を前記角型基板の端縁に沿って相対的に移動する移動手段と，前記溶剤吐出手段を角型基板の大きさに応じて，その端縁に沿って直線的に移動できる位置に変位できるように，溶剤吐出手段を角型基板の端縁に対して遠近変位する位置調整手段とを備え，前記移動手段は角型基板の端縁に沿って相対的に移動する移動台を備え，前記位置調整手段は，前記移動台に設けられたガイドに沿って角型基板に対して遠近する方向に移動可能な支持部材を備え，前記溶剤吐出手段は前記支持部材に取り付けられていることを特徴とする基板端縁洗浄装置。 【請求項２】請求項１に記載の溶剤吐出手段からの溶剤によって溶解された不要薄膜をガスの吐出によって角型基板の端縁よりも外方に吹き飛ばすガスノズルを設けるとともに，前記ガ- 3 -スノズルを前記溶剤吐出手段とともに前記角型基板の端縁に沿って相対的に移動する移動手段を設けてある基板端縁洗浄装置。 【請求項３】請求項２に記載の溶剤吐出手段からの溶剤やガスノズルから ガ- 3 -スノズルを前記溶剤吐出手段とともに前記角型基板の端縁に沿って相対的に移動する移動手段を設けてある基板端縁洗浄装置。 【請求項３】請求項２に記載の溶剤吐出手段からの溶剤やガスノズルからのガスによって吹き飛ばされた不要薄膜を吸引排出する吸引部材を設けるとともに，前記吸引部材を前記ガスノズルおよび前記溶剤吐出手段とともに角型基板の端縁に沿って相対的に移動する移動手段を設けてある基板端縁洗浄装置。 審決の判断本件訂正請求の訂正を認める。 (1)本件発明１～３の無効について(2)審決は次のとおり特開平４－６５１１５号公報甲１に記載された発明以，，（）（下引用発明１というの内容本件発明１～３と引用発明１との一致点及び相「」。），違点１～７を認定した上で，これらの相違点につき，いずれも当業者が容易に想到できたものであるとし，本件発明１～３の特許は，特許法２９条２項の規定に違反してされものであるから，同法１２３条１項２号の規定に該当して無効とされる，とした。 ア引用発明１の内容「処理槽１１の中央にレジストが表面に塗付された角形基板ａを固定するための基台としての角形基板ａよりも一回り小さな固定テーブル１２と，前記固定テーブル１２に保持された角形基板ａの側面から底面にかけて接触可能な状態で装着されレジスト除去液を供給するクリーニングヘッド２１とを備える不要レジスト除去装置において，前記不要レジスト除去装置は，前記処理槽１１の各側壁のそれぞれにピン１３を支点として水平面内回転可能に，角形基板ａの端面の接線延長線上に取り付けられて，クリーニングヘッド２１を角形基板ａの端面接線方向に沿って移動させるヘッド駆動手段としてのシリンダ２０と，前記シリンダ２０の各シリンダ部と処理槽１１の各側壁との間にそれぞ 線延長線上に取り付けられて，クリーニングヘッド２１を角形基板ａの端面接線方向に沿って移動させるヘッド駆動手段としてのシリンダ２０と，前記シリンダ２０の各シリンダ部と処理槽１１の各側壁との間にそれぞれ介挿されて，前記ピン１３を支点としてシリンダ２０を回動させるための第２のエアシリンダ３０とを備え，- 4 -前記シリンダ２０のピストンロッド２０ａの先端に設けられる前記クリーニングヘッド２１は，高分子材からなる弾力性のある材料により構成されＬ字形断面を有するパッド２１ａと，前記パッド２１ａを保持するベース２１ｂとを備えるとともに，前記ベース２１ｂの上面に複数のノズル２３ａを有するパイプ２３が配設され，前記パッド２１ａの上面にはレジスト除去液を供給する各ノズル２３ａの先端が下向きに形成されており，表面にフォトレジストが塗付された角形基板ａが，全エアシリンダ２０を外側に回転させた状態で不要レジスト除去装置の固定テーブル１２上に載置され，真空吸着手段により固定されて，第２のエアシリンダ３０を作動させて４つのエアシリンダ２０を所望の位置まで回動させた後，パイプ２３に設けられたノズル２３ａよりレジスト除去液を滴下させながら，エアシリンダ２０に圧縮空気を送ってシリンダロッド２０ａを往復動させると，パッド２１ａが角形基板ａの側面から底面にかけて接触したままこすられるように移動して，角形基板ａの側面から底面にかけて付着した不要なレジストがパッド２１ａによってこすりとられて脱落し，角形基板ａの周縁が清浄化された後，第２のエアシリンダ３０が作動されてエアシリンダ２３が角形基板ａから遠ざかる方向へ回動されて，当初の位置まで待避した後，真空吸着手段を解除して角形基板ａを開放し，搬送手段により固定テーブル１２上から角形基板ａを持ち上げ，処理槽１１から外部へ搬出するよ 形基板ａから遠ざかる方向へ回動されて，当初の位置まで待避した後，真空吸着手段を解除して角形基板ａを開放し，搬送手段により固定テーブル１２上から角形基板ａを持ち上げ，処理槽１１から外部へ搬出するようにした不要レジスト除去装置（１３頁５～３７行）」イ本件発明１と引用発明１との対比本件発明と引用発明１との一致点及び相違点１～３について ｱ一致点( )「表面に薄膜が形成された角型基板を載置保持する基板保持手段と，その基板保持手段によって保持された前記角型基板の端縁の表裏両面の少なくともいずれか一方に溶剤を吐出して不要薄膜を溶解する溶剤吐出手段とを備えた基板端縁洗浄装置において，前記溶剤吐出手段に，前記角型基板の端縁に沿った複数の吐出口を備えさせるとともに，前記溶剤吐出手段を前記角型基板の端縁に沿って相対的に移動する移動手段と，前記溶剤吐出手段を角型基板の大きさに応じて，その端縁に沿って直線的に移動できる位置に変位できるように，溶剤吐出手段を角型基板の端縁に対して遠近変位する位置調整手段とを備える基板端縁洗浄装置１９頁５～１３」（- 5 -行）ｲ相違点１( )本件発明１が移動手段は角型基板の端縁に沿って相対的に移動する移動台を備えるの「，『』に対し，引用発明１は，前記構成を欠いている点（１９頁１５～１７行）。」(ｳ)相違点２本件発明１が位置調整手段は移動台に設けられたガイドに沿って角型基板に対して遠「，『，近する方向に移動可能な支持部材を備え』るのに対し，引用発明１は，前記構成を欠いている点（１９頁１８～２０行）。」(ｴ)相違点３「，『』，，本件発明１が溶剤吐出手段は支持部材に取り付けられているのに対し引用発明１は前記構成を欠いている点（１９頁２１，２２行）。」ウ 頁１８～２０行）。」(ｴ)相違点３「，『』，，本件発明１が溶剤吐出手段は支持部材に取り付けられているのに対し引用発明１は前記構成を欠いている点（１９頁２１，２２行）。」ウ本件発明２と引用発明１との対比本件発明２と引用発明１との一致点及び相違点１～５について本件発明２と引用発明１とは請求項１に記載の基板端縁洗浄装置である点で一致し上，「」，記相違点１～３のほかに，次の相違点４及び５で両者の構成が相違する。 (ｱ)相違点４「本件発明２が『溶剤吐出手段からの溶剤によって溶解された不要薄膜をガスの吐出によって角型基板の端縁よりも外方に吹き飛ばすガスノズルを設ける』のに対して，引用発明１は，前記構成が設けられていない点（２６頁１３～１６行）。」(ｲ)相違点５「本件発明２が『前記ガスノズルを前記溶剤吐出手段とともに前記角型基板の端縁に沿って相対的に移動する移動手段を設けてある』のに対して，引用発明１は，前記構成が設けられていない点（２６頁１７～１９行）。」エ本件発明３と引用発明１の対比本件発明３と引用発明１との一致点及び相違点１～７について本件発明３と引用発明１とは請求項３において引用されている請求項２がさらに引用する，「- 6 -請求項１に記載の基板端縁洗浄装置」である点で一致し，上記相違点１～５のほかに，次の相違点６及び７で両者の構成が相違する。 (ｱ)相違点６「本件発明３が『不要薄膜を吸引排出する吸引部材を設ける』のに対して，引用発明１は，前記構成が設けられていない点（２９頁１９，２０行）。」(ｲ)相違点７「前記ガスノズルおよび前記溶剤吐出手段とともに，本件発明３が『前記吸引部材を角型基板の端縁に沿って相対的に移動する移動手段を設けてある』のに対して，引用発明１は，前記 行）。」(ｲ)相違点７「前記ガスノズルおよび前記溶剤吐出手段とともに，本件発明３が『前記吸引部材を角型基板の端縁に沿って相対的に移動する移動手段を設けてある』のに対して，引用発明１は，前記構成を欠いている点（２９頁２１～２３行）。」第３原告主張の審決取消理由の要点以下のとおり，審決には誤りがあり，これらは審決の結論に影響を及ぼすものであるから，審決は取り消されなければならない。 取消理由１（一致点の認定の誤り）について(1)審決は，引用発明１と本件発明１との一致点として「・・・前記溶剤，吐出手段を角型基板の大きさに応じて，その端縁に沿って直線的に移動できる位置に変位できるように，溶剤吐出手段を角型基板の端縁に対して遠近変位する位置調整手段を備えることを認定するが１９頁１０～１３行これは誤」（），っている。 甲１には角型基板の大きさに応じて溶剤吐出手段を角型基板の端縁に対し，「て遠近変位する」位置調整手段は開示も示唆もされておらず，審決の認定は，技術的にも誤ったものである。 そして，上記の一致点認定の誤りは，本件発明２及び３と引用発明１の一致点認定の誤りでもある。 (2)審決は引用発明１は第２のエアシリンダ３０がシリンダ２０の各，「，『シリンダ部と処理槽１１の各側壁との間にそれぞれ介挿されており，第２のエ- 7 -アシリンダの伸縮によりシリンダ２０をピン１３を支点として回動させて，前記シリンダ２０を角形基板ａの端面接線方向に対して接近させたり離隔させたりすることにより，前記シリンダ２０のピストンロッド２０ａの先端に設けられたクリーニングヘッド２１の位置を角形基板ａの端面方向に対して調整することができる』というものである。 ／そして，引用発明１の前記構成によれば固定テーブル１２に保持さ ッド２０ａの先端に設けられたクリーニングヘッド２１の位置を角形基板ａの端面方向に対して調整することができる』というものである。 ／そして，引用発明１の前記構成によれば固定テーブル１２に保持された角形基板ａは甲１の第１図に図示されて，，いる角形基板ａよりも大きい場合には，第２のエアシリンダ３０が収縮してシリンダ２０とともにクリーニングヘッド２１を処理槽１１の側壁に接近するようにピン１３を支点として水平面内で揺動させ，かつ，大きい角形基板ａを処理槽１１の各側壁に対して，角形基板ａの端縁が各側面と平行ではなく，偏向された状態に固定されたテーブル１２に保持することにより，クリーニングヘッド２１を角形基板ａの端縁に沿って直線的に移動できる位置に変位可能である（２４頁２６行～２５。」頁２行）とする。 しかしながら，審決の上記の解釈である，処理槽１１の側壁と平行でなく，さらに固定テーブル１２の辺とも平行でない状態（偏向された状態）で「大きい基板」も保持できるという事項は，甲１に全く開示も示唆もされておらず，審決が新たに甲１の開示に付加した事項にほかならない。 また，出願時の当業者の技術常識においても，処理槽１１の側壁にも固定テーブル１２の辺にも平行でない状態でレジスト基板を保持する基板端縁洗浄装置などというものは存在しない。 基板端縁洗浄装置は，近時では１辺がメートル単位にも達する基板（例えば液晶用）について，その端縁をミリ単位で洗浄処理する装置である。このような緻密さの要求される基板端縁洗浄装置において格別の技術的工夫もなく角，「形基板ａの固定テーブル１２上の保持方向を偏向させる」といった発想を，当業者が抱くことはない。 ，，，(3)また引用発明１において基台である固定テーブル１２はそのままに- 8 -薄板状の基板 基板ａの固定テーブル１２上の保持方向を偏向させる」といった発想を，当業者が抱くことはない。 ，，，(3)また引用発明１において基台である固定テーブル１２はそのままに- 8 -薄板状の基板を偏向載置した場合，基台に近い部分と基台から遠い部分との間で不等沈下が生ずる。このような状態では，クリーニングヘッド２１が基板端面を均等かつ適切に清浄化できるものではない。 (4)さらにエアシリンダの技術常識としてピストンロッドの伸縮長さを，，任意に制御することができない（伸びた位置と縮んだ位置の２値しか存在しない）ことは当業者にとって明らかであるから，第２のシリンダ３０は，格段の技術手段を付加しない限り，クリーニングパッドを基板に当接する実線位置と基板を開放する退避位置の２つの位置にしか位置決めできないすなわち角。 ，「型基板の大きさに応じて」溶剤吐出手段を遠近変位することはできない。 (5)さらにまた審決の解釈によれば甲１において不要レジストを除去で，，きない部分が発生する。甲１のクリーニングヘッド２１は，第１図における基板ａの大きさに合わせてシリンダロッド２０ａの前後動により基板の端面を摺動可能なようになっているが，この構造を，審決の解釈に従って「偏向して保持された大きい角形基板」に適用した場合，クリーニングヘッドが届かず，端面を清浄化できない部分が生じる。 このような「基板の端面全体を清浄化できない不要レジスト除去装置」が甲，。 １に開示されているとの結論が避けられないという認定は誤ったものである(6)さらにまた，審決の認定（角型基板ａの固定テーブル１２上の保持方向を偏向させれば大きい基板の端縁に沿ってクリーニングヘッド２１を直線的に移動できるという解釈）は，角形基板ａが正方形の場合にのみ当てはまる認定で 審決の認定（角型基板ａの固定テーブル１２上の保持方向を偏向させれば大きい基板の端縁に沿ってクリーニングヘッド２１を直線的に移動できるという解釈）は，角形基板ａが正方形の場合にのみ当てはまる認定であり，角形基板が長方形の場合には，クリーニングヘッドは「基板の端縁に沿って直線的に移動できる位置に変位」できない。 これに対し本件発明１は００２２及び図１にサポートされている，，【】【】とおり，長辺と短辺を有する長方形の角型基板であってもすべての辺について「溶剤吐出手段を角型基板の大きさに応じて，その端縁に沿って直線的に移動できる位置に変位できるように，溶剤吐出手段を角型基板の端縁に対して遠近- 9 -変位」することが可能である。 取消理由２（相違点１の判断の誤り）について(1)審決は，本件発明１と引用発明１の相違点１について，甲７（特開平２－１３２４４４号公報）を引用し「甲７に記載されている『ノズル操作機構に，おける・・・ノズル保持部材９０ａ，９０ｂの移動手段』は，半導体ウェハ４６に対して相対的に移動する，移動台７８，移動台８２及び移動板８８から構成される『移動台』を備えているといえる。 ／ｅそうすると，引用発明１の『クリーニングヘッド２１を角型基板ａの端面接線方向に沿って移動させるヘッド駆動手段としてのシリンダ２０』からなる移動手段を，甲７に記載されている『ノズル操作機構７３における・・・ノズル保持部材９０ａ，９０ｂの移動手段』のような移動手段に変更することにより，本件発明１の前記相違点１に係る『移動手段は角型基板の端縁に沿って相対的に移動する移動台を備え』る構成とすることは，当業者が格別の技術力を要せずに容易に想到できることである（２１頁１１～２９行）とする。 」，，。 (2)しかしながら上記の の端縁に沿って相対的に移動する移動台を備え』る構成とすることは，当業者が格別の技術力を要せずに容易に想到できることである（２１頁１１～２９行）とする。 」，，。 (2)しかしながら上記の判断は甲７の開示事項を見誤った判断である甲７に開示された移動手段（ノズル操作機構７３）は，円形の半導体ウェハに対し複数種の液を供給する手段であって角型基板の端縁に沿って相対的に移，「動」する機構を開示するものではない。甲７はこのような円形のウェハに対し「ノズル保持部材９０ａ，９０ｂ，９０ｃをそれぞれＸ軸，Ｙ軸，Ｚ軸に沿って移動させる」ノズル操作機構７３を開示するものにすぎない。 一方，甲１におけるシリンダ２０は，クリーニングヘッド２１を角形基板ａ。 「」の４辺の端面接線方向に沿って摺動させる機構である甲１のシリンダ２０を甲７の「ノズル操作機構７３」に代替するためには，ノズル操作機構を角形（），基板の端面４つの辺に沿って移動可能な手段に改変しなければならないがそのような改変を示唆する記載は甲７には存在しない。 ，「」「」(3)したがって甲１のシリンダ２０を甲７のノズル操作機構７３- 10 -に代替できるとする審決の判断は，誤ったものである。 取消理由３（相違点２の判断の誤り）について(1)審決は，本件発明１と引用発明１との相違点２について，甲７を補助引例として「甲７に記載されている前記ノズル操作機構７３における・・・半，『導体ウェハ４６・・・は本件発明１の・・・角型基板・・・にそれぞれ相』，『』当するから甲７にはノズル操作機構７３は移動台８２に設けられたガイ，，『，ドレール７９に沿って半導体ウェハ４６に対して遠近する方向に移動可能な移動板８８を備え』る構成，すなわち，本件 』当するから甲７にはノズル操作機構７３は移動台８２に設けられたガイ，，『，ドレール７９に沿って半導体ウェハ４６に対して遠近する方向に移動可能な移動板８８を備え』る構成，すなわち，本件発明１の前記相違点２に係る『位置調整手段は，移動台に設けられたガイドに沿って角型基板に対して遠近する方向に移動可能な支持部材を備える構成が記載されているといえる２２頁２』」（４～３３行とした上で引用発明１に甲７に記載されている前記ノズル），「，『操作機構７３は，移動台８２に設けられたガイドレール７９に沿って半導体ウェハ４６に対して遠近する方向に移動可能な移動板８８を備え』る構成を採用すること・・・・は当業者が容易に想到することができたことである ，」（頁３４行～２３頁４行）と判断する。 (2)しかしながら審決の上記判断には事実誤認が含まれておりまたこ，，，の判断は技術的な必然性も存在しない誤ったものである。 甲７における半導体ウェハ４６は円形のウェハであり角型基板に相「」，「」当するとの認定は明らかな事実誤認である。 また，甲１に記載されている発明は，角型基板の４辺の端面をクリーニングヘッド２１で摺動するというものであり，その駆動機構である４つの「シリンダ２０」を，審決が認定する「ウェハ４６に対して遠近する方向に移動可能な移動板８８」に代替するには，甲７においては１つしか存在しない「移動板８８」を４つに増やす改変が不可避であるが，甲７にはそのような改変を示唆する記載は一切存在せず，かつ，甲７の目的からしてその技術的必然性もなく，無暗に機構を複雑にするだけの技術的阻害要因を含む改変である。 - 11 - 取消理由４（相違点３の判断の誤り）について(1)審決は，本件発明１と引用発明 の目的からしてその技術的必然性もなく，無暗に機構を複雑にするだけの技術的阻害要因を含む改変である。 - 11 - 取消理由４（相違点３の判断の誤り）について(1)審決は，本件発明１と引用発明１の相違点３について「甲７に記載さ，れている上記ノズル操作機構７３では，第１ノズル９７ａをホールドしたノズル保持部材９０ａ，９０ｂが移動板８８に搭載されているのであり，甲７に記載されている上記ノズル操作機構７３の『第１ノズル９７ａ』及び『移動板８８』が，それぞれ本件発明１の『溶剤吐出手段』及び『支持部材』に相当するから，甲７には，本件発明１の相違点３に係る・・・構成が記載されているといえる２３頁６～１２行とし引用発明１に係る相違点３を本件発明１の」（），ようにすることは，推考容易であると結論する。 (2)しかしながら，上記認定判断には誤りがある。 甲７における「第１ノズル９７ａ」は，溶剤吐出手段ではなく，レジスト液の滴下用ノズルである。 本件発明１の溶剤吐出手段は不要薄膜不要レジストを溶解する溶「」，「（）剤吐出手段」であって，レジスト液を滴下する甲７の第１ノズル９７ａは，機能において正反対のものである。そして，甲１に記載されたクリーニングヘッド２１の「ノズル２３ａ」も，甲７の第１ノズル９７ａと正反対に「アセトンのようなレジスト除去液を供給」するものである。 したがって引用発明１に甲７の上記開示事項を適用しても溶剤吐出手段，，「は支持部材に取り付けられて」いるとの相違点３の構成は導き出されない。 甲１に甲７を適用して相違点３に係る構成が容易に想到できるとする審決の判断は誤りである。 取消理由５（本件発明２に係る判断の誤り）について(1)相違点４についてア審決は本件発明２と引用発明１の相違点４に して相違点３に係る構成が容易に想到できるとする審決の判断は誤りである。 取消理由５（本件発明２に係る判断の誤り）について(1)相違点４についてア審決は本件発明２と引用発明１の相違点４について甲２判決注：，，「（特開平１－２９８７２０号公報及び甲５判決注：特開平３－２６３３１４号公）（報）の前記記載からみて『空気や窒素ガス等の気体をノズルからウェハの外周，- 12 -方向に噴射させて，気流の作用で窒素ガス噴流がウェハに付いているレジスト』，。 剥離液を吹き飛ばす技術手段は本願特許出願時の周知技術であるといえる・・・そうすると，引用発明１に，前記『空気や窒素ガス等の気体をノズルからウェハの外周方向に噴射させて，気流の作用で窒素ガス噴流がウェハに付いているレジスト剥離液を吹き飛ばす』周知技術を採用することにより，本件発明２の前記相違点４に係る・・・構成とすることは，当業者が容易に想到できたことである（２７頁１０～２６行）とする。 」イしかしながら，甲１に記載された不要レジスト除去装置は，不要レジストの乱流がパターニングの支障となるという技術的課題を解決するために「基板の端面に接触可能な摺動部材」として「クリーニングヘッド２１」を採用し「基板ａの側面から底面にかけて付着した不要なレジストがパッド２２ａによってこすりとられて脱落するというものであり不要薄膜をガスの吐出によ」，「って角型基板の端縁よりも外方に吹き飛ばす」という技術的思想を導入する動機が存在しないどころか，クリーニングヘッド２１（パッド２２ａ）によってこすりとられた不要なレジストを噴射する機構を甲１の第１図の機構にどのように適用すればよいか全く不明である。 したがって，審決の上記判断は根拠を欠くものである。 (2)相違点５につい ２ａ）によってこすりとられた不要なレジストを噴射する機構を甲１の第１図の機構にどのように適用すればよいか全く不明である。 したがって，審決の上記判断は根拠を欠くものである。 (2)相違点５についてア審決は，相違点５について，甲２の記載を根拠に「引用発明１に，前記，『ブロックにレジスト剥離液用ノズルと窒素ガス用ノズルと壁部材が取り付けられてユニット化された，ガイドレールに沿って移動可能なユニット』の周知技術を採用することにより，本件発明２の前記相違点５に係る・・・構成とすることは当業者が容易に想到できたことである２８頁１７～２２行とす，」（）る。 イしかしながら本件発明２は角型基板の端縁に沿ってガスノズルが，，「」相対的に移動するものであり，甲２には，このような構成の開示はなく，上記- 13 -の判断も誤ったものである。 取消理由６（本件発明３に係る判断の誤り）について(1)相違点６についてア審決は，本件発明３と引用発明１との相違点６につき「甲４（判決注：，特開昭６４－６１９１７号公報及び甲６判決注：特開平４－２０６６２６号公）（報）の記載及び図面の図示からみて『ノズルからレジスト膜の溶剤を供給して，基板周辺部のレジストを溶解させ，排気装置またはダクトに連結された管により，溶剤と溶解物とを吸引により排出させるようにする不要レジストを吸引排出する手段は本願特許出願時の周知技術であるといえる３０頁３３行～』，」（３１頁２行）とし，引用発明１との相違点６を本件発明３のようにすることは容易であるとする。 イしかしながら，甲４又は甲６に開示の吸引手段を甲１に適用する動機付けとなるものは甲１に一切存在しない。審決の上記判断は根拠を欠く。 (2)相違点７についてア審決は，本件発 容易であるとする。 イしかしながら，甲４又は甲６に開示の吸引手段を甲１に適用する動機付けとなるものは甲１に一切存在しない。審決の上記判断は根拠を欠く。 (2)相違点７についてア審決は，本件発明３と引用発明１との相違点７につき「引用発明１に記，載の移動手段としてのシリンダ２０に代わる甲７に記載の移動手段に，前記周知技術における前記レジストを供給するノズルと不要レジストを吸引排出する装置とが一体である不要レジストを吸引排出する構成を設けることにより，本件発明３の前記相違点７に係る『前記吸引部材を角型基板の端縁に沿って相対的に移動する移動手段を設けてある』の構成を得ることは，周知技術に基づいて当業者が容易になし得る設計事項である（３１頁２２～２８行）とする。 」イしかしながら審決が周知技術の根拠とする甲４は角型基板の端，「」，「縁に沿って相対的に移動するものではなくまた上記４(2)のとおり甲７」，，，の移動手段（ノズル操作機構７３）は，甲１のシリンダ２０と置換できない正反対の部材である。 - 14 -第４被告の反論の要点以下のとおり，審決の認定判断に誤りはない。 取消理由１（一致点の認定の誤り）に対して審決における本件発明１と引用発明１との一致点の認定に誤りはない。 (1)原告は「甲１には『角型基板の大きさに応じて溶剤吐出手段を角型基板の端縁，，』」，に対して遠近変位する位置調整手段は開示も示唆もされていないと主張するが上記位置調整手段は，甲１に実質上開示されている。 甲１の第１図において，角型基板が，図示の角型基板ａよりも大きい場合には，第２のエアシリンダ３０が収縮してシリンダ２０とともにクリーニングヘッド２１を処理槽１１の側壁に接近するようにピン１３を支点として水平面内で揺動させ 角型基板が，図示の角型基板ａよりも大きい場合には，第２のエアシリンダ３０が収縮してシリンダ２０とともにクリーニングヘッド２１を処理槽１１の側壁に接近するようにピン１３を支点として水平面内で揺動させ，かつ，大きい角型基板を，処理槽１１の各側壁に対して，角型基板の端縁が各側壁と平行ではなく，偏向された状態に固定テーブル１２に保持することにより，クリーニングヘッド２１を角型基板の端縁に沿って直線的に移動できる位置に変位可能である。 このような実施の形態は，甲１には文言をもって直接的には記載されていないものの，甲１の特許請求の範囲に当然含まれる実施の形態であり，かつ，当業者が甲１の第１図を参照すれば，シリンダ３０とシリンダ２０との単純な動作で採り得るから，上記実施の形態は第１図に実質的に開示されているというべきである。 (2)原告は本件発明１において偏向して保持された大きい角型基板に適，，「」用した場合，クリーニングヘッドが届かず端面を清浄化できない部分が生ずる，と主張する。 しかしながら，保持テーブル９よりも極端に大きい角型基板１の隅が処理槽側壁に達するような角型基板を処理することはあり得ず，また，保持テーブル９よりも小さい角型基板を処理することもあり得ないから，原告は，本件発明１でもあり得ない状態を想定し，引用発明１を評価していることになる。 甲１の第１図に示す装置においては，処理可能な角型基板のサイズは自ら限界が- 15 -あり，本件発明１においても処理できる角型基板のサイズは，引用発明１と同様であるから，原告の上記主張には理由がない。 (3)原告は，過大なサイズの角型基板を示し「精密な位置決め」ができないと，主張するしかし精密な位置決めは引用発明１の出願時において極めて容易。 ，「」，な技術的手段であり， い。 (3)原告は，過大なサイズの角型基板を示し「精密な位置決め」ができないと，主張するしかし精密な位置決めは引用発明１の出願時において極めて容易。 ，「」，な技術的手段であり，原告主張には理由がない。 (4)原告は，引用発明１では長方形の角型基板は処理できない，と主張する。 しかし，本件発明１は，長方形の角型基板に使用することに限定されておらず，正方形の角型基板への適用も当然含まれるから，原告の上記主張には理由がない。 (5)以上のとおり角型基板ａについてあり得ない状態を想定して行っている原，告主張には理由がなく，審決において本件発明１と引用発明１との一致点の認定には誤りはなく，本件発明２及び３においても上記一致点の認定には誤りはない。 取消理由２（相違点１の判断の誤り）に対して(1)甲７には「ノズル操作機構７３における基台２０上に支持されているガイ，ドレール７４に沿って案内移動可能な移動台７８，該移動台７８上に支持されているガイドレール７９に沿ってＸ軸方向に案内移動可能な前記移動台７８上の移動板８２・・・前記移動台８２上に搭載されている移動板８８からなるノズル保持部材９０ａ９０ｂの移動手段が記載されておりこの移動手段は本件発明１の移，」，，「動手段は角型基板の端縁に沿って相対的に移動する移動台を備え」ると同一構成である。 そして，甲７に記載の上記構成と，甲１に記載の構成である「クリーニングヘッド２１を角型基板ａの端縁接線方向に沿って移動させるヘッド駆動手段としてのシリンダ２０」とは，ともに液体吐出ノズルを所望の位置に移動させて液体を所望の位置に供給するという目的において共通しているから，甲７に記載の上記構成を甲１に記載の上記構成に置換して，本件発明１のように構成することは当業者が格別の 出ノズルを所望の位置に移動させて液体を所望の位置に供給するという目的において共通しているから，甲７に記載の上記構成を甲１に記載の上記構成に置換して，本件発明１のように構成することは当業者が格別の技術力を要しない，とする審決の判断に誤りはない。 (2)原告は甲７に開示された移動手段ノズル操作機構７３は円形の半，「（），- 16 -導体ウエハに対し複数種の液を供給する手段であって角型基板の端縁に沿って相，『対的に移動』する機構を開示するものではな」く，甲１の「シリンダ２０」を甲７の「ノズル操作機構７３」に代替できるとする審決の判断に誤りがある，と主張する。 しかしながら，審決の判断は，液体が付与される被処理物（角型基板，円形のウエハの形状を問題としているのではなく被処理物に対して液体吐出ノズルを），「，所望の位置に移動させて液体を所望の位置に供給する」という技術構成に着目したものである。甲７には上記構成が記載されており，この構成を同様な目的を有する引用発明１に適用して本件発明１のように構成することは当業者が格別の技術力，「を要せず，容易に想到できることである」という審決の判断に誤りはない。 (3)また，原告は「甲１の『シリンダ２０』を甲７の『ノズル操作機構７３』，に代替するためには，ノズル操作機構を角型基板の端面（４つの辺）に沿って移動可能な手段に改変しなければならないが，そのような改変を示唆する記載は甲７には存在しないと主張するが甲７に記載の前記構成を引用発明１に適用するため。」，には，本件発明１が角型基板の４つの辺に溶剤吐出手段等を設けていると同様な理由で周知の技術的手段によって当然に改変が必要であり必要性も必然，「」，「」「性」もある。 (4)したがって甲 １が角型基板の４つの辺に溶剤吐出手段等を設けていると同様な理由で周知の技術的手段によって当然に改変が必要であり必要性も必然，「」，「」「性」もある。 (4)したがって甲１のシリンダ２０を甲７のノズル操作機構７３に容，「」「」易に代替できるとする審決の判断に誤りはない。 取消理由３（相違点２の判断の誤り）に対して(1)原告は「甲７における『半導体ウエハ４６』は本件発明１の『角型基板』，とは，その形状からしても異なり，事実誤認である」旨主張する。 しかしながら，審決は，液体が付与される被処理物（角型基板，円形のウエハ）の形状を問題としているのではなく被処理物に対して液体吐出ノズルを所望の，「，位置に移動させて液体を所望の位置に供給する」という技術構成に着目したものであり，甲７には，上記構成が記載されており，この構成を同様な目的を有する引用- 17 -発明１に適用して本件発明１のように構成することは，当業者が容易に想到できることである，とする審決の認定判断に誤りはない。 (2)甲７には「ノズル操作機構７３は，移動台８２に設けられたガイドレール，７９に沿って半導体ウエハ４６に対して遠近する方向に移動可能な移動板８８を備」，「，える構成が記載されこの構成は本件発明１の相違点２に係る位置調整手段は移動台に設けられたガイドに沿って角型基板に対して遠近する方向で移動可能な支持部材を備え」る構成と同一である。 そして甲７の前記構成と，甲１の「前記シリンダ２０の各シリンダ部と処理槽１１の各側壁との間にそれぞれ介挿されて，前記ピン１３を支点としてシリンダ２０を回動させるためのシリンダ３０」とは，ともに液体吐出ノズルを所望の位置に移動させて液体を所望の位置に供給するという目的において共通して の間にそれぞれ介挿されて，前記ピン１３を支点としてシリンダ２０を回動させるためのシリンダ３０」とは，ともに液体吐出ノズルを所望の位置に移動させて液体を所望の位置に供給するという目的において共通しているから，甲７に記載の前記構成を甲１に記載の前記構成に置換して，本件発明１のように構成することは当業者が容易に想到することができる。 取消理由４（相違点３の判断の誤り）に対して(1)甲７には「第１ノズル９７ａ（３０ａ）をホールドしたノズル保持部材９，０ａ，９０ｂが移動板８８に搭載されているノズル操作機構７３」なる構成が記載され，この構成は本件発明１の前記相違点３に係る「溶剤吐出手段は前記支持部材に取りつけられている」という構成と同一である。 そして，甲７に記載の上記構成と，甲１の「上記各エアシリンダ２０のピストンロッド２０ａの先端に装着されたクリーニングヘッド２１」という構成とは，液体を所望の位置に供給するという目的において共通しているから，甲７に記載の前記構成を甲１に記載の前記構成に置換して，本件発明１のように構成することは，当業者が格別の困難を伴うことなく容易に想到できたことである。 (2)原告は甲７における第一ノズル９７ａ３０ａは溶剤吐出手段で，「『（）』，はない。レジスト液の滴下用ノズルである」とし，上記認定は事実誤認を含むと主張する。 - 18 -しかしながら審決は第１ノズル９７ａ３０ａから供給される液体とク，，「（）」「」，リーニングヘッド２１から供給される液体の種類の異同を判断したものではなく「液体を吐出する手段がどのように構成されているか」という技術構成に着目したものであって，甲７には上記構成が記載されており，この構成を同様な目的を有する引用発明１に適用して本件発明１のように はなく「液体を吐出する手段がどのように構成されているか」という技術構成に着目したものであって，甲７には上記構成が記載されており，この構成を同様な目的を有する引用発明１に適用して本件発明１のように構成することは当業者が格別の困難，「」。 を伴うことなく容易に想到できたことであるという審決の認定判断に誤りはない 取消理由５（本件発明２に係る判断の誤り）に対して(1)相違点４についてア甲２及び５には空気や窒素ガス等の気体をノズルからウエハの外周方向に，「噴射させて，気流の作用で窒素ガス噴流がウエハに付いているレジスト剥離液を吹き飛ばす」という周知技術が記載され，この周知技術は，本件発明２の「溶剤吐出手段からの溶剤によって溶解された不要薄膜をガスの吐出によって角型基板の端縁よりも外方に吹き飛ばすガスノズルを設ける」という構成と同一である。 そして甲２及び５に記載の上記周知技術を引用発明１に適用して溶剤吐出，，，「手段からの溶剤によって溶解された不要薄膜をガスの吐出によって角型基板の端縁よりも外方に吹き飛ばすガスノズルを設ける」構成とすることは，当業者が容易に想到できることである。 イ原告は甲１には不要薄膜をガスの吐出によって角型基板の端縁よりも外，，「方に吹き飛ばすという技術的思想を導入する『動機』が存在せず，クリーニングヘッド２１（パッド２２ａ）によってこすりとられた不要なレジストを噴射する機構」。 を甲１の第１図の機構にどのように適用すればよいか全く不明であると主張するしかしながら，甲１には，パッド２２ａによってこすりとられて脱落した不要レジストが存在し甲１の３頁右上欄６～８行これらの脱落した不要レジストの存（），在が好ましくないことは，甲１（２頁右上欄１５～１７行）にも記載され，かつ，こ によってこすりとられて脱落した不要レジストが存在し甲１の３頁右上欄６～８行これらの脱落した不要レジストの存（），在が好ましくないことは，甲１（２頁右上欄１５～１７行）にも記載され，かつ，このことは，甲２，５等においてよく知られた事項であるから，甲１には，不要薄膜をガスの吐出によって角型基板の端縁よりも外方に吹き飛ばすという技術的思想- 19 -を導入する「動機」が存在する。 また，不要なレジストを噴射する機構を甲１の第１図の機構にどのように適用すればよいかは，甲２，５等を参照すれば当業者に自明の事項である。 (2)相違点５についてア甲２にはブロックにレジスト剥離用ノズルと窒素ガス用ノズルと壁部材が，「取りつけられてユニット化された，ガイドレールにそって移動可能なユニット」の技術手段が記載され，該技術手段は，本件発明２の「前記ガスノズルを前記溶剤吐出手段とともに前記角型基板の端縁に沿って相対的に移動する移動手段を設けてある」という構成と同一である。 そして甲２に記載の上記周知技術を引用発明１に適用して前記ガスノズルを，，「前記溶剤吐出手段とともに前記角型基板の端縁に沿って相対的に移動する移動手段を設けてある」構成とすることは，当業者が容易に想到できることである。 イ原告は甲２には角型基板の端縁に沿ってガスノズルを相対的に移動する，「，構成は，記載されていない」と主張する。 しかしながら，審決は，ガスが吹き付けられる被処理物の形状を判断したものではなく，被処理物にガスを吹き付ける手段の移動について判断したものであって，原告の上記主張は，理由がない。 取消理由６（本件発明３に係る判断の誤り）に対して(1)相違点６についてア甲４には「排気装置またはダクトに連結されている第３の管２４」が記載され，また，甲 原告の上記主張は，理由がない。 取消理由６（本件発明３に係る判断の誤り）に対して(1)相違点６についてア甲４には「排気装置またはダクトに連結されている第３の管２４」が記載され，また，甲６には「矢印７に示すウエハ３の周辺部の外側方向にレジスト膜の溶剤を吸引する手段」及び「矢印１１に示すウエハ３の周辺部の外側方向に現像液が流れるように吸引する手段」が記載されている。 そして甲４及び６に記載の上記周知技術を引用発明１に適用して不要薄膜，，，「を吸引排出する吸引部材を設ける」構成とすることは，当業者が容易に想到できることである。 - 20 -イ原告は甲４又は甲６に開示の吸引手段を甲１に適用する動機付けとなるも，「のは甲１には一切存在しない」と主張する。 しかしながら，甲１には，パッド２２ａによってこすりとられて脱落した不要レジストが存在し甲１の３頁右上欄６～８行これらの脱落した不要レジストや溶（），剤の存在が好ましくないことは，甲１（２頁右上欄１５～１７行）にも記載され，，，，，，かつこのことは甲２甲５等においてよく知られた事項であるから甲１には「」，，甲４又は６に記載の吸引手段を適用する動機付けが存在し原告の上記主張は理由がない。 (2)相違点７についてア甲４記載の「ノズルからレジスト膜の溶剤を供給して基板周辺部のレジストを溶解させ，排気装置またはダクトに連結された管により，溶剤と溶解物とを吸引により排出させるようにする不要レジストを吸引排出する手段」との周知技術においては，不要レジストを吸引排出する手段のレジストを供給するノズルと不要レジストを吸引排出する装置とが一体の構成となっている。 そうすると，引用発明１の移動手段としてのシリンダ２０に代わる甲７に記載の移動手段に，前 ストを吸引排出する手段のレジストを供給するノズルと不要レジストを吸引排出する装置とが一体の構成となっている。 そうすると，引用発明１の移動手段としてのシリンダ２０に代わる甲７に記載の移動手段に，前記周知技術における前記レジストを供給するノズルと不要レジストを吸引排出する装置とが一体である不要レジストを吸引排出する構成を設けることにより，本件発明３の前記相違点７に係る「前記吸引部材の角型基板の端縁に沿って相対的に移動する移動手段を設けてある」の構成を得ることは，周知技術に基づいて当業者が容易になし得る設計事項である。 イ原告は「審決が『周知技術』の根拠とする甲４は『角型基板』の端縁に沿，，って相対的に移動するものではない」と主張する。 しかしながら，審決は，液体が付与される被処理物（角型基板，円形のウエハ）の形状を問題としているのではなく不要レジストを吸引排出する手段のレジスト，「を供給するノズルと不要レジストを吸引排出する装置とが一体の構成となっている」という技術構成に着目したものであるところ，甲４には，上記構成が記載され- 21 -ており，この構成を，甲７に適用し，同様な目的を有する引用発明１に応用して本件発明３のように構成することは当業者が容易になし得る設計事項であると認，「」められ，審決のこのような認定判断に誤りはない。 第５当裁判所の判断 取消理由１（一致点の認定の誤り）について審決の認定判断について(1)審決は，本件発明１と引用発明１との一致点を，次のように認定した。 (ｱ)ここで本件発明１と引用発明１とを対比すると引用発明１のレジスト角形「，，『』，『基板ａ『角形基板ａを固定するための基台としての角形基板ａよりも－回り小さな固定テー』，ブル１２『レジスト除去液『前記固定テー 対比すると引用発明１のレジスト角形「，，『』，『基板ａ『角形基板ａを固定するための基台としての角形基板ａよりも－回り小さな固定テー』，ブル１２『レジスト除去液『前記固定テーブル１２に保持された角形基板ａの側面から底』，』，面にかけて接触可能な状態で装着されレジスト除去液を供給するクリーニングヘッド２１』及び『不要レジスト除去装置』のそれぞれが，本件発明１の『薄膜『角型基板『角型基板を』，』，載置保持する基板保持手段『溶剤『溶剤を吐出して不要薄膜を溶解する溶剤吐出手段』及』，』，び『基板端縁洗浄装置』のそれぞれに相当することは，明らかである。 (ｲ)また引用発明１のクリーニングヘッド２１を角形基板ａの端面接線方向に沿って移，『動させるヘッド駆動手段としてのシリンダ２０』が，本件発明１の『前記溶剤吐出手段を前記角型基板の端縁に沿って相対的に移動する移動手段』に相当する。 (ｳ)そして引用発明１ではシリンダ２０のピストンロッド２０ａの先端に設けられたク，，『』リーニングヘッド２１のベース２１ｂの上面に配設されるパイプ２３に複数のノズル２３ａが設けられていて，前記『複数のノズル２３ａ』からレジスト除去液が滴下されるようになっており，しかも，前記クリーニングヘッド２１は，ヘッド駆動手段としてのシリンダ２０により，角形基板ａの端面接線方向に沿って移動されて，角形基板ａの側面から底面にかけて接触，，『』，可能であることおよび甲１の第２図における複数のノズル２３ａの図示を参酌すると前記『複数のノズル２３ａ』は，角形基板ａの端面接線方向に沿って配列されていることが明らかであるから，引用発明１の前記『複数のノズル２３ａ』が，本件発明１の『前記角型基板- 22 -の端縁に沿った 前記『複数のノズル２３ａ』は，角形基板ａの端面接線方向に沿って配列されていることが明らかであるから，引用発明１の前記『複数のノズル２３ａ』が，本件発明１の『前記角型基板- 22 -の端縁に沿った複数の吐出口』に相当するといえる。 (ｴ)さらに引用発明１の第２のエアシリンダ３０はシリンダ２０の各シリンダ部と，『』，処理槽１１の各側壁との間にそれぞれ介挿されて，ピン１３を支点としてシリンダ２０を回動させるものであり第２のエアシリンダ３０の伸縮によりシリンダ２０をピン１３を支点と，『』して回動させて，前記シリンダ２０を角形基板ａの端面接線方向に対して接近させたり離隔させたりすると，前記シリンダ２０のピストンロッド２０ａの先端に設けられたクリーニングヘッド２１の位置を角形基板ａの端面接線方向に対して調整することになるから，引用発明１の『前記シリンダ２０の各シリンダ部と処理槽１１の各側壁との間にそれぞれ介挿されて，前記ピン１３を支点としてシリンダ２０を回動させるための第２のエアシリンダ３０』が，本件発明１の『溶剤吐出手段を角型基板の端縁に対して遠近変位する位置調整手段』に相当する。 (ｵ)そうすると，本件発明１と引用発明１とは，『表面に薄膜が形成された角型基板を載置保持する基板保持手段と，その基板保持手段によって保持された前記角型基板の端縁の表裏両面の少なくともいずれか一方に溶剤を吐出して不要薄膜を溶解する溶剤吐出手段とを備えた基板端縁洗浄装置において，前記溶剤吐出手段に，前記角型基板の端縁に沿った複数の吐出口を備えさせるとともに，前記溶剤吐出手段を前記角型基板の端縁に沿って相対的に移動する移動手段と，前記溶剤吐出手段を角型基板の大きさに応じて，その端縁に沿って直線的に移動できる位置に変位できるように，溶剤吐出手段を角型基 ，前記溶剤吐出手段を前記角型基板の端縁に沿って相対的に移動する移動手段と，前記溶剤吐出手段を角型基板の大きさに応じて，その端縁に沿って直線的に移動できる位置に変位できるように，溶剤吐出手段を角型基板の端縁に対して遠近変位する位置調整手段とを備える基板端縁洗浄装置』である点で一致（１８頁４行～１９頁１４行）する。 」，，。 (2)原告は上記一致点の認定に誤りがあると主張するので以下検討するア甲１には，次の記載がある。 ｱ「２．特許請求の範囲( )(1)レジストが表面に塗付された基板を固定するための基台と該基台に保持された基板の，端面に接触可能な摺動部材と，この摺動部材を基板の端面接線方向に沿って移動させる駆動手段とを備えてなることを特徴とする不要レジスト除去装置（１頁左下欄４行～９行）。」(ｲ)「実施例］［- 23 -第１図には本発明に係る不要レジスト除去装置の一実施例の平面図が示されている。 同図において，１１は中央に基板ａよりも一回り小さな基台としての固定テーブル１２を有する処理槽で，処理槽１１の各側壁には，基板ａの端面の接線延長線上にシリンダ２０がそれぞれピン１３を支点として水平面内回転可能に取り付けられている。そして，上記各エアシリンダ２０のピストンロッド２０ａの先端には，第２図に拡大して示すようなＬ字形断面を有するパッド２１ａと，これを保持するベース２１ｂとからなるクリーニングヘッド２１が，基板の側面から底面にかけて接触可能な状態で装着されている。上記パッド２１ａは，例えばブチルゴムなどの高分子材からなるスポンジゴムのような弾力性のある材料により構成されている。 また，各パッド２１ａを保持するベース２１ｂの上面には複数のノズル２３ａを有するパイプ２３が配設されており，各ノズル２３ａはパッド２１ａの スポンジゴムのような弾力性のある材料により構成されている。 また，各パッド２１ａを保持するベース２１ｂの上面には複数のノズル２３ａを有するパイプ２３が配設されており，各ノズル２３ａはパッド２１ａの上面に，アセトンようなレジスト除去液を供給できるように先端が下向きに形成されている。なお，上記パイプ２３の先端は閉，，塞されているとともにパイプ２３の始端にはフレキシブルなチューブ２４が接続されており図示しないポンプからレジスト除去液が輸送されるようになっている。 さらに，上記各エアシリンダ２０のシリンダ部と処理槽１１の側壁との間には，上記ピン１３を支点としてエアシリンダ２０を回動させるための第２のエアシリンダ３０がそれぞれ介挿されている。 次に，上記不要レジスト除去装置の動作を説明する。 第３図に示すレジスト塗付装置により表面にフォトレジストが塗付されたガラス基板ａは，第１図に２点鎖線Ａ～Ｄで示すように，全エアシリンダ２０を外側に回転させた状態で不要レ，。 ジスト除去装置の固定テーブル１２上に載置され図示しない真空吸着手段により固定される次に，第２のエアシリンダ３０を作動させて４つのエアシリンダ２０を第１図に実線で示されるような位置まで回動させる。それから，パイプ２３に設けられたノズル２３ａよりレジスト除去液を滴下させながら，エアシリンダ２０に圧縮空気を送ってシリンダロッド２０ａを往復動させる。すると，パッド２２ａが基板ａの側面から底面にかけて接触したままこすられるように移動するため，基板ａの側面から底面にかけて付着した不要なレジストがパッド２２ａに- 24 -よってこすりとられて脱落し，基板の周縁が清浄化される。 レジスト除去後，第２のエアシリンダ３０が作動されてエアシリンダ２３が基板から遠ざかる方向へ回動され，２点鎖線Ａ～Ｄの位置まで待 - 24 -よってこすりとられて脱落し，基板の周縁が清浄化される。 レジスト除去後，第２のエアシリンダ３０が作動されてエアシリンダ２３が基板から遠ざかる方向へ回動され，２点鎖線Ａ～Ｄの位置まで待避する。 その後，真空吸着手段を解除して基板ａを開放し，図示しない搬送手段により固定テーブル１２上から基板を持ち上げ，処理槽１１から外部へ搬出してベーキング装置（図示省略）へ送ってレジストを焼成して，一連のフォトレジスト塗付工程が終了する。そして，続いて露光，現象，エツチング，フォトレジスト除去の各工程が行なわれる（２頁左下欄１９行～３頁右。」上欄２０行）(ｳ)以上説明したように上記実施例においてはレジストが表面に塗付された基板を固定「，するための基台としての固定テーブルと，該固定テーブルに保持された基板の端面に接触可能なクリーニングヘッドと，このクリーニングヘッドを基板の端面接線方向に沿って移動させるヘッド駆動手段としてのエアシリンダとにより不要レジスト除去装置を構成したので，回転式レジスト塗付装置により塗付された基板の周縁の不要レジストを確実に除去することができ，これによって露光工程での位置ずれをなくしてパターニングの際の精度を向上させ，またフォトレジスト塗付工程後の搬送工程や露光工程において不要レジストの剥離によって生じる残留。」（）物による歩留りの低下を防止することができるという効果がある３頁左下欄１行～１５行(ｴ)なお上記実施例では基板の周縁に接触して不要レジストを除去するヘッドを往復「，，移動させる駆動手段や基板に向かって接近・離反させる駆動手段としてエアシリンダを用いているが，駆動手段はこれに限定されるものでなく，油圧シリンダやモータ等を用いてもよいことはいうまでもない。 また，上記実施例ではレジスト 板に向かって接近・離反させる駆動手段としてエアシリンダを用いているが，駆動手段はこれに限定されるものでなく，油圧シリンダやモータ等を用いてもよいことはいうまでもない。 また，上記実施例ではレジスト除去液を供給するパイプ２３とノズル２３ａをクリーニングヘッド２１と一体に設けたが，パイプとノズルは予め基板の周縁上方に固定しておいたり，別の駆動機構によって接近・離反させるようにしてもよい。 さらに，上記実施例では角形のガラス基板に塗付された不要レジストの除去装置について説明したが，本発明は円形の半導体ウェーハ等の不要レジスト除去にも利用することができる。 その場合，ウェーハ端面に接触するパッドを円形とし，これを所定角度の範囲で往復回転させ- 25 -るように駆動機構を構成するとよい（３頁左下欄１６行～右下欄１３行）。」(ｵ)第１図には次のとおりの不要レジスト除去装置の一実施例を示す平面図が記載されて，いる。 イ上記ア(ｲ)の上記各エアシリンダ２０のシリンダ部と処理槽１１の側壁との「間には，上記ピン１３を支点としてエアシリンダ２０を回動させるための第２のエアシリンダ３０がそれぞれ介挿されているとの記載によれば甲１には審決が。」，，引用発明１の構成として認定したとおりの「前記シリンダ２０の各シリンダ部と処理槽１１の各側壁との間にそれぞれ介挿されて，前記ピン１３を支点としてシリンダ２０を回動させるための第２のエアシリンダ３０１３頁１５～１７行が記載」（）されていることが認められる。 また上記ア(ｲ)の第２のエアシリンダ３０を作動させて４つのエアシリンダ２，「- 26 -。」「，０を第１図に実線で示されるような位置まで回動させる及びレジスト除去後第２のエアシリンダ３０が作動されてエアシリンダ２３が基板から遠 させて４つのエアシリンダ２，「- 26 -。」「，０を第１図に実線で示されるような位置まで回動させる及びレジスト除去後第２のエアシリンダ３０が作動されてエアシリンダ２３が基板から遠ざかる方向へ，。」，回動され２点鎖線Ａ～Ｄの位置まで待避するとの記載並びに第１図によれば「第２のエアシリンダ３０の作動により，各エアシリンダ２０がピン１３を支点として回動し，エアシリンダ２０のピストンロッド２０ａの先端に装着されたクリーニングヘッド２１が，ガラス基板ａの端縁に接触した状態の位置（第１図の実線によって示されたヘッドの位置）とクリーニングヘッド２１がガラス基板ａの端縁から離隔した状態の位置（同図の２点鎖線によって示されたヘッドの位置）との間を往復運動すること」が認められる。 さらに上記ア(ｴ)の上記実施例では基板の周縁に接触して不要レジストを除，「，去するヘッドを往復移動させる駆動手段や基板に向かって接近・離反させる駆動手段としてエアシリンダを用いているが，駆動手段はこれに限定されるものでなく，」，油圧シリンダやモータ等を用いてもよいことはいうまでもないとの記載によれば第２のエアシリンダ３０（又はこれを代替する油圧シリンダやモータ等）は，クリーニングヘッドを基板に向かって接近・離反させる手段であり，クリーニングヘッド２１をガラス基板ａの端縁に対して遠近変位する手段と認めることができる。 さらにまた，甲１のクリーニングヘッド２１は，レジスト除去液を供給する複数のノズル２３ａを備えており，本件発明１の「溶剤吐出手段」に相当すること，ガラス基板ａは，本件発明１の「角型基板」に相当することが認められる。 したがって，引用発明１の「前記シリンダ２０の各シリンダ部と処理槽１１の各側壁との間にそれぞれ介挿されて，前記ピン１ 当すること，ガラス基板ａは，本件発明１の「角型基板」に相当することが認められる。 したがって，引用発明１の「前記シリンダ２０の各シリンダ部と処理槽１１の各側壁との間にそれぞれ介挿されて，前記ピン１３を支点としてシリンダ２０を回動させるための第２のエアシリンダ３０」は，本件発明１の「溶剤吐出手段を角型基板の端縁に対して遠近変位する「手段」に相当すると認定することができる。 」(3)ガラス基板ａと大きさの異なる角型基板に関する処置の甲１における開示について一方，甲１には，実施例としては，第１図に記載されたガラス基板ａの処理に用- 27 -，，，いる不要レジスト除去装置とその動作が説明されておりまた上記(2)ア(ｴ)には「上記実施例では角形のガラス基板に塗付された不要レジストの除去装置について説明したが，本発明は円形の半導体ウェーハ等の不要レジスト除去にも利用することができると記載されるもののガラス基板ａと大きさの異なる角型基板に関す。」，る処理については何ら開示も示唆もされていないすなわち甲１には角型基，。 ，，「板の大きさに応じて，溶剤吐出手段を角型基板の端縁に対して遠近変位すること」は，記載されてはいない。 そして，甲１の第１図を参照すると，処理槽１１の側壁，基台（固定テーブル）１２の辺及び角型のガラス基板ａの辺がほぼ平行に配置されているところ，エアシリンダ２０はピン１３を支点として水平面内回転可能に取り付けられている ，「」（頁右下欄５～７行）ものであって，ピン１３は処理槽１１の側壁に固着されているものであるから，エアシリンダロッド２０ａの往復動の方向（クリーニングヘッド２１の移動方向）が固定テーブル１２の辺と平行となるのは，エアシリンダ２０が処理槽１１の側壁に対してピン１３を介して直角と ものであるから，エアシリンダロッド２０ａの往復動の方向（クリーニングヘッド２１の移動方向）が固定テーブル１２の辺と平行となるのは，エアシリンダ２０が処理槽１１の側壁に対してピン１３を介して直角となる状態，すなわち，第１図に実線で示されるような位置のみであることが認められる。 したがって，甲１において，角型基板を，第１図に記載されるように，基板の各辺が固定テーブル１２の各辺に平行となるように載置することを前提とした場合，エアシリンダ２０を「前記溶剤吐出手段を角型基板の端縁に沿って相対的に移動する移動手段」として機能させるためには，エアシリンダ２０を第１図の実線の位置に移動させることが必要であり，このとき，角型基板の大きさは第１図に示されるガラス基板ａの大きさでなければならないことが認められる。 そして，甲１において，第１図に記載された角型基板やエアシリンダ２０の配置について，改変を行うことの開示や示唆が認められず，甲１に記載の装置は，第１図に記載のガラス基板ａと同一の大きさの角型基板を処理することのみを開示しているということができる。 (4)大きさの異なる角型基板についての審決の判断について- 28 -ア審決は，大きさの異なる角型基板について，次のように認定判断する。 引用発明１は第２のエアシリンダ３０がシリンダ２０の各シリンダ部と処理槽１１の各「，『側壁との間にそれぞれ介挿されており，第２のエアシリンダ３０の伸縮によりシリンダ２０をピン１３を支点として回動させて，前記シリンダ２０を角形基板ａの端面接線方向に対して接近させたり離隔させたりすることにより，前記シリンダ２０のピストンロッド２０ａの先端に設けられたクリーニングヘッド２１の位置を角形基板ａの端面接線方向に対して調整することができる』というものである。 そして，引用発明１ りすることにより，前記シリンダ２０のピストンロッド２０ａの先端に設けられたクリーニングヘッド２１の位置を角形基板ａの端面接線方向に対して調整することができる』というものである。 そして，引用発明１の前記構成によれば，固定テーブル１２に保持された角形基板ａが，甲１の第１図に図示されている角形基板ａよりも大きい場合には，第２のエアシリンダ３０が収縮してシリンダ２０とともにクリーニングヘッド２１を処理槽１１の側壁に接近するようにピン１３を支点として水平面内で揺動させ，かつ，大きい角形基板ａを処理槽１１の各側壁に対して，角形基板ａの端縁が各側壁と平行ではなく，偏向させた状態に固定テーブル１２に保持することにより，クリーニングヘッド２１を角形基板ａの端縁に沿って直線的に移動できる位置に変位可能である。また，固定テーブル１２に保持された角形基板ａが，第１図に図示されている角形基板ａよりも小さい場合には，第２のエアシリンダ３０が伸張してシリンダ２０とともにクリーニングヘッド２１を処理槽１１の各側壁から離隔するようにピン１３を支点として水平面内に揺動させ，かつ，小さい角形基板ａを処理槽１１の各側壁に対して，大きい場合とは反対向きに偏向させた状態に固定テーブル１２に保持することにより，クリーニングヘッド２１を角形基板ａの端縁に沿って直線的に移動できる位置に変位可能である。 したがって・・・楔状の隙間が生じて，クリーニングヘッド２１が角形基板ａの端縁に点，『接触する』という危惧は，引用発明１においては，処理槽１１の側壁に対してクリーニングヘッド２１の方向及び角形基板ａの固定テーブル１２上の保持方向を偏向させることにより，回避することができるようになっていることからみて，引用発明１においても，本件発明１と同様に，角形基板ａの大きさに応じて，クリーニングヘッド 板ａの固定テーブル１２上の保持方向を偏向させることにより，回避することができるようになっていることからみて，引用発明１においても，本件発明１と同様に，角形基板ａの大きさに応じて，クリーニングヘッド２１を角形基板ａの端縁に沿って直線的に移動できる位置に変位可能であるといえる（２４頁２６行～２５頁１７行）。」イ以上のとおり審決は処理槽１１の側壁に対してクリーニングヘッド２１，，「- 29 -の方向及び角形基板ａの固定テーブル１２上の保持方向を偏向させること」によっ，「，，，て引用発明１においても本件発明１と同様に角形基板ａの大きさに応じてクリーニングヘッド２１を角形基板ａの端縁に沿って直線的に移動できる位置に変位可能である」と判断する。そして，審決が，前記のとおり，本件発明１と引用発明の一致点を・・・前記溶剤吐出手段を角型基板の大きさに応じてその端縁に，「，沿って直線的に移動できる位置に変位できるように，溶剤吐出手段を角型基板の端縁に対して遠近変位する位置調整手段とを備える基板端縁洗浄装置」として認定したのは大きさの異なる角型基板について角形基板ａを処理槽１１の各側壁に対，，「して，角形基板ａの端縁が各側壁と平行ではなく，偏向させた状態に固定テーブル１２に保持すること（以下「偏向保持」という）が，甲１に実質的に記載されて」。 いることを前提とするものといえる。 ウところで，大きさの異なる角型基板の偏向保持は，甲１に明示的に記載されていないところ，それにもかかわらず，この保持形態が甲１に実質的に記載されていると認定することができるのは，これが，甲１の記載を総合してみることによって認められる場合又は当業者にとって周知技術又は技術常識といえる事項を補って認められる場合である。 しかしながら審決は引用 ると認定することができるのは，これが，甲１の記載を総合してみることによって認められる場合又は当業者にとって周知技術又は技術常識といえる事項を補って認められる場合である。 しかしながら審決は引用発明１の前記構成によればとし甲１の記載の内，，「」，容のみから，大きさの異なる角型基板の偏向保持とそれに対するクリーニングヘッドの変位が可能であると結論付けており，このような角型基板の保持形態が，当業者にとって周知技術又は技術常識といえる事項を補って認められるものであることは何ら示していない。そして，甲１の記載を総合してみても，大きさの異なる角型基板の偏向保持について記載されているとは認められない。 なお，審判手続ないし当審において証拠として提出された書証によっても，偏向保持が当該技術分野の周知技術又は技術常識であると認めることはできず，大きさの異なる角型基板の偏向保持が甲１に実質的に記載されているとの審決の認定を首肯することはできない。 - 30 -(5)洗浄工程との関係について次に，偏向保持につき，洗浄（不要レジスト除去）工程との関係において検討する。 ア基板端部の塗布膜除去装置に係る発明の公開特許公報である甲４には基「」，「板端部のレジスト除去について説明すると・・・基板２７の周縁部を２㎜ほど間隙，２３内に挿入し，第１，第２の管２１，２２より溶剤２８を供給し，基板２７端部のレジスト２６を溶解させ，第３の管２４より溶剤と溶解物とを排出させるようにする（３頁右上欄６～１３行）との記載があるように，基板端縁洗浄装置は，基。」板の端縁をミリ単位で洗浄処理する装置である。 このような緻密さの要求される基板端縁洗浄装置において，角型基板の偏向保持のためには，単純な前工程からの平行移動とは異なる，中心位置がずれないように 。」板の端縁をミリ単位で洗浄処理する装置である。 このような緻密さの要求される基板端縁洗浄装置において，角型基板の偏向保持のためには，単純な前工程からの平行移動とは異なる，中心位置がずれないようにしつつ斜めに基板を回動させる精密な位置決め手段が必要であり，また，大きさの異なる角型基板ごとに偏向すべき角度も異なるから，適切な角度を算出して回動を制御する手段も必要となる。しかし，甲１には，このような位置決め・制御の手段についての開示又は示唆の記載がない。 イまた，甲１に記載の装置において，大きさの異なる角型基板であっても，偏向保持を行えば基板の端縁に沿ってクリーニングヘッド２１を直線的に移動できるという解釈は，角型基板ａが正方形の場合にのみ成立する。 ，，，他方長辺と短辺を有する長方形の場合には基板の大きさに応じて保持位置を対向する２つのクリーニングヘッドを基板の端縁に沿って直線的に移動できる位置に調整した場合には，他の２つのヘッドは角型基板の端縁に点でしか接触できず，４つのクリーニングヘッドを同時に「基板の端縁に沿って直線的に移動できる位置に変位」できないことになる。 したがって，審決の指摘する偏向保持を前提とした場合は，処理対象は正方形の角型基板に限定されることとなるが，甲１には，対象とする角型基板が正方形のものに限定されるとの記載はない。 - 31 -ウさらに，甲１に記載の装置において，大きさの異なる角型基板の不要レジスト除去を行うためには，角型基板の辺の長さに応じたシリンダロッド２０ａの往復動の制御（クリーニングヘッド２１の移動距離の制御）及び角型基板の偏向角度に応じた第２のエアシリンダ３０の制御（エアシリンダ２０の回動角度の制御）が必，，「」「」，要であるが甲１にはエアシリンダ２０及び第２のエアシリン 離の制御）及び角型基板の偏向角度に応じた第２のエアシリンダ３０の制御（エアシリンダ２０の回動角度の制御）が必，，「」「」，要であるが甲１にはエアシリンダ２０及び第２のエアシリンダ３０をガラス基板ａと大きさの異なる角型基板に対してどのように動作させ，クリーニングヘッド２１をどのように駆動させるのかについての具体的な記載はない。 エ以上によれば，甲１には，角型基板を偏向保持するために必要となる装置の構成や各種の要件について開示も示唆もされておらず，甲１は，大きさの異なる角型基板を偏向保持することを想定していない，と認められる。 (6)位置調整手段の検討についてア上記(3)～(5)のとおり，甲１には，大きさの異なる角型基板を偏向保持することは記載されておらず，角型基板の各辺が固定テーブル１２の各辺に実質的に平行となるように載置することのみが記載されているといえる。 イそこで，甲１において，角型基板の各辺が固定テーブル１２の各辺に実質的に平行となるように載置する場合，審決が認定した本件発明１と引用発明１の一致点中で挙示する前記溶剤吐出手段を角型基板の大きさに応じてその端縁に沿っ，「，て直線的に移動できる位置に変位できるように，溶剤吐出手段を角型基板の端縁に対して遠近変位する位置調整手段」としては，エアシリンダ２０の作動方向（シリンダロッド２０ａの往復動方向）を角型基板の辺と平行に維持したまま，角型基板の大きさに応じて，エアシリンダ２０を角型基板の端縁に対して遠近変位する機構が必要であると認められるが，甲１には，エアシリンダ２０を水平面内回転可能とする機構のみが記載され，エアシリンダ２０の作動方向を角型基板の辺と平行に維持したまま，エアシリンダ２０を角型基板の端縁に対して遠近変位する機構については，何ら記載され ンダ２０を水平面内回転可能とする機構のみが記載され，エアシリンダ２０の作動方向を角型基板の辺と平行に維持したまま，エアシリンダ２０を角型基板の端縁に対して遠近変位する機構については，何ら記載されていない。 ウしたがって甲１は溶剤吐出手段を角型基板の大きさに応じてその端縁，，「，- 32 -に沿って直線的に移動できる位置に変位できるように，溶剤吐出手段を角型基板の端縁に対して遠近変位する」構成を開示していない。 (7)小括以上によれば，甲１には，審決が前提とする角型基板の偏向保持が記載されていることが認められず，また，角型基板の大きさに応じて，溶剤吐出手段を基板の端縁に沿って移動できるように調整する手段が開示されていることも認められない。 したがって，甲１には，本件発明１の特定事項である「前記溶剤吐出手段を角型基板の大きさに応じて，その端縁に沿って直線的に移動できる位置に変位できるように，溶剤吐出手段を角型基板の端縁に対して遠近変位する位置調整手段」が，実質的に記載されているということはできないから，審決が，上記位置調整手段を本件発明１と引用発明１との一致点，本件発明１を引用する本件発明２と引用発明１との一致点及び本件発明２を引用する本件発明３と引用発明１との一致点としてそれぞれ認定したことは，誤りといわざるを得ない。 結論 以上のとおりであるから，審決は，上記位置調整手段に係る相違点についての認定判断のないままに結論に至ったことになり，結論に至るに必要な認定判断を欠くものとして違法となる。取消理由１は理由があり，これが審決の結論に影響を及ぼすことは明らかである。 よって，その余の点について判断するまでもなく，原告の請求は理由があることになるから認容することとして，主文のとおり判決する。 知的財産高等裁判所第１部裁判 結論に影響を及ぼすことは明らかである。 よって，その余の点について判断するまでもなく，原告の請求は理由があることになるから認容することとして，主文のとおり判決する。 知的財産高等裁判所第１部裁判長裁判官塚原朋一- 33 -裁判官本多知成裁判官田中孝一
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