- 1 -平成２０年９月３０日判決言渡平成１９年行ケ第１０２７８号審決取消請求事件()平成２０年７月１５日口頭弁論終結判決原告芝浦メカトロニクス株式会社同訴訟代理人弁護士鈴木和夫同訴訟代理人弁理士土橋皓同樋口正樹被告日本エレクトロセンサリデバイス株式会社同訴訟代理人弁理士後藤政喜同藤井正弘同飯田雅昭同木島俊博同野末貴弘主文 原告の請求を棄却する。 訴訟費用は原告の負担とする。 事実及び理由 第１請求特許庁が無効２００６－８０２３９号事件について平成１９年６月１９日にした審決を取り消す。 第２事案の概要 当事者間に争いのない事実等(1)本多エレクトロン株式会社（以下「本多エレクトロン」という。）及び東芝セラミックス株式会社（以下「東芝セラミックス」という。）は，本多- 2 -エレクトロンの従業者であったＡ，Ｂ，Ｃ及び東芝セラミックスの従業者であるＤ，Ｅ，Ｆを発明者として（以下順に「Ａ」，「Ｂ」，「Ｃ」，「Ｄ」，「Ｅ」，「Ｆ」という。），同人らから発明の名称を「ウエーハ用検査装置」とする発明（請求項の数は３５である。以下これらを総称して「本件各発明」という。）についてそれぞれ特許を受ける権利を承継し，平成１４年２月１９日に上記６名を発明者として特許出願（特願２００２－４２３９８）をした。 (2)本件各発明については，平成１６年１２月１７日に，本多エレクトロン及び東芝セラミックスに対して特許（以下「本件特許」といい，本件特許に係る権利を「本件特許権」という。）がされ，その旨設定登録（特許第３６２９２４４号）された。 (3)本多エレクトロン（平成１７年１１月２日に株式会社ネットインデックスに商号変更）は，平成１８年５月 係る権利を「本件特許権」という。）がされ，その旨設定登録（特許第３６２９２４４号）された。 (3)本多エレクトロン（平成１７年１１月２日に株式会社ネットインデックスに商号変更）は，平成１８年５月１日，原告に対し本件特許権の持分を譲渡した。 (4)被告は，平成１８年１１月１７日，無効審判請求（無効２００６－８０２３９号事件）をし，特許庁は，平成１９年６月１９日，「特許第３６２９２４４号の請求項１～３５に係る発明についての特許を無効とする。」との審決をした。 (5)東芝セラミックスは，平成１９年８月８日，コバレントマテリアル株式会社に対し本件特許権の持分を譲渡した（甲６６）。 特許請求の範囲及び発明の詳細な説明の記載(1)本件特許に係る明細書（甲１。以下「本件明細書」という。）によれば，本件特許の請求項１ないし３５は，下記のとおりである。 【請求項１】周端縁に底部及び両側部を有して略Ｕ字状に切り欠かれたノッチがある円盤状のウエーハを検査するウエーハ用検査装置であって，該ウエーハを回転可能に支持する支持部と，該支持部に支持されて回転させら- 3 -れるウエーハの周端縁を連続的に撮像する周端縁撮像部と，上記ウエーハの周端縁を照明する周端縁照明部と，上記周端縁撮像部で撮像した撮像データを処理する制御部とを備えたウエーハ用検査装置において，上記周端縁撮像部を，上記ウエーハの周端縁の厚さ方向の異なる部位を撮像する複数の撮像カメラを配置して構成し，上記周端縁撮像部の撮像カメラを上記周端縁の厚さ方向に沿って略直線状に撮像するラインセンサで構成し，上記ノッチを撮像するノッチ撮像部を設け，上記ノッチを照明するノッチ照明部を設け，上記制御部に該ノッチ撮像部で撮像した撮像データを処理する機能を備え，上記ノッチ撮像部を，上記ノッチの厚さ方向の異なる 記ノッチを撮像するノッチ撮像部を設け，上記ノッチを照明するノッチ照明部を設け，上記制御部に該ノッチ撮像部で撮像した撮像データを処理する機能を備え，上記ノッチ撮像部を，上記ノッチの厚さ方向の異なる部位を撮像するエリアセンサで構成した複数の撮像カメラを配置して構成したことを特徴とするウエーハ用検査装置（以下，「本件発明１」という。）。 【請求項２】上記ウエーハの周端縁は，ウエーハの面に対して略直角な側面，該側面に対して傾斜して面取りされた上面及び下面を備えて構成され，上記周端縁撮像部において，上記側面，上面及び下面に対応し各面に対して撮像方向を略直角に対面させて夫々配置した側面用撮像カメラ，上面用撮像カメラ及び下面用撮像カメラを備え，該周端縁撮像部の各撮像カメラを，該各撮像カメラの撮像部位が上記ウエーハの周端縁の同じ位相位置を撮像し得るように配置したことを特徴とする請求項１記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明２」という。）。 【請求項３】上記周端縁照明部を，上記ウエーハの周端縁の厚さ方向に沿う所定の円弧に沿って照射面を形成し該円弧の中心に向けて収束するように照射光を放光する光ファイバの集合体を備えて構成するとともに，上記周端縁撮像部の各撮像カメラが該周端縁照明部からの照明光が反射した反射光の明視野範囲に位置するように配置したことを特徴とする請求項２記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明３」という。）。 - 4 -【請求項４】上記制御部を，撮像データ処理部と，ＣＲＴ等の表示部とを備えて構成し，上記撮像データ処理部を，上記周端縁撮像部の複数の撮像カメラで撮像したウエーハの周端縁をウエーハの角度位置の位相を合わせて上記表示部に同時表示する周端縁表示手段を設けて構成したことを特徴とする請求項１，２または３記載のウエーハ用検査装置（ 複数の撮像カメラで撮像したウエーハの周端縁をウエーハの角度位置の位相を合わせて上記表示部に同時表示する周端縁表示手段を設けて構成したことを特徴とする請求項１，２または３記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明４」という。）。 【請求項５】上記撮像データ処理部を，ウエーハの周端縁の画像データから基準にする基準輝度に対して所定以上の輝度差のあるエリアを欠陥部として認識する欠陥部認識手段と，該欠陥部認識手段が認識した欠陥部を上記表示部に座標表示する欠陥部座標表示手段とを備えて構成したことを特徴とする請求項４記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明５」という。）。 【請求項６】上記欠陥部座標表示手段を，ウエーハの周端縁の周方向に沿う角度座標を表示する角度座標表示機能と，ウエーハの周端縁の厚さ方向に沿う相対位置を表示する厚さ方向座標表示機能とを備えて構成したことを特徴とする請求項５記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明６」という。）。 【請求項７】上記撮像データ処理部を，上記欠陥部認識手段が認識した欠陥部の形状を認識する欠陥部形状認識手段と，該欠陥部形状認識手段が認識した形状を上記表示部に表示する欠陥部形状表示手段を備えて構成したことを特徴とする請求項５または６記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明７」という。）。 【請求項８】上記欠陥部形状認識手段を，予め定められたしきい値に基づいて点欠陥部，線欠陥部及び面欠陥部のいずれかに区分けして認識する機能を備えて構成したことを特徴とする請求項７記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明８」という。）。 - 5 -【請求項９】上記周端縁撮像部の各撮像カメラの撮像面毎に，点欠陥部，線欠陥部及び面欠陥部の分布を所定の角度単位で算出する欠陥分布算出手段を備えたことを特徴とする請求項８記載のウ う。）。 - 5 -【請求項９】上記周端縁撮像部の各撮像カメラの撮像面毎に，点欠陥部，線欠陥部及び面欠陥部の分布を所定の角度単位で算出する欠陥分布算出手段を備えたことを特徴とする請求項８記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明９」という。）。 【請求項１０】上記周端縁撮像部の各撮像カメラの撮像面毎に，点欠陥部，線欠陥部及び面欠陥部の程度を所定の角度単位でランク付けする欠陥ランク付け手段を備えたことを特徴とする請求項９記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明１０」という。）。 【請求項１１】上記撮像データ処理部を，上記欠陥部認識手段が認識した欠陥部の面積を算出する欠陥部面積算出手段と，該欠陥部面積算出手段が算出した面積を上記表示部に表示する欠陥部面積表示手段と，上記欠陥部認識手段が認識した欠陥部が外接する外接矩形の大きさを算出する欠陥部外接矩形大きさ算出手段と，該欠陥部外接矩形大きさ算出手段が算出した大きさを上記表示部に表示する欠陥部外接矩形大きさ表示手段とを備えて構成したことを特徴とする請求項５，６，７，８，９または１０記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明１１」という。）。 【請求項１２】上記撮像データ処理部を，上記欠陥部面積算出手段が算出した欠陥部の面積と，欠陥部外接矩形大きさ算出手段が算出した外接矩形の大きさとから欠陥部の密度を算出する欠陥部密度算出手段と，該欠陥部密度算出手段が算出した欠陥部の密度を上記表示部に表示する欠陥部密度表示手段とを備えて構成したことを特徴とする請求項１１記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明１２」という。）。 【請求項１３】上記撮像データ処理部を，上記欠陥部認識手段が認識した欠陥部の平均輝度を算出する欠陥部輝度算出手段と，該欠陥部輝度算出手段が算出した欠陥部の平均輝度を上記表示部に表示す 」という。）。 【請求項１３】上記撮像データ処理部を，上記欠陥部認識手段が認識した欠陥部の平均輝度を算出する欠陥部輝度算出手段と，該欠陥部輝度算出手段が算出した欠陥部の平均輝度を上記表示部に表示する欠陥部輝度表示手段とを備えて構成したことを特徴とする請求項５，６，７，８，９，１０，- 6 -１１または１２記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明１３」という。）。 【請求項１４】上記撮像データ処理部を，上記欠陥部認識手段が認識した欠陥部に基づいて，当該ウエーハの良否を判定する良否判定手段と，該良否判定手段が判定した当該ウエーハの良否を上記表示部に表示するウエーハ良否表示手段とを備えて構成したことを特徴とする請求項５，６，７，８，９，１０，１１，１２または１３記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明１４」という。）。 【請求項１５】上記ノッチがウエーハの面に対して略直角な側面，該側面に対して傾斜して面取りされた上面及び下面を備えて構成され，上記ノッチ撮像部の撮像カメラを，上記側面，上面及び下面に対応し各面に対して撮像方向を略直角に対面させて夫々配置したことを特徴とする請求項１，２，３，４，５，６，７，８，９，１０，１１，１２，１３または１４記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明１５」という。）。 【請求項１６】上記ノッチ撮像部において，上記ノッチの底部の側面に対応した底部側面撮像カメラ，該底部の上面に対応した底部上面撮像カメラ，該底部の下面に対応した底部下面撮像カメラ，上記ノッチの一方の側部の側面に対応した一方側部側面撮像カメラ，上記ノッチの他方の側部の側面に対応した他方側部側面撮像カメラを備えたことを特徴とする請求項１５記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明１６」という。）。 【請求項１７】上記ノッチ照明部を，上記ノッチに ッチの他方の側部の側面に対応した他方側部側面撮像カメラを備えたことを特徴とする請求項１５記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明１６」という。）。 【請求項１７】上記ノッチ照明部を，上記ノッチに向けて照射光を放光する発光ダイオードの集合体を備えて構成するとともに，上記ノッチ撮像部の各撮像カメラが該ノッチ照明部からの照明光が反射した反射光の明視野範囲に位置するように配置したことを特徴とする請求項１，２，３，４，５，６，７，８，９，１０，１１，１２，１３，１４，１５または１６記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明１７」という。）。 - 7 -【請求項１８】上記ノッチ照明部を，上記ノッチに向けて照射光を放光する発光ダイオードの集合体を備えて構成するとともに，上記ノッチ撮像部の各撮像カメラが該ノッチ照明部からの照明光が反射した反射光の明視野範囲に位置するように配置し，上記底部上面撮像カメラ及び底部下面撮像カメラに夫々設けられ該各撮像カメラの撮像面が中央に臨むドーム状の照射面を形成し上記ノッチに向けて照射光を放光するドーム照射体と，上記底部側面撮像カメラ，一方側部側面撮像カメラ及び他方側部側面撮像カメラの撮像面が臨むスリットを形成するように設けられた略平面状の照射面を一対有し上記ノッチに向けて照射光を放光する平面照射体とを備えて構成したことを特徴とする請求項１７記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明１８」という。）。 【請求項１９】上記制御部を，撮像データ処理部と，ＣＲＴ等の表示部とを備えて構成し，上記撮像データ処理部を，上記ノッチ撮像部の複数の撮像カメラで撮像したノッチの画像を上記表示部に同時表示するノッチ表示手段を設けて構成したことを特徴とする請求項１，２，３，４，５，６，７，８，９，１０，１１，１２，１３，１４，１５，１６， 複数の撮像カメラで撮像したノッチの画像を上記表示部に同時表示するノッチ表示手段を設けて構成したことを特徴とする請求項１，２，３，４，５，６，７，８，９，１０，１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７または１８記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明１９」という。）。 【請求項２０】上記撮像データ処理部を，上記表示部に表示される各撮像カメラに対応するノッチの画像の最適画像範囲を，基準位置を基準にして設定する画像範囲設定手段を備えて構成したことを特徴とする請求項１９記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明２０」という。）。 【請求項２１】上記基準位置を，各撮像カメラに対応してノッチの表面に行列状の点を付した基準ウエーハを撮像し，該撮像画面の行列状の点に基づいて決定することを特徴とする請求項２０記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明２１」という。）。 【請求項２２】上記撮像データ処理部を，ノッチの画像データから基準にす- 8 -る基準輝度に対して所定以上の輝度差のあるエリアを欠陥部として認識する欠陥部認識手段と，該欠陥部認識手段が認識した欠陥部を上記表示部に座標表示する欠陥部座標表示手段とを備えて構成したことを特徴とする請求項１９，２０または２１記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明２２」という。）。 【請求項２３】上記撮像データ処理部を，上記欠陥部認識手段が認識した欠陥部の形状を認識する欠陥部形状認識手段と，該欠陥部形状認識手段が認識した形状を上記表示部に表示する欠陥部形状表示手段を備えて構成したことを特徴とする請求項２２記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明２３」という。）。 【請求項２４】上記欠陥部形状認識手段を，予め定められたしきい値に基づいて点欠陥部，線欠陥部及び面欠陥部のいずれかに区分けして認識する機能を備え ーハ用検査装置（以下，「本件発明２３」という。）。 【請求項２４】上記欠陥部形状認識手段を，予め定められたしきい値に基づいて点欠陥部，線欠陥部及び面欠陥部のいずれかに区分けして認識する機能を備えて構成したことを特徴とする請求項２３記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明２４」という。）。 【請求項２５】上記撮像データ処理部を，上記欠陥部認識手段が認識した欠陥部の面積を算出する欠陥部面積算出手段と，該欠陥部面積算出手段が算出した面積を上記表示部に表示する欠陥部面積表示手段と，上記欠陥部認識手段が認識した欠陥部が外接する外接矩形の大きさを算出する欠陥部外接矩形大きさ算出手段と，該欠陥部外接矩形大きさ算出手段が算出した大きさを上記表示部に表示する欠陥部外接矩形大きさ表示手段とを備えて構成したことを特徴とする請求項２２，２３または２４記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明２５」という。）。 【請求項２６】上記撮像データ処理部を，上記欠陥部面積算出手段が算出した欠陥部の面積と上記欠陥部外接矩形大きさ算出手段が算出した外接矩形の大きさとから欠陥部密度を算出する欠陥部密度算出手段と，該欠陥部密度算出手段が算出した欠陥部の密度を上記表示部に表示する欠陥部密度表- 9 -示手段とを備えて構成したことを特徴とする請求項２５記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明２６」という。）。 【請求項２７】上記撮像データ処理部を，上記欠陥部認識手段が認識した欠陥部の平均輝度を算出する欠陥部輝度算出手段と，該欠陥部輝度算出手段が算出した欠陥部の平均輝度を上記表示部に表示する欠陥部輝度表示手段とを備えて構成したことを特徴とする請求項２２，２３，２４，２５または２６記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明２７」という。）。 【請求項２８】上記撮像データ処理部を 表示する欠陥部輝度表示手段とを備えて構成したことを特徴とする請求項２２，２３，２４，２５または２６記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明２７」という。）。 【請求項２８】上記撮像データ処理部を，上記欠陥部認識手段が認識した欠陥部に基づいて，当該ウエーハの良否を判定するウエーハ良否判定手段と，該ウエーハ良否判定手段が判定した当該ウエーハの良否を上記表示部に表示するウエーハ良否表示手段とを備えて構成したことを特徴とする請求項２２，２３，２４，２５，２６または２７記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明２８」という。）。 【請求項２９】上記支持部を，中心軸を回転中心として回転可能に設けられ該中心軸を中心とする円周上に上記ウエーハの周端縁を支承する複数の支承フィンガを備えた支承盤と，該支承盤を回転させる駆動部とを備えて構成したことを特徴とする請求項１，２，３，４，５，６，７，８，９，１０，１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７，１８，１９，２０，２１，２２，２３，２４，２５，２６，２７または２８記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明２９」という。）。 【請求項３０】上記支承フィンガを，上記中心軸側に向けて下に傾斜する上記ウエーハの周端縁を支承する支承面を備えて構成したことを特徴とする請求項２９記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明３０」という。）。 【請求項３１】上記支持部を，上記支承盤の支承フィンガに支承されたウエーハの支承位置を可変にする支承位置可変機構を備えて構成したことを特- 10 -徴とする請求項２９または３０記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明３１」という。）。 【請求項３２】上記支承位置可変機構を，上記支承盤と同軸の中心軸を中心に相対回転可能に設けられ該中心軸を中心とする円周上に上記ウエーハの周端縁を担 ハ用検査装置（以下，「本件発明３１」という。）。 【請求項３２】上記支承位置可変機構を，上記支承盤と同軸の中心軸を中心に相対回転可能に設けられ該中心軸を中心とする円周上に上記ウエーハの周端縁を担持可能な複数の担持フィンガを備えるとともに該担持フィンガを上記支承盤の支承フィンガより上位の位置であって該ウエーハを担持して持ち上げる担持位置及び該支承フィンガより下位の位置であって該ウエーハを上記支承フィンガに受け渡す受渡位置の２位置に移動可能な担持盤と，該担持盤を上記担持位置及び受渡位置の２位置に移動させる移動機構とを備えて構成したことを特徴とする請求項３１記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明３２」という。）。 【請求項３３】ウエーハの貯留部から検査対象のウエーハを搬送して上記支持部の支承盤の支承フィンガに該ウエーハを芯出しして支承させるウエーハ搬送部を備えたことを特徴とする請求項２９，３０，３１または３２記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明３３」という。）。 【請求項３４】上記ウエーハ搬送部を，該ウエーハの周端縁に係合する係合部を備えるとともに該係合部を係合させて該ウエーハを該ウエーハの面方向に挾持して把持する把持位置及び該把持を解除する把持解除位置の２位置に相対移動可能な一対の把持ハンドを備えて構成し，上記係合部に上記把持位置で該ウエーハに弾接する弾接体を設けたことを特徴とする請求項３３記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明３４」という。）。 【請求項３５】上記支持部に支持されて回転させられるウエーハの直径を計測する直径計測部を設けたことを特徴とする請求項１，２，３，４，５，６，７，８，９，１０，１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７，１８，１９，２０，２１，２２，２３，２４，２５，２６，２７，２８，２９，３０，３１ 設けたことを特徴とする請求項１，２，３，４，５，６，７，８，９，１０，１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７，１８，１９，２０，２１，２２，２３，２４，２５，２６，２７，２８，２９，３０，３１，３２，３３または３４記載のウエーハ用検査装置（以- 11 -下，「本件発明３５」という。）。 (2)本件明細書の「発明の詳細な説明」には，以下のとおりの記載がある。 【０００１】【発明の属する技術分野】本発明は，円盤状のウエーハの周端縁を撮像し，この撮像データに基づいてウエーハの検査を非破壊で行なうことができるようにしたウエーハ用検査装置に関する。 【０００２】【従来の技術】従来，この種のウエーハ用検査装置としては，例えば，特開平８－１３６４６２号公報に掲載されたものが知られている。 このウエーハ用検査装置は，図３４に示すように，円盤状のウエーハＷを回転可能に支持する支持部１と，支持部１に支持されて回転させられるウエーハＷの周端縁Ｓを連続的に撮像する撮像カメラ２と，撮像カメラ２で撮像した撮像画像を表示するＣＲＴ等のモニタ（図示せず）とを備えて構成されている。 撮像カメラ２は，ウエーハＷに対して前後左右に移動可能に設けられているとともにウエーハＷの厚さ方向に回動可能に設けられており，これらの移動により撮像カメラの作動距離が調整される。 そして，ウエーハＷを回転させ撮像カメラ２を前後左右あるいは厚さ方向に回動させてウエーハＷの周端縁Ｓをモニタに表示し，ウエーハＷの周端縁Ｓにある欠陥の有無を観察するようにしている。 【０００３】【発明が解決しようとする課題】ところで，上述した従来のウエーハ用検査装置にあっては，ウエーハＷの周端縁Ｓの内，撮像カメラ２の撮像方向に直角に対面する部位の画像は明瞭であるが，撮像カメラ２の撮像方向に斜めになってしまう部位の 】ところで，上述した従来のウエーハ用検査装置にあっては，ウエーハＷの周端縁Ｓの内，撮像カメラ２の撮像方向に直角に対面する部位の画像は明瞭であるが，撮像カメラ２の撮像方向に斜めになってしまう部位の画像は不鮮明になり易く，そのため，欠陥の抽出精度に劣っているという問題があった。 その理由は，例えば，図３４に示すように，ウエーハＷの周端縁Ｓが側面ＳＳ及び側面ＳＳに対して傾斜して面取りされた上面ＳＡ，下面ＳＢを有- 12 -している場合には，撮像カメラ２をウエーハＷの厚さ方向に回動させてその撮像方向を，例えば，側面ＳＳに直角に対面させて合わせると，上面ＳＡ及び下面ＳＢが撮像カメラ２の撮像方向に斜めになって撮像されることになるので，画像が不鮮明になって撮像精度が悪くなるからである。 【０００４】また，ウエーハＷの側面ＳＳ，上面ＳＡ及び下面ＳＢを夫々明瞭に撮像しようとすると，各面に合わせてその都度撮像カメラ２の位置を移動させて各面に撮像カメラ２の撮像方向を直角に対面させる調整を行なわなければならないので，操作が煩雑になるという問題もあった。 更に，モニタでは，側面ＳＳ，上面ＳＡ及び下面ＳＢを明瞭にして同時に見ることができないという問題もあった。 【０００５】本発明は上記の問題点に鑑みてなされたもので，ウエーハの周端縁が面取りされていても，撮像カメラの位置を逐一移動させることなく，厚さ方向全部を明瞭にしかも同時に見ることができるようにして，操作性を向上させるとともに，撮像精度を向上させ，欠陥の抽出精度の向上を図ったウエーハ用検査装置を提供することを目的とする。 【０００６】【課題を解決するための手段】このような目的を達成するため，本発明のウエーハ用検査装置は，円盤状のウエーハを回転可能に支持する支持部と，該支持部に支持されて回転させられるウエーハの る。 【０００６】【課題を解決するための手段】このような目的を達成するため，本発明のウエーハ用検査装置は，円盤状のウエーハを回転可能に支持する支持部と，該支持部に支持されて回転させられるウエーハの周端縁を連続的に撮像する周端縁撮像部と，該周端縁撮像部で撮像した撮像データを処理する制御部とを備えたウエーハ用検査装置において，上記周端縁撮像部を，上記ウエーハの周端縁の厚さ方向の異なる部位を撮像する複数の撮像カメラを配置して構成している。 これにより，ウエーハの検査を行なうときは，ウエーハを支持部に支持して回転させ，この状態で，周端縁撮像部で周端縁の画像を取込む。この場合，周端縁撮像部は，ウエーハの周端縁の厚さ方向の異なる部位を撮像する複数の撮像カメラを備えているので，ウエーハの周端縁が面取りされて- 13 -いても，撮像カメラの位置を逐一移動させることなく，厚さ方向全部を明瞭にしかも同時に撮像でき，操作性が向上させられるとともに，撮像精度が向上させられる。取り込まれた撮像データは制御部に送出されて処理される。 【０００７】そして，必要に応じ，上記撮像カメラを上記周端縁の厚さ方向に沿って略直線状に撮像するラインセンサで構成している。周端縁を狭い幅で撮像してこれを連続させるので，解像度が良く，撮像精度が向上させられる。 また，必要に応じ，上記ウエーハの周端縁がウエーハの面に対して略直角な側面，該側面に対して傾斜して面取りされた上面及び下面を備えて構成された場合，上記側面，上面及び下面に対応し各面に対して撮像方向を略直角に対面させて夫々配置した側面用撮像カメラ，上面用撮像カメラ及び下面用撮像カメラを備えた構成としている。ウエーハの周端縁の各面を明瞭にしかも同時に撮像でき，操作性が向上させられるとともに，撮像精度が向上させられる。 【０００ 用撮像カメラ，上面用撮像カメラ及び下面用撮像カメラを備えた構成としている。ウエーハの周端縁の各面を明瞭にしかも同時に撮像でき，操作性が向上させられるとともに，撮像精度が向上させられる。 【０００８】更に，必要に応じ，上記各撮像カメラを，該各撮像カメラの撮像部位が上記ウエーハの周端縁の同じ位相位置を撮像し得るように配置した構成としている。撮像カメラを集約できるので，装置がコンパクトになる。 この場合，必要に応じ，上記ウエーハの周端縁を照明する周端縁照明部を設け，該周端縁照明部を，上記ウエーハの周端縁の厚さ方向に沿う所定の円弧に沿って照射面を形成し該円弧の中心に向けて収束するように照射光を放光する光ファイバの集合体を備えて構成するとともに，上記各撮像カメラが該周端縁照明部からの照明光が反射した反射光の明視野範囲に位置するように配置した構成としている。 これにより，周端縁を照明する周端縁照明部は，ウエーハの周端縁の厚さ- 14 -方向に沿う所定の円弧に沿って照射面を形成し円弧の中心に向けて収束するように照射光を放光し，各撮像カメラは，周端縁照明部からの照明光が反射した反射光の明視野範囲に位置するように配置され，即ち，各撮像カメラは，Ｃ型の周端縁照明部からの照明を正反射で受けるよう配置されているので，周端縁の各面を明瞭に撮像でき，特に，欠陥を良く撮像でき，この点でも撮像精度が向上させられる。 【０００９】また，必要に応じ，上記制御部を，撮像データ処理部と，ＣＲＴ等の表示部とを備えて構成し，上記撮像データ処理部を，上記周端縁撮像部の複数の撮像カメラで撮像したウエーハの周端縁をウエーハの角度位置の位相を合わせて上記表示部に同時表示する周端縁表示手段を設けて構成している。 これにより，周端面の面の状況，特に欠陥部の状況が視認できる。この場合， で撮像したウエーハの周端縁をウエーハの角度位置の位相を合わせて上記表示部に同時表示する周端縁表示手段を設けて構成している。 これにより，周端面の面の状況，特に欠陥部の状況が視認できる。この場合，複数の撮像カメラでウエーハの周端縁の厚さ方向の異なる部位を撮像しているので，ウエーハの周端縁が面取りされていても各面を明瞭にしかも各面同時に視認することができ，それだけ，検査精度が向上させられる。 更に，必要に応じ，上記撮像データ処理部を，上記周端縁表示手段によって表示されたウエーハの周端縁の画像をウエーハの周端縁の周方向に沿ってスクロールするスクロール手段を設けて構成している。画像をスクロールすることで，全周に亘って良く視認することができ，それだけ，検査精度が向上させられる。 【００１０】更にまた，必要に応じ，上記撮像データ処理部を，ウエーハの周端縁の画像データから基準にする基準輝度に対して所定以上の輝度差のあるエリアを欠陥部として認識する欠陥部認識手段と，該欠陥部認識手段が認識した欠陥部を上記表示部に座標表示する欠陥部座標表示手段とを備えて構成している。欠陥部の位置を特定できるので，それだけ，検査精度- 15 -が向上させられる。 この場合，必要に応じ，上記欠陥部座標表示手段を，ウエーハの周端縁の周方向に沿う角度座標を表示する角度座標表示機能と，ウエーハの周端縁の厚さ方向に沿う相対位置を表示する厚さ方向座標表示機能とを備えて構成している。表示が確実になる。 【００１１】また，必要に応じ，上記撮像データ処理部を，上記欠陥部認識手段が認識した欠陥部の形状を認識する欠陥部形状認識手段と，該欠陥部形状認識手段が認識した形状を上記表示部に表示する欠陥部形状表示手段を備えて構成している。欠陥の形状が分かるので，それだけ，検査精度が向上させられる。 の形状を認識する欠陥部形状認識手段と，該欠陥部形状認識手段が認識した形状を上記表示部に表示する欠陥部形状表示手段を備えて構成している。欠陥の形状が分かるので，それだけ，検査精度が向上させられる。 この場合，上記欠陥部形状認識手段を，予め定められたしきい値に基づいて点欠陥部，線欠陥部及び面欠陥部のいずれかに区分けして認識する機能を備えて構成したことが有効である。欠陥の種類が分類されるので，認識が容易になる。 また，この場合，必要に応じ，上記各撮像カメラの撮像面毎に，点欠陥部，線欠陥部及び面欠陥部の分布を所定の角度単位で算出する欠陥分布算出手段を備えた構成としている。周端縁の欠陥の分布状態が分かるので，欠陥の発生原因究明等に利用でき，それだけ，検査精度が向上させられる。 更に，この場合，必要に応じ，上記各撮像カメラの撮像面毎に，点欠陥部，線欠陥部及び面欠陥部の程度を所定の角度単位でランク付けする欠陥ランク付け手段を備えた構成としている。周端縁の欠陥の程度が分かるので，欠陥の発生原因究明等に利用でき，それだけ，検査精度が向上させられる。 【００１２】更にまた，必要に応じ，上記撮像データ処理部を，上記欠陥部認識手段が認識した欠陥部の面積を算出する欠陥部面積算出手段と，該欠- 16 -陥部面積算出手段が算出した面積を上記表示部に表示する欠陥部面積表示手段と，上記欠陥部認識手段が認識した欠陥部が外接する外接矩形の大きさを算出する欠陥部外接矩形大きさ算出手段と，該欠陥部外接矩形大きさ算出手段が算出した大きさを上記表示部に表示する欠陥部外接矩形大きさ表示手段とを備えて構成している。欠陥の大きさを認識でき，それだけ，検査精度が向上させられる。 また，必要に応じ，上記撮像データ処理部を，上記欠陥部面積算出手段が算出した欠陥部の面積と，欠陥部外接矩形 示手段とを備えて構成している。欠陥の大きさを認識でき，それだけ，検査精度が向上させられる。 また，必要に応じ，上記撮像データ処理部を，上記欠陥部面積算出手段が算出した欠陥部の面積と，欠陥部外接矩形大きさ算出手段が算出した外接矩形の大きさとから欠陥部の密度を算出する欠陥部密度算出手段と，該欠陥部密度算出手段が算出した欠陥部の密度を上記表示部に表示する欠陥部密度表示手段とを備えて構成している。欠陥の広がりを認識でき，それだけ，検査精度が向上させられる。 【００１３】更に，必要に応じ，上記撮像データ処理部を，上記欠陥部認識手段が認識した欠陥部の平均輝度を算出する欠陥部輝度算出手段と，該欠陥部輝度算出手段が算出した欠陥部の平均輝度を上記表示部に表示する欠陥部輝度表示手段とを備えて構成している。欠陥部の輝度は欠陥の深さに対応することから，欠陥の奥行きを認識でき，それだけ，検査精度が向上させられる。 更にまた，上記撮像データ処理部を，上記欠陥部認識手段が認識した欠陥部に基づいて，当該ウエーハの良否を判定する良否判定手段と，該良否判定手段が判定した当該ウエーハの良否を上記表示部に表示するウエーハ良否表示手段とを備えて構成している。ウエーハの良否を自動的に判定できるので，検査が容易になる。 【００１４】そして，本発明において対象とするウエーハは，その周端縁に底部及び両側部を有して略Ｕ字状に切り欠かれたノッチがあるウエーハであり，本発明は，該ノッチを撮像するノッチ撮像部を設け，上記制御部に- 17 -該ノッチ撮像部で撮像した撮像データを処理する機能を備えて構成し，上記ノッチ撮像部を，上記ノッチの厚さ方向の異なる部位を撮像する複数の撮像カメラを配置した構成としている。 これにより，ウエーハを支持部に支持して，ノッチ撮像部でノッチの画像を取込む。ノッチ 成し，上記ノッチ撮像部を，上記ノッチの厚さ方向の異なる部位を撮像する複数の撮像カメラを配置した構成としている。 これにより，ウエーハを支持部に支持して，ノッチ撮像部でノッチの画像を取込む。ノッチ撮像部は，ノッチの厚さ方向の異なる部位を撮像する複数の撮像カメラを備えているので，ノッチが面取りされていても，撮像カメラの位置を逐一移動させることなく，厚さ方向全部を明瞭にしかも同時に撮像でき，操作性が向上させられるとともに，撮像精度が向上させられる。取り込まれた撮像データは制御部に送出されて処理される。 【００１５】そして，必要に応じ，上記撮像カメラを面状に撮像するエリアセンサで構成している。ウエーハを回転させることなく，一時に撮像できる。 そしてまた，必要に応じ，上記ノッチがウエーハの面に対して略直角な側面，該側面に対して傾斜して面取りされた上面及び下面を備えて構成された場合，上記撮像カメラを，上記側面，上面及び下面に対応し各面に対して撮像方向を略直角に対面させて夫々配置した構成としている。ノッチの各面を明瞭にしかも同時に撮像でき，操作性が向上させられるとともに，撮像精度が向上させられる。 この場合，必要に応じ，上記ノッチの底部の側面に対応した底部側面撮像カメラ，該底部の上面に対応した底部上面撮像カメラ，該底部の下面に対応した底部下面撮像カメラ，上記ノッチの一方の側部の側面に対応した一方側部側面撮像カメラ，上記ノッチの他方の側部の側面に対応した他方側部側面撮像カメラを備えた構成としている。ノッチの各面を明瞭にしかも同時に撮像でき，操作性が向上させられるとともに，撮像精度が向上させられる。 【００１６】また，必要に応じ，上記ノッチを照明するノッチ照明部を設- 18 -け，該ノッチ照明部を，上記ノッチに向けて照射光を放光する発光ダイオード られるとともに，撮像精度が向上させられる。 【００１６】また，必要に応じ，上記ノッチを照明するノッチ照明部を設- 18 -け，該ノッチ照明部を，上記ノッチに向けて照射光を放光する発光ダイオードの集合体を備えて構成するとともに，上記各撮像カメラが該ノッチ照明部からの照明光が反射した反射光の明視野範囲に位置するように配置した構成としている。ノッチ照明部からの照明光が反射した反射光の明視野範囲に位置するように配置されているので，ノッチの各面を明瞭に撮像でき，特に，欠陥を良く撮像でき，この点でも撮像精度が向上させられる。 更に，必要に応じ，上記ノッチを照明するノッチ照明部を設け，該ノッチ照明部を，上記ノッチに向けて照射光を放光する発光ダイオードの集合体を備えて構成するとともに，上記各撮像カメラが該ノッチ照明部からの照明光が反射した反射光の明視野範囲に位置するように配置し，上記底部上面撮像カメラ及び底部下面撮像カメラに夫々設けられ該各撮像カメラの撮像面が中央に臨むドーム状の照射面を形成し上記ノッチに向けて照射光を放光するドーム照射体と，上記底部側面撮像カメラ，一方側部側面撮像カメラ及び他方側部側面撮像カメラの撮像面が臨むスリットを形成するように設けられた略平面状の照射面を一対有し上記ノッチに向けて照射光を放光する平面照射体とを備えて構成している。これにより，ノッチを照明するノッチ照明部が，ドーム照射体及び平面照射体を備え，ノッチを良く照明するとともに，各撮像カメラは，ノッチ照明部からの照明光が反射した反射光の明視野範囲に位置するように配置されているので，ノッチの各面を明瞭に撮像でき，特に，欠陥を良く撮像でき，この点でも撮像精度が向上させられる。 【００１７】そして，必要に応じ，上記制御部を，撮像データ処理部と，ＣＲＴ等の表示部とを備えて構 ので，ノッチの各面を明瞭に撮像でき，特に，欠陥を良く撮像でき，この点でも撮像精度が向上させられる。 【００１７】そして，必要に応じ，上記制御部を，撮像データ処理部と，ＣＲＴ等の表示部とを備えて構成し，上記撮像データ処理部を，上記ノッチ撮像部の複数の撮像カメラで撮像したノッチの画像を上記表示部に同時表示するノッチ表示手段を設けて構成している。 これにより，ノッチの面の状況，特に欠陥部の状況が視認できる。この場- 19 -合，複数の撮像カメラでノッチの厚さ方向の異なる部位を撮像しているので，ノッチが面取りされていても各面を明瞭にしかも各面同時に視認することができ，それだけ，検査精度が向上させられる。 【００１８】また，必要に応じ，上記撮像データ処理部を，上記表示部に表示される各撮像カメラに対応するノッチの画像の最適画像範囲を，基準位置を基準にして設定する画像範囲設定手段を備えて構成している。これにより，画像データのデータ処理が，この範囲設定された画像に基づいて行なわれる。そのため，より精度の良い欠陥認識を行なうことができるようになる。 この場合，必要に応じ，上記基準位置を，各撮像カメラに対応してノッチの表面に行列状の点を付した基準ウエーハを撮像し，該撮像画面の行列状の点に基づいて決定する構成としている。これにより，ノッチ撮像部で基準ウエーハのノッチの画像を取込む。そして，ノッチ画像の焦点の合っている（ピントの合っている）箇所を，基準ウエーハに付した行列状の点を目視により見て，この点の位置に合わせて，最適範囲設定を行なう。そのため，行列状の点で細かく範囲合わせを行なうことができ，範囲設定が確実に行なわれる。 【００１９】また，必要に応じ，上記撮像データ処理部を，ノッチの画像データから基準にする基準輝度に対して所定以上の輝度差のあるエリア 細かく範囲合わせを行なうことができ，範囲設定が確実に行なわれる。 【００１９】また，必要に応じ，上記撮像データ処理部を，ノッチの画像データから基準にする基準輝度に対して所定以上の輝度差のあるエリアを欠陥部として認識する欠陥部認識手段と，該欠陥部認識手段が認識した欠陥部を上記表示部に座標表示する欠陥部座標表示手段とを備えて構成している。欠陥部の位置を特定できるので，それだけ，検査精度が向上させられる。 このノッチの画像処理においても，上記周端部と同様に上記撮像データ処理部を構成することが望ましい。 【００２０】即ち，必要に応じ，上記撮像データ処理部を，上記欠陥部認識- 20 -手段が認識した欠陥部の形状を認識する欠陥部形状認識手段と，該欠陥部形状認識手段が認識した形状を上記表示部に表示する欠陥部形状表示手段を備えて構成している。欠陥の形状が分かるので，それだけ，検査精度が向上させられる。 この場合，上記欠陥部形状認識手段を，予め定められたしきい値に基づいて点欠陥部，線欠陥部及び面欠陥部のいずれかに区分けして認識する機能を備えて構成したことが有効である。欠陥の種類が分類されるので，認識が容易になる。 【００２１】更にまた，必要に応じ，上記撮像データ処理部を，上記欠陥部認識手段が認識した欠陥部の面積を算出する欠陥部面積算出手段と，該欠陥部面積算出手段が算出した面積を上記表示部に表示する欠陥部面積表示手段と，上記欠陥部認識手段が認識した欠陥部が外接する外接矩形の大きさを算出する欠陥部外接矩形大きさ算出手段と，該欠陥部外接矩形大きさ算出手段が算出した大きさを上記表示部に表示する欠陥部外接矩形大きさ表示手段とを備えて構成している。欠陥の大きさを認識でき，それだけ，検査精度が向上させられる。 また，必要に応じ，上記撮像データ処理部を，上記欠陥部 た大きさを上記表示部に表示する欠陥部外接矩形大きさ表示手段とを備えて構成している。欠陥の大きさを認識でき，それだけ，検査精度が向上させられる。 また，必要に応じ，上記撮像データ処理部を，上記欠陥部面積算出手段が算出した欠陥部の面積と，欠陥部外接矩形大きさ算出手段が算出した外接矩形の大きさとから欠陥部の密度を算出する欠陥部密度算出手段と，該欠陥部密度算出手段が算出した欠陥部の密度を上記表示部に表示する欠陥部密度表示手段とを備えて構成している。欠陥の広がりを認識でき，それだけ，検査精度が向上させられる。 【００２２】更に，必要に応じ，上記撮像データ処理部を，上記欠陥部認識手段が認識した欠陥部の平均輝度を算出する欠陥部輝度算出手段と，該欠陥部輝度算出手段が算出した欠陥部の平均輝度を上記表示部に表示する欠陥部輝度表示手段とを備えて構成している。欠陥部の輝度は欠陥の深さに- 21 -対応することから，欠陥の奥行きを認識でき，それだけ，検査精度が向上させられる。 更にまた，上記撮像データ処理部を，上記欠陥部認識手段が認識した欠陥部に基づいて，当該ウエーハの良否を判定する良否判定手段と，該良否判定手段が判定した当該ウエーハの良否を上記表示部に表示するウエーハ良否表示手段とを備えて構成している。ウエーハの良否を自動的に判定できるので，検査が容易になる。 【００２３】そして，必要に応じ，上記支持部を，中心軸を回転中心として回転可能に設けられ該中心軸を中心とする円周上に上記ウエーハの周端縁を支承する複数の支承フィンガを備えた支承盤と，該支承盤を回転させる駆動部とを備えて構成している。ウエーハが支承フィンガに支承されるので，ウエーハの面を傷つける等悪影響を及ぼす事態が防止される。 この場合，必要に応じ，上記支承フィンガを，上記中心軸側に向けて下に傾斜す 部とを備えて構成している。ウエーハが支承フィンガに支承されるので，ウエーハの面を傷つける等悪影響を及ぼす事態が防止される。 この場合，必要に応じ，上記支承フィンガを，上記中心軸側に向けて下に傾斜する上記ウエーハの周端縁を支承する支承面を備えて構成したことが有効である。ウエーハの周端縁を支承面で線支持するようになるので，より一層ウエーハの面を傷つける等悪影響を及ぼす事態が防止される。 【００２４】また，必要に応じ，上記支持部を，上記支承盤の支承フィンガに支承されたウエーハの支承位置を可変にする支承位置可変機構を備えて構成している。支承位置を変えるので，支承フィンガのある撮像できないウエーハの部位を露出させて撮像できるようにすることができる。 この場合，必要に応じ，上記支承位置可変機構を，上記支承盤と同軸の中心軸を中心に相対回転可能に設けられ該中心軸を中心とする円周上に上記ウエーハの周端縁を担持可能な複数の担持フィンガを備えるとともに該担持フィンガを上記支承盤の支承フィンガより上位の位置であって該ウエーハを担持して持ち上げる担持位置及び該支承フィンガより下位の位置であって該ウエーハを上記支承フィンガに受け渡す受渡位置の２位置に移動可- 22 -能な担持盤と，該担持盤を上記担持位置及び受渡位置の２位置に移動させる移動機構とを備えて構成している。 これにより，ウエーハの支承位置を変える際は，受渡位置にある担持盤を担持位置に移動させ，支承盤に支承されていたウエーハを担持盤の担持フィンガに担持して持ち上げ，この持ち上げられている間に，支承盤を回転させて支承盤の支承フィンガが別の角度位相位置に位置させる。それから，担持盤を受渡位置に位置させてウエーハを支承フィンガに受け渡す。 この場合，支承位置を変えるので，先に撮像できなかった部位を露出させて撮像 承盤の支承フィンガが別の角度位相位置に位置させる。それから，担持盤を受渡位置に位置させてウエーハを支承フィンガに受け渡す。 この場合，支承位置を変えるので，先に撮像できなかった部位を露出させて撮像できるようにすることができる。また，ウエーハを担持盤の担持フィンガに担持させて持ち上げるので，ウエーハに傷をつける等の悪影響を及ぼす事態が防止される。 【００２５】更に，必要に応じ，ウエーハの貯留部から検査対象のウエーハを搬送して上記支持部の支承盤の支承フィンガに該ウエーハを芯出しして支承させるウエーハ搬送部を備えた構成としている。これにより，支承盤の支承フィンガに対してウエーハが芯出しされて支承されるので，支承盤に対するウエーハの位置決め精度が高くなり，その後の検査精度が向上させられる。 この場合，必要に応じ，上記ウエーハ搬送部を，該ウエーハの周端縁に係合する係合部を備えるとともに該係合部を係合させて該ウエーハを該ウエーハの面方向に挾持して把持する把持位置及び該把持を解除する把持解除位置の２位置に相対移動可能な一対の把持ハンドを備えて構成し，上記係合部に上記把持位置で該ウエーハに弾接する弾接体を設けた構成としている。把持ハンドは把持位置において，その係合部をウエーハの周端縁に係合させ，ウエーハをウエーハの面方向に挾持して把持する。この把持により，係合部の弾接体がウエーハに弾接されるので，ウエーハが中央に求心させられ，支持部の支承盤の支承フィンガに対してウエーハが容易に芯出- 23 -しされる。 そして，必要に応じ，上記支持部に支持されて回転させられるウエーハの直径を計測する直径計測部を設けた構成としている。ウエーハの直径検査が，欠陥検査と同時に行われる。 【００６８】【発明の効果】以上説明したように，本発明のウエーハ用検査装置によれば， れるウエーハの直径を計測する直径計測部を設けた構成としている。ウエーハの直径検査が，欠陥検査と同時に行われる。 【００６８】【発明の効果】以上説明したように，本発明のウエーハ用検査装置によれば，ウエーハの周端縁撮像部を，ウエーハの周端縁の厚さ方向の異なる部位を撮像する複数の撮像カメラを配置して構成したので，複数の撮像カメラがウエーハの周端縁の厚さ方向の異なる部位を撮像することから，ウエーハの周端縁が面取りされていても，撮像カメラの位置を逐一移動させることなく，厚さ方向全部を明瞭にしかも同時に撮像でき，操作性を向上させることができるとともに，撮像精度を向上させることができる。 【００６９】そして，撮像カメラをラインセンサで構成した場合には，周端縁を狭い幅で撮像してこれを連続させることができ，解像度が良く，撮像精度を向上させることができる。 また，ウエーハの周端縁がウエーハの面に対して略直角な側面，この側面に対して傾斜して面取りされた上面及び下面を備えて構成された場合，側面，上面及び下面に対応し各面に対して撮像方向を略直角に対面させて夫々配置した側面用撮像カメラ，上面用撮像カメラ及び下面用撮像カメラを備えた場合には，ウエーハの周端縁の各面を明瞭にしかも同時に撮像でき，操作性を向上させることができるとともに，撮像精度を向上させることができる。 【００７５】そして，本発明において対象とするウエーハは，その周端縁に底部及び両側部を有して略Ｕ字状に切り欠かれたノッチがあるウエーハであり，本発明は，ノッチを撮像するノッチ撮像部を設け，このノッチ撮像部を，ノッチの厚さ方向の異なる部位を撮像する複数の撮像カメラを配- 24 -置した構成にしたことから，複数の撮像カメラでノッチの厚さ方向の異なる部位を撮像するので，ノッチが面取りされていても，撮像カ ，ノッチの厚さ方向の異なる部位を撮像する複数の撮像カメラを配- 24 -置した構成にしたことから，複数の撮像カメラでノッチの厚さ方向の異なる部位を撮像するので，ノッチが面取りされていても，撮像カメラの位置を逐一移動させることなく，厚さ方向全部を明瞭にしかも同時に撮像でき，操作性を向上させることができるとともに，撮像精度を向上させることができる。 【００７６】また，撮像カメラを面状に撮像するエリアセンサで構成した場合には，ウエーハを回転させることなく，一時に撮像できる。 そしてまた，ノッチがウエーハの面に対して略直角な側面，この側面に対して傾斜して面取りされた上面及び下面を備えて構成された場合，撮像カメラを，側面，上面及び下面に対応し各面に対して撮像方向を略直角に対面させて夫々配置した構成とした場合には，ノッチの各面を明瞭にしかも同時に撮像でき，操作性を向上させることができるとともに，撮像精度を向上させることができる。 審決の内容別紙審決書の写しのとおりである。 要するに，本件各発明は，本多エレクトロン及び東芝セラミックスの従業者らのみが発明者ではなく，被告の従業者のＭ（以下「Ｍ」という。）も発明者であること，Ｍは，本件各発明について特許を受ける権利の持分を，本多エレクトロン又は東芝セラミックスのいずれにも譲渡していないこと，したがって，本件特許について特許を受ける権利は，本多エレクトロン，東芝セラミックス及びＭの共有であるにもかかわらず，共有者が共同で特許出願をしたものとはいえないから，特許法３８条の規定に違反したものであるとするものである。 第３取消事由に係る原告の主張審決は，被告の従業者のＭが本件各発明の発明者に含まれるから，本件特許出願は特許法３８条の規定に違反すると判断したが，誤りである。以下のとお- 25 -り ある。 第３取消事由に係る原告の主張審決は，被告の従業者のＭが本件各発明の発明者に含まれるから，本件特許出願は特許法３８条の規定に違反すると判断したが，誤りである。以下のとお- 25 -り，本件各発明は，前記本多エレクトロン及び東芝セラミックスの従業者６名によって発明されたものであり，Ｍが関与してなされた発明ではない。 なお，原告は，被告が特許法１２３条２項ただし書きの「利害関係人」に該当することについては，審判手続及び本訴においても争っていない。 本件各発明の内容及び本件各発明に至る経緯について(1)本多エレクトロンは，平成１０年ころから東芝セラミックス向けのウエーハエッジ検査装置（以下「本件ウエーハエッジ検査装置」という。）の開発を始めた。本件ウエーハエッジ検査装置は，シリコンウエーハ外周部（端面）上のキズ，カケ，チップ等の不良を非接触にて検出し，画像処理装置を連動し，あらかじめ設定された条件に基づいて合否判定を自動又は手動でする装置である（甲３３ないし３５）。 (2)本多エレクトロンは，Ａに対して，本件ウエーハエッジ検査装置のうち，主に光学系の研究開発を指示し，平成１０年２月ころから平成１１年にかけて湘南工科大学において半導体ウエーハに関する基礎的な学習をしたり，実験室を借りて実験を行なわせた（甲３６ないし３８，４８）。Ａは，同大学における研究開発と共に，Ｂ及びＣから機械設計に関する情報や提案を，東芝セラミックスのＤ，Ｅ及びＦから検査対象となる半導体ウエーハの構造，検出すべき欠陥の性質や構造についての情報等を得た。そして，Ａは上記研究開発を通じて，「ノッチ撮像部」においてはラインセンサに比べて視野範囲の広いエリアセンサを従来のラインセンサに替えて用いると共に，平成１１年９月ころには請求項１記載の構成を採用する着想を は上記研究開発を通じて，「ノッチ撮像部」においてはラインセンサに比べて視野範囲の広いエリアセンサを従来のラインセンサに替えて用いると共に，平成１１年９月ころには請求項１記載の構成を採用する着想を得て（甲４８，６３の１ないし３，６８），上記実験による検証や理論的検証を通じて平成１２年５月ころまでに本件各発明を完成させた。 (3)本件各発明の従来技術にない特徴的部分は，請求項１に記載された，①ウエーハ用検査装置において，②上記周端縁撮像部を，上記ウエーハの周端縁の厚さ方向の異なる部位を撮像する複数の撮像カメラを配置して構成し，- 26 -③上記周端縁撮像部の撮像カメラを上記周端縁の厚さ方向に沿って略直線状に撮像するラインセンサで構成すると共に，④ノッチ撮像部を設け，⑤上記ノッチ撮像部を，上記ノッチの厚さ方向に異なる部位を撮像するエリアセンサで構成した複数の撮像カメラを配置して構成したことにある。 (4)本件発明１６及び１８記載の構成は，いずれも被告の技術者であるＭから提案されたものであるが，それらの構成は請求項１に付加した部分にすぎず，本件各発明の特徴的部分とはいえないから，これらの発明者も請求項１の発明者であると解するべきである。 ア本件発明１６について本件発明１６において付加された「水平方向の２台のエリアセンサ」は，本件発明１の「複数のエリアセンサ」のうちの水平方向の１台の機能を分化させたもので，製品化する際に高解像度のエリアセンサの代わりに低解像度のエリアセンサを選択可能にしたものにすぎず，本件発明１の設計事項である。仮に当業者の技術常識を越える技術的な価値があったとしても，これを想到したのはＡであるから（甲４８，７０），被告の技術者であるＭは本件発明１６の発明者ではない。 イ本件発明１８について本件発明１８において付 技術常識を越える技術的な価値があったとしても，これを想到したのはＡであるから（甲４８，７０），被告の技術者であるＭは本件発明１６の発明者ではない。 イ本件発明１８について本件発明１８において付加された構成については，甲４８，７０に記載があるから，Ａが想到したものであり，被告技術者であるＭは本件発明１８の発明者ではない。 Ａ作成のノート（甲４８，６７）について(1)Ａ作成のノート（甲４８，６７）は，本件各発明のための基礎的研究，光学的研究，湘南工科大学における実験の経緯，技術的な課題とその解決のための本件各発明の着想及びその検証，製品化のための具体的な部品構成等の本件各発明に至る経緯を平成１０年２月ころから平成１２年５月ころまでの間に時間を追って克明に記載したものであり，本件各発明のほとんどすべ- 27 -ての構成が記載されている（甲６０）。 (2)甲４８，６７は，鉛筆書きであり一部に空白ページがあるが，記載内容や体裁は極めて自然であるし，Ａが湘南工科大学で行なっていた実験内容とその結果が符合しているから，改ざんされたり，後日に書き込まれたものではない。 Ａ作成の光学機材配置図等（甲６３の１ないし３，甲６８）についてＡは，湘南工科大学における実験を通して本件各発明を着想したものであり，このことはＡ作成の光学機材配置図等（甲６３の１ないし３，甲６８）に本件各発明が記載されていることから明らかである。 Ｂ作成の平成１２年１０月２３日付け図面（甲４２）について甲４２は，本多エレクトロンが，本件各発明の完成を受けて，①ウエーハの周端縁（エッジ）の厚さ方向の異なる部位をエリアセンサで構成された３台の撮像カメラを配置し，②ウエーハのノッチの厚さ方向に異なる部位をエリアセンサで構成された３台のカメラを配置する本件ウエーハエッジ検 端縁（エッジ）の厚さ方向の異なる部位をエリアセンサで構成された３台の撮像カメラを配置し，②ウエーハのノッチの厚さ方向に異なる部位をエリアセンサで構成された３台のカメラを配置する本件ウエーハエッジ検査装置を設計していたことを示すものであり，平成１２年１０月２３日には本件各発明が完成していることを示している。 Ａ作成の確認依頼書（甲６９）について本多エレクトロンは，本件各発明の完成を受けて，東芝セラミックスに対し本件ウエーハエッジ検査装置のβ版を作成し，貸し出すことにした（甲６９）。甲６９には，本件発明１の構成を採用することが示されている。 Ａ作成のノート（甲７０）について甲７０は，Ａが平成１２年１２月６日から８日まで開催されたセミコン・ジャパン２０００（甲７１）の会場内で，被告のＳ（以下「Ｓ」という。）及びＴ（以下「Ｔ」という。）に対し，本件各発明の特徴的な構成やその実施に係る具体的な技術情報を開示，伝達した際に作成したノートである。この甲７０の記載から，Ａが被告に対し本件各発明に関する情報（ウエーハのノッチのそ- 28 -の厚さ方向の異なる３つの部位をエリアセンサで撮像すること等）を開示，伝達したことは明らかである。 本件各発明に対する被告技術者の関与について(1)本多エレクトロンは，平成１２年ころ，本件各発明の完成を受けて，本件ウエーハエッジ検査装置のうち撮像部（光学部）の具体的製品開発を被告に依頼し，同年１０月２０日に被告の大阪技術センターにおいて被告が製作した検査装置の立会評価及び打合せを行なった（甲８）。本件ウエーハエッジ検査装置の開発に関する被告の関与は，この打合せ以降であり，被告の技術者であるＭらは，本件各発明の完成後に関与したにすぎない。 (2)被告は，上記打合せにおいて，本多エレクトンが被告に対してノ ッジ検査装置の開発に関する被告の関与は，この打合せ以降であり，被告の技術者であるＭらは，本件各発明の完成後に関与したにすぎない。 (2)被告は，上記打合せにおいて，本多エレクトンが被告に対してノッチ検査手法の検討依頼をしたと主張するが失当である。本多エレクトロンは，上記打合せにおいて，ノッチ部の撮像も複数のエリアカメラで行なうよう要請したが，ラインセンサメーカーである被告は，ラインセンサで行なうことを主張し譲らなかったので，本多エレクトロンが被告に対し，ノッチ検査の手法の検討を指示したものである。 第４被告の反論審決の認定判断はいずれも正当であって，審決を取り消すべき理由はない。 本件発明に至る経緯について(1)本件ウエーハエッジ検査装置の開発は，平成１２年７月１７日に本多エレクトロンから被告に対して相談を持ちかけたことに始まるが，その後の過程において，本多エレクトロンから本件各発明に関する情報が提供，開示されたことはない。被告が，本件ウエーハエッジ検査装置の開発当初に作成した仕様書（甲７）は，３台のラインセンサカメラからなるエッジ撮像部のみを備えた構成からなるもので，本件各発明の必須の構成である複数のエリアセンサカメラからなるノッチ撮像部を備えていない。本件各発明は，その後に，被告の技術者であるＭらが中心となって完成させたものである。 - 29 -(2)本件各発明の完成時期①本多エレクトロンから被告に対し本件各発明に関する具体的な指示がなかったこと，②本件特許の出願が本件各発明が完成したと原告が主張する時期から約２年後であること，③本多エレクトロンと被告が守秘義務契約（甲５７）を締結したのが本件各発明が完成したと原告が主張する時期より後の平成１３年１２月２０日であることからすると，原告が主張する時期には本件各発明が こと，③本多エレクトロンと被告が守秘義務契約（甲５７）を締結したのが本件各発明が完成したと原告が主張する時期より後の平成１３年１２月２０日であることからすると，原告が主張する時期には本件各発明が完成したとはいえない。 (3)本件発明１６及び１８について本件発明１６及び１８の特徴的部分は，ノッチ撮像部においてノッチを水平方向の異なる部位を撮像する複数のカメラを備えた点にあり，この特徴的部分はＭら被告技術者が発明したものであり，本件発明１６及び１８がされた当時周知技術でもない。 Ａ作成のノート（甲４８，６７）についてＡ作成のノート（甲４８，６７）は，①日付がないこと，②サイン等の第三者の確認がないこと，③空白のページが多く追記可能であること，④ほとんどのページが鉛筆で記入されており，記載内容の改変，消去が容易であること，⑤管理方法が不明であること，⑥実験を裏付ける実験データが何も添付されていないこと，⑦Ａが自ら考え出したものと他人や書籍から入手した情報が混在しており，両者を区別することができないこと等の記載態様に照らすならば，ノートの記載内容がいつ，どのような順序で記載されたか特定できないし，それが記載当時のままであることや，Ａ自身が考え出したものであることを保証することもできない。よって，甲４８，６７は，信用できない。 Ａ作成の光学機材配置図等（甲６３の１ないし３，甲６８）について原告は，Ａ作成のノート（甲４８，６７）と同様，Ａが湘南工科大学における実験を通して本件各発明を着想したと主張し，その証拠として甲６３の１ないし３，甲６８を提出するが，失当である。 - 30 -ア甲４８，６７と甲６３の１ないし３との対比甲６３の１ないし３の記載内容と甲４８の記載内容とを対比した場合，①カメラの周方向位置，②斜方向カメラのウエーハに 提出するが，失当である。 - 30 -ア甲４８，６７と甲６３の１ないし３との対比甲６３の１ないし３の記載内容と甲４８の記載内容とを対比した場合，①カメラの周方向位置，②斜方向カメラのウエーハに対する取付角度，③ウエーハを水平方向に移動させるスライド機構，ウエーハの傾斜角度を調整するチルト機構，ウエーハの回転速度を調整する回転速度調整機構の有無，④端面カメラ及び斜方向のカメラの型式の点で異なっているので，甲４８，６７のノートが前記湘南工科大学における実験内容と符合しているということはできない。 イ甲６３の１ないし３と本件発明１との対比甲６３の１ないし３記載の構成は，いずれも周縁部を撮像するエリアセンサカメラを１台しか備えておらず，周縁部を撮像する複数のラインセンサカメラ（エッジ用）と複数のエリアセンサカメラ（ノッチ用）を特徴的部分とする本件発明１とは異なる。 ウ甲６８と本件発明１との対比本件発明１は，エッジとノッチで使用するカメラを使い分けることを特徴的部分とするのに対し，甲６８記載の実験は，エッジとノッチの両方をエリアセンサで撮像する構成であり，本件発明１とは異なる。原告は，エッジの撮像はラインセンサで行なうことを前提として実験がなされていると主張するが，ラインセンサとエリアセンサとでは，必要とされる光学条件及びその後の画像処理が異なるので，技術的に不可能であり失当である。 甲４２の図面について甲４２の構成はノッチの厚さ方向に異なる部位をエリアセンサで構成された３台のカメラを配置する構成ではない（甲６５の３）。 Ａ作成の確認依頼書（甲６９）について甲６９には，「端面画像取得用カメラ３台×２式（ノッチ：エリア，エッジ：ライン」との記載があるだけで，その具体的な構成は不明である。 - 31 - Ａ作成のノート（甲７０ 依頼書（甲６９）について甲６９には，「端面画像取得用カメラ３台×２式（ノッチ：エリア，エッジ：ライン」との記載があるだけで，その具体的な構成は不明である。 - 31 - Ａ作成のノート（甲７０）について(1)甲７０には，日付の記載が一切なく，第三者による確認がないためその作成時期を含めて客観性に欠ける。 (2)原告は，Ａがセミコン・ジャパン２０００の会場内で甲７０を記載しながら被告のＳ及びＴに本件各発明に関する情報を開示・伝達したと主張するが否認する。Ｓは，上記情報の開示・伝達を受けていないし，Ｔはセミコン・ジャパン２０００には参加していない（乙７，８，１７）。 本件各発明に対する被告技術者の関与について甲５ないし７によれば，被告が本件ウエーハエッジ検査装置の開発に対して関与したのは，平成１２年７月１７日以降であり，同年１０月２０日の打合せ以前に本件ウエーハエッジ検査装置の開発に関与している。 第５当裁判所の判断当裁判所は，本件各発明については，本多エレクトロン及び東芝セラミックスの従業者であるＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆのみが発明者ではなく，被告の従業者であるＭも発明者であり，Ｍは，本件各発明について特許を受ける権利の持分を，本多エレクトロン又は東芝セラミックスのいずれにも譲渡したことはなく，したがって，本件特許について特許を受ける権利は，本多エレクトロン，東芝セラミックス及びＭの共有であるにもかかわらず，共有者が共同で特許出願をしたものではなく，本件特許は，特許法３８条の規定に違反したものであるから，審決に誤りがあるとの原告の主張は理由がないと判断する。 その理由の詳細は，以下のとおりである。 発明とは，「自然法則を利用した技術的思想の創作のうち高度のもの」をいい（特許法２条１項），「産業上利用することができる発明をした者は は理由がないと判断する。 その理由の詳細は，以下のとおりである。 発明とは，「自然法則を利用した技術的思想の創作のうち高度のもの」をいい（特許法２条１項），「産業上利用することができる発明をした者は，・・・その発明について特許を受けることができる」と規定されている（同法２９条１項柱書き）。そして，発明は，その技術内容が，当該の技術分野における通常の知識を有する者が反復実施して目的とする技術効果を挙げることができる程度に- 32 -まで具体的・客観的なものとして構成されたときに，完成したと解すべきである（最高裁昭和５２年１０月１３日第一小法廷判決民集３１巻６号８０５頁参照）。したがって，発明者とは，自然法則を利用した高度な技術的思想の創作に関与した者，すなわち，当該技術的思想を当業者が実施できる程度にまで具体的・客観的なものとして構成するための創作に関与した者を指すというべきである。もとより，発明者となるためには，一人の者がすべての過程に関与することが必要なわけではなく，共同で関与することでも足りるというべきであるが，複数の者が共同発明者となるためには，課題を解決するための着想及びその具体化の過程において，発明の特徴的部分の完成に創作的に寄与したことを要する。そして，発明の特徴的部分とは，特許請求の範囲に記載された発明の構成のうち，従来技術には見られない部分，すなわち，当該発明特有の課題解決手段を基礎付ける部分を指すものと解すべきである。 上記の観点から，「本件各発明の内容」及び「本件各発明に関与した者の関与の程度」を総合考慮して，被告の従業者であるＭが本件各発明の共同発明者の一人に該当するか否かを考察する。 本件各発明の内容(1)本件特許に係る特許請求の範囲の記載は，前記第２，２のとおりであるが，このうち請求項１を分説すると次 であるＭが本件各発明の共同発明者の一人に該当するか否かを考察する。 本件各発明の内容(1)本件特許に係る特許請求の範囲の記載は，前記第２，２のとおりであるが，このうち請求項１を分説すると次のとおりである。 【請求項１】ａ周端縁に底部及び両側部を有して略Ｕ字状に切り欠かれたノッチがある円盤状のウエーハを検査するウエーハ用検査装置であって，該ウエーハを回転可能に支持する支持部と，該支持部に支持されて回転させられるウエーハの周端縁を連続的に撮像する周端縁撮像部と，上記ウエーハの周端縁を照明する周端縁照明部と，上記周端縁撮像部で撮像した撮像データを処理する制御部とを備えたウエーハ用検査装置において，- 33 -ｂ上記周端縁撮像部を，上記ウエーハの周端縁の厚さ方向の異なる部位を撮像する複数の撮像カメラを配置して構成し，ｃ上記周端縁撮像部の撮像カメラを上記周端縁の厚さ方向に沿って略直線状に撮像するラインセンサで構成し，ｄ上記ノッチを撮像するノッチ撮像部を設け，ｅ上記ノッチを照明するノッチ照明部を設け，ｆ上記制御部に該ノッチ撮像部で撮像した撮像データを処理する機能を備え，ｇ上記ノッチ撮像部を，上記ノッチの厚さ方向の異なる部位を撮像するエリアセンサで構成した複数の撮像カメラを配置して構成したｈことを特徴とするウエーハ用検査装置（以下それぞれ「構成要件ａ」ないし「構成要件ｈ」という。）(2)本件明細書（甲１）には，以下の記載がある（前記第２，２のとおり）。 【０００１】【発明の属する技術分野】本発明は，円盤状のウエーハの周端縁を撮像し，この撮像データに基づいてウエーハの検査を非破壊で行なうことができるようにしたウエーハ用検査装置に関する。 【０００２】【従来の技術】従来，この種のウエーハ用検査装置としては，例えば 端縁を撮像し，この撮像データに基づいてウエーハの検査を非破壊で行なうことができるようにしたウエーハ用検査装置に関する。 【０００２】【従来の技術】従来，この種のウエーハ用検査装置としては，例えば，特開平８－１３６４６２号公報に掲載されたものが知られている。 このウエーハ用検査装置は，図３４に示すように，円盤状のウエーハＷを回転可能に支持する支持部１と，支持部１に支持されて回転させられるウエーハＷの周端縁Ｓを連続的に撮像する撮像カメラ２と，撮像カメラ２で撮像した撮像画像を表示するＣＲＴ等のモニタ（図示せず）とを備えて構成されている。 撮像カメラ２は，ウエーハＷに対して前後左右に移動可能に設けられてい- 34 -るとともにウエーハＷの厚さ方向に回動可能に設けられており，これらの移動により撮像カメラの作動距離が調整される。 そして，ウエーハＷを回転させ撮像カメラ２を前後左右あるいは厚さ方向に回動させてウエーハＷの周端縁Ｓをモニタに表示し，ウエーハＷの周端縁Ｓにある欠陥の有無を観察するようにしている。 【０００３】【発明が解決しようとする課題】ところで，上述した従来のウエーハ用検査装置にあっては，ウエーハＷの周端縁Ｓの内，撮像カメラ２の撮像方向に直角に対面する部位の画像は明瞭であるが，撮像カメラ２の撮像方向に斜めになってしまう部位の画像は不鮮明になり易く，そのため，欠陥の抽出精度に劣っているという問題があった。 その理由は，例えば，図３４に示すように，ウエーハＷの周端縁Ｓが側面ＳＳ及び側面ＳＳに対して傾斜して面取りされた上面ＳＡ，下面ＳＢを有している場合には，撮像カメラ２をウエーハＷの厚さ方向に回動させてその撮像方向を，例えば，側面ＳＳに直角に対面させて合わせると，上面ＳＡ及び下面ＳＢが撮像カメラ２の撮像方向に斜めになって撮像されることに る場合には，撮像カメラ２をウエーハＷの厚さ方向に回動させてその撮像方向を，例えば，側面ＳＳに直角に対面させて合わせると，上面ＳＡ及び下面ＳＢが撮像カメラ２の撮像方向に斜めになって撮像されることになるので，画像が不鮮明になって撮像精度が悪くなるからである。 【０００４】また，ウエーハＷの側面ＳＳ，上面ＳＡ及び下面ＳＢを夫々明瞭に撮像しようとすると，各面に合わせてその都度撮像カメラ２の位置を移動させて各面に撮像カメラ２の撮像方向を直角に対面させる調整を行なわなければならないので，操作が煩雑になるという問題もあった。 更に，モニタでは，側面ＳＳ，上面ＳＡ及び下面ＳＢを明瞭にして同時に見ることができないという問題もあった。 【０００５】本発明は上記の問題点に鑑みてなされたもので，ウエーハの周端縁が面取りされていても，撮像カメラの位置を逐一移動させることなく，厚さ方向全部を明瞭にしかも同時に見ることができるようにして，操作性を向上させるとともに，撮像精度を向上させ，欠陥の抽出精度の向上- 35 -を図ったウエーハ用検査装置を提供することを目的とする。 【０００６】【課題を解決するための手段】このような目的を達成するため，本発明のウエーハ用検査装置は，円盤状のウエーハを回転可能に支持する支持部と，該支持部に支持されて回転させられるウエーハの周端縁を連続的に撮像する周端縁撮像部と，該周端縁撮像部で撮像した撮像データを処理する制御部とを備えたウエーハ用検査装置において，上記周端縁撮像部を，上記ウエーハの周端縁の厚さ方向の異なる部位を撮像する複数の撮像カメラを配置して構成している。 これにより，ウエーハの検査を行なうときは，ウエーハを支持部に支持して回転させ，この状態で，周端縁撮像部で周端縁の画像を取込む。この場合，周端縁撮像部は，ウエーハの周端縁の厚 配置して構成している。 これにより，ウエーハの検査を行なうときは，ウエーハを支持部に支持して回転させ，この状態で，周端縁撮像部で周端縁の画像を取込む。この場合，周端縁撮像部は，ウエーハの周端縁の厚さ方向の異なる部位を撮像する複数の撮像カメラを備えているので，ウエーハの周端縁が面取りされていても，撮像カメラの位置を逐一移動させることなく，厚さ方向全部を明瞭にしかも同時に撮像でき，操作性が向上させられるとともに，撮像精度が向上させられる。取り込まれた撮像データは制御部に送出されて処理される。 【０００７】そして，必要に応じ，上記撮像カメラを上記周端縁の厚さ方向に沿って略直線状に撮像するラインセンサで構成している。周端縁を狭い幅で撮像してこれを連続させるので，解像度が良く，撮像精度が向上させられる。 【００１４】そして，本発明において対象とするウエーハは，その周端縁に底部及び両側部を有して略Ｕ字状に切り欠かれたノッチがあるウエーハであり，本発明は，該ノッチを撮像するノッチ撮像部を設け，上記制御部に該ノッチ撮像部で撮像した撮像データを処理する機能を備えて構成し，上記ノッチ撮像部を，上記ノッチの厚さ方向の異なる部位を撮像する複数の撮像カメラを配置した構成としている。 - 36 -これにより，ウエーハを支持部に支持して，ノッチ撮像部でノッチの画像を取込む。ノッチ撮像部は，ノッチの厚さ方向の異なる部位を撮像する複数の撮像カメラを備えているので，ノッチが面取りされていても，撮像カメラの位置を逐一移動させることなく，厚さ方向全部を明瞭にしかも同時に撮像でき，操作性が向上させられるとともに，撮像精度が向上させられる。取り込まれた撮像データは制御部に送出されて処理される。 【００１５】そして，必要に応じ，上記撮像カメラを面状に撮像するエリアセンサで構成 ，操作性が向上させられるとともに，撮像精度が向上させられる。取り込まれた撮像データは制御部に送出されて処理される。 【００１５】そして，必要に応じ，上記撮像カメラを面状に撮像するエリアセンサで構成している。ウエーハを回転させることなく，一時に撮像できる。 そしてまた，必要に応じ，上記ノッチがウエーハの面に対して略直角な側面，該側面に対して傾斜して面取りされた上面及び下面を備えて構成された場合，上記撮像カメラを，上記側面，上面及び下面に対応し各面に対して撮像方向を略直角に対面させて夫々配置した構成としている。ノッチの各面を明瞭にしかも同時に撮像でき，操作性が向上させられるとともに，撮像精度が向上させられる。 【００６８】【発明の効果】以上説明したように，本発明のウエーハ用検査装置によれば，ウエーハの周端縁撮像部を，ウエーハの周端縁の厚さ方向の異なる部位を撮像する複数の撮像カメラを配置して構成したので，複数の撮像カメラがウエーハの周端縁の厚さ方向の異なる部位を撮像することから，ウエーハの周端縁が面取りされていても，撮像カメラの位置を逐一移動させることなく，厚さ方向全部を明瞭にしかも同時に撮像でき，操作性を向上させることができるとともに，撮像精度を向上させることができる。 【００６９】そして，撮像カメラをラインセンサで構成した場合には，周端縁を狭い幅で撮像してこれを連続させることができ，解像度が良く，撮像精度を向上させることができる。 - 37 -また，ウエーハの周端縁がウエーハの面に対して略直角な側面，この側面に対して傾斜して面取りされた上面及び下面を備えて構成された場合，側面，上面及び下面に対応し各面に対して撮像方向を略直角に対面させて夫々配置した側面用撮像カメラ，上面用撮像カメラ及び下面用撮像カメラを備えた場合には，ウエーハの周端 び下面を備えて構成された場合，側面，上面及び下面に対応し各面に対して撮像方向を略直角に対面させて夫々配置した側面用撮像カメラ，上面用撮像カメラ及び下面用撮像カメラを備えた場合には，ウエーハの周端縁の各面を明瞭にしかも同時に撮像でき，操作性を向上させることができるとともに，撮像精度を向上させることができる。 【００７５】そして，本発明において対象とするウエーハは，その周端縁に底部及び両側部を有して略Ｕ字状に切り欠かれたノッチがあるウエーハであり，本発明は，ノッチを撮像するノッチ撮像部を設け，このノッチ撮像部を，ノッチの厚さ方向の異なる部位を撮像する複数の撮像カメラを配置した構成にしたことから，複数の撮像カメラでノッチの厚さ方向の異なる部位を撮像するので，ノッチが面取りされていても，撮像カメラの位置を逐一移動させることなく，厚さ方向全部を明瞭にしかも同時に撮像でき，操作性を向上させることができるとともに，撮像精度を向上させることができる。 【００７６】また，撮像カメラを面状に撮像するエリアセンサで構成した場合には，ウエーハを回転させることなく，一時に撮像できる。 そしてまた，ノッチがウエーハの面に対して略直角な側面，この側面に対して傾斜して面取りされた上面及び下面を備えて構成された場合，撮像カメラを，側面，上面及び下面に対応し各面に対して撮像方向を略直角に対面させて夫々配置した構成とした場合には，ノッチの各面を明瞭にしかも同時に撮像でき，操作性を向上させることができるとともに，撮像精度を向上させることができる。 (3)本件各発明に関連する従来技術東芝セラミックス出願に係る特開平１０－３８５３９号公報（甲３９）に- 38 -は，次の記載がある。 【請求項２】少なくとも一面側外周全域が面取りされた半導体ウエハの外周の一部に設けられたノ 技術東芝セラミックス出願に係る特開平１０－３８５３９号公報（甲３９）に- 38 -は，次の記載がある。 【請求項２】少なくとも一面側外周全域が面取りされた半導体ウエハの外周の一部に設けられたノッチ部分の形状を光学的に測定するウエハの形状認識装置であって，半導体ウエハが載置されるウエハステージと，前記ウエハステージに載置された半導体ウエハのノッチ部分の一面側をウエハ表面に対して垂直方向から撮像する撮像手段と，前記撮像手段とノッチ部分を結ぶ撮像光路上に配置され，半導体ウエハの他面側からノッチ部分に光を照射する第１照明手段と，前記半導体ウエハの一面側に配置され，ウエハの面取り面を照射しない角度でウエーハ表面に対して光を照射する第２照明手段と，前記半導体ウエハの一面側に配置され，ウエハの面取り面とウエーハ表面に対して光を照射する第３照明手段と，前記第１照明手段のみを点灯し，前記撮像手段からの画像データに基づいてウエハのノッチ部分の形状を測定する第１測定モードと，前記第１照明手段および第２照明手段を点灯し，前記撮像手段からの画像データに基づいてウエハの面取り幅を測定する第２測定モードと，前記第３照明手段のみを点灯し，前記撮像手段からの画像データに基づいてウエハのノッチ部分の観察を行うノッチ観察モードとに切り替える制御手段とを具備したことを特徴とするウエハの形状認識装置。 【０００６】本発明は，このような従来のものの技術的課題を解決するためになされたものであり，能率的に面取り幅を含むウエハノッチ部分の形状を測定することができるウエハの形状認識装置を提供することを目的とするものである。また本発明は，前記したノッチ形状の測定と同時にノッチ部におけるキズの有無などの観察を行うことも可能なウエハの形状認識装置を提供することを目的とするものである。 提供することを目的とするものである。また本発明は，前記したノッチ形状の測定と同時にノッチ部におけるキズの有無などの観察を行うことも可能なウエハの形状認識装置を提供することを目的とするものである。 【００２５】続いて，画像処理装置１９は照明制御装置２０に指令信号を送出し，第３照明灯１７のみを点灯し，テレビカメラ１３からの画像データ- 39 -に基づいてウエハのノッチ部分の観察を行うノッチ観察モードに移行する，図４（ａ）は，ノッチ観察モードにおける照明灯の点灯状態を示したものであり，第３照明灯１７のみが点灯される。 【００２６】したがって，このときに得られる画像データに基づく映像は，図４（ｂ）に示すようにノッチ部分における面取り面１１ｂおよびウエハ１１の上面がハイライトとなり，表示装置２４に表示される実画像を例えば目視することにより，ウエハのノッチ部分にキズがあるか否かの検証を行うことができる。 【００３１】また，これに加えてウエハの面取り面とウエーハ表面に対して光を照射する第３照明手段が具備され，制御手段により第１照明手段，第２照明手段および第３照明手段の点灯の組み合わせが変えられるように構成したので，ノッチ部分の形状測定，面取り幅の測定に加え，ノッチ部分のキズの有無の観察を可能にすることができる。したがって半導体ウエハのノッチ部分の検査時間を短縮させることができ，半導体の生産性を向上させることができる。 (4)本件発明１の内容及び特徴前記(1)ないし(3)で認定した本件明細書及び刊行物の記載によれば，本件発明１の特徴的部分は，以下のとおりと認められる。 すなわち，従来のウエーハ用検査装置においては，ウエーハの周端縁のうち，撮像カメラの撮像方向に斜めになる部位の画像は不鮮明になり易く，また，ウエーハの側面，上面及び下面をそれぞれ明 りと認められる。 すなわち，従来のウエーハ用検査装置においては，ウエーハの周端縁のうち，撮像カメラの撮像方向に斜めになる部位の画像は不鮮明になり易く，また，ウエーハの側面，上面及び下面をそれぞれ明瞭に撮像しようとすると，各面に合わせてその都度撮像カメラの位置を移動させなければならないので，操作が煩雑になり，さらに，モニタでは側面，上面及び下面を明瞭にして同時に見ることができないという技術的課題があった。そこで，本件発明１を含む本件各発明は，このような技術的課題を解決するために，①ウエーハの周端縁の厚さ方向の異なる部位を撮像する複数の撮像カメラを配置して- 40 -構成し（構成要件ｂ），ウエーハの検査を行なうときは，ウエーハの周端縁が面取りされていても，撮像カメラの位置を逐一移動させることなく，厚さ方向全部を明瞭にしかも同時に撮像でき，操作性を向上させることができるようにし，②撮像カメラを周端縁の厚さ方向に沿って略直線状に撮像するラインセンサで構成することで（構成要件ｃ），周端縁を狭い幅で撮像してこれを連続させることができ，解像度が良く，撮像精度を向上させ，③ノッチの厚さ方向の異なる部位を撮像するエリアセンサで構成した複数の撮像カメラを配置することで（構成要件ｇ），ノッチが面取りされていても撮像カメラの位置を逐一移動させることなく厚さ方向全部を明瞭にしかも同時に撮像でき，しかもウエーハを回転させることなく一時に撮像できるので操作性が向上するという従来技術では達成し得なかった課題解決を図るものといえる。 本件各発明に至るまでの経緯前記当事者間に争いの事実等並びに証拠（各項に挙げたもの）及び弁論の全趣旨によると，以下の事実が認められる。 (1)本多エレクトロンは，平成１０年９月ころから，東芝セラミックス向けの本件ウエーハエッジ検 事者間に争いの事実等並びに証拠（各項に挙げたもの）及び弁論の全趣旨によると，以下の事実が認められる。 (1)本多エレクトロンは，平成１０年９月ころから，東芝セラミックス向けの本件ウエーハエッジ検査装置の開発を開始した（甲３３ないし３８）。本多エレクトロンにおける開発の担当者であるＡは，同年９月２９日，東芝セラミックスのＦから，本件ウエーハエッジ検査装置に関する要求仕様書（甲３３）の送付を受けた。 甲３３には，次の記載等がある。 「４．用途，目的，性能シリコンウエーハ外周部（端面）上のキズ，カケ，チップ等の不良を非接触にて検出し，画像処理装置と連動し，あらかじめ設定された条件に基づいて合否判定を自動又は手動でする装置。（中略）５．測定対象物- 41 -（中略）(2)ウエーハ（ノッチ）・直径：３００ｍｍ±０．２ｍｍ・厚み：８００μｍ±１００μｍ及び７５０μｍ±１００μｍ・鏡面及びエッチング面（端面を含む）」(2)Ａは，平成１０年１１月２７日，前記要求仕様書を受けて，本件ウエーハエッジ検査装置に関して，「東芝セラミックス（株）開発研究所殿向けＳＷＩ１２０４Ｃ用１２インチ端面検査システム改造提案仕様（見積Ｎｏ． ４２０６）」を作成した（甲３４）。甲３４には，次の記載等がある。 「４．用途，目的，性能シリコンウエーハ外周部（端面）上のキズ，カケ，チップ等の不良を非接触にて検出し，画像処理装置との検出結果をモニターで確認し，合否判定を手動でする装置である。光学系は既存の本多エレクトロン製の面検ハンドラーに取り付ける。」「５．測定対象物（中略）(2)ウエーハ（ノッチ）・直径：３００ｍｍ±０．２ｍｍ・厚み：８００μｍ±１００μｍ及び７５０μｍ±１００μｍ・鏡面及びエッチング面（端面を含む）・自重たわみ・反り等は考慮しない （中略）(2)ウエーハ（ノッチ）・直径：３００ｍｍ±０．２ｍｍ・厚み：８００μｍ±１００μｍ及び７５０μｍ±１００μｍ・鏡面及びエッチング面（端面を含む）・自重たわみ・反り等は考慮しない」(3)Ａは，Ｆ等と共に，平成１１年１１月５日及び６日に，湘南工科大学において，本件ウエーハエッジ検査装置に関する実験を行なった（甲３７，３８）。甲３７，３８には，「３．端面検査装置評価１）ベベル画像の取得具合評価，２）端面欠陥の整合性評価」との記載がある。 (4)Ａは，平成１２年７月２８日，「『φ３００ｍｍウエーハ端面検査装置β版貸出対応』の件＜御確認＞」と題する確認依頼書（提案書）を作成し，- 42 -東芝セラミックスらに提出した（甲６９）。この甲６９には，次の記載がある。 「９．２）端面画像取得用カメラ３台×２式（ノッチ：エリア，エッジ：ライン）３）端面画像取得要（判決注：「用」の誤記と思料する。）照明３機（ノッチ：２機，エッジ：１機）４）画像処理ＰＣ４台（ノッチ：１台，エッジ：３台）」(5)被告は，工業用の特殊カメラの専業メーカーとして，平成１１年１２月ころウエーハエッジ検査装置の開発を行っていた（乙２１）。Ａらは，平成１２年７月１７日に被告東京支社を訪れ，被告に技術面でのアドバイスを受け，共同開発に関する取引が開始した（乙９ないし１１）。その後，Ａは，被告の役員であるＳに対し，本件ウエーハエッジ検査装置に関して，平成１２年９月２２日に調整用サンプルを送付し（甲６），同年９月２７日に上記検査装置の開発スケジュール等をメールで送信し（甲５），同年１０月１２日に端面欠陥限界見本サンプルを送付し，アドバイスを受けた（甲６）。 (6)本多エレクトロンのＣ及びＢは，平成１２年１０月１６日，東芝セラミックス向けの「自動端面欠陥 送信し（甲５），同年１０月１２日に端面欠陥限界見本サンプルを送付し，アドバイスを受けた（甲６）。 (6)本多エレクトロンのＣ及びＢは，平成１２年１０月１６日，東芝セラミックス向けの「自動端面欠陥座標計測装置見積り仕様書」を作成した（甲３０。判決注：本件ウエーハエッジ検査装置と「自動端面欠陥座標計測装置」は同義であると認められる（乙２１）。以下同じ。）。同仕様書には，被告製の「高解像度端面画像取得ユニット」及び「端面欠陥座標計測システム」を使用することが記載されている。 (7)被告のＰ（以下「Ｐ」という。）は，平成１２年１０月１９日付けで「φ３００ｍｍ自動端面欠陥座標計測装置画像処理部仕様」を作成した（甲７）。同仕様書には，以下の記載がある。 「本画像処理部は，φ３００ｍｍウエハの端面を高解像度ラインセンサカメラで観測し，欠陥の位置と個数を自動検出した後，オペレータもしくはあ- 43 -らかじめ設定された判定式により合否判定を行う。 １．ウエハ端面観測方式について曲率を持ったウエハの端面を，拡大し正確に観測するには，被写界深度，照明方法の両面から，ラインセンサーを用いる方法が適します。 ２．光学系概略仕様ラインセンサカメラ１０２４画素高速デジタルラインセンサカメラ」(8)平成１２年１０月２０日，被告の大阪技術センターにおいて，被告のＳ，Ｐ，Ｍ，本多エレクトロンのＲ，Ｃ，Ａ，東芝セラミックスのＤ等が出席して自動欠陥座標計測装置に関する仕様打合せが行なわれた（甲８，乙２１，２３，２４）。Ａ作成の議事録及びＰ作成の打合せ記録（甲８）には，以下の記載がある。 「ノッチは検査の手方を検討して頂く。要回答ＮＥＤ殿（判決注：被告を指す。）→弊社１１／１３」「ノッチ内部も検査したい→サンプルを頂く。（１１／１発送）ノッチに多い欠陥は欠け 下の記載がある。 「ノッチは検査の手方を検討して頂く。要回答ＮＥＤ殿（判決注：被告を指す。）→弊社１１／１３」「ノッチ内部も検査したい→サンプルを頂く。（１１／１発送）ノッチに多い欠陥は欠け，非ミラー，ヒビ割れ（Ａ氏）レンズ系，照明を検討する・ベベル形状は１１／１発送東セラ殿→日商→本多→ＮＥＤ設計データ，サンプル含む（ノッチサンプル含む）着は１１／６カメラ位置回答は～１１／１３ＮＥＤ→本多」(9)本多エレクトロンのＢは，平成１２年１０月２３日，「自動端面欠陥座標計測装置カメラ取付範囲図」を作成した（甲４２）。甲４２の図面には，ウエーハの周端縁の厚さ方向の異なる部位を該方向に沿って略直線状に撮像する３台のカメラが示されている。 (10)東芝セラミックスのＤは，平成１２年１１月１日，被告のＰ，本多エレクトロンのＣ，Ａ等に対し，「３００ｍｍウエーハ端面検査装置について」と題する書面を送付した（甲９）。甲９には次の記載がある。 - 44 -「２．ノッチ形状規格について（中略）参考までに形状見本サンプルのＥｄｇｅ形状実測結果を添付します（別紙１）。 ３．ノッチで検出する欠陥レベルについて（中略）（別紙３）で①端面上のピット，および②テーパー面上のスジ状のものが検出できる分解能が欲しいです。…」また，甲９の別紙１には，Ｔｙｐｅ－Ａ，Ｔｙｐｅ－Ｂのウエーハの断面形状を示した図が記載され，さらに，略Ｕ字状に切り欠かれたノッチが示されている。 (11)Ｄは，平成１２年１１月８日，Ｍ及びＡ等に対し，端面検査装置用形状見本サンプル（２００ｍｍ）を送付し（甲１０），被告においてそれを使用してノッチの撮像実験が行なわれた（乙１４ないし１６）。 (12)被告は，平成１２年１２月１１日，「φ３００ｍｍ自動端面欠陥座標計測装置画像処理 ００ｍｍ）を送付し（甲１０），被告においてそれを使用してノッチの撮像実験が行なわれた（乙１４ないし１６）。 (12)被告は，平成１２年１２月１１日，「φ３００ｍｍ自動端面欠陥座標計測装置画像処理部」に関する見積仕様書を作成し（甲１１），本多エレクトロンに対して開発費を１０００万円とする見積書（甲１２）を提出した。 上記甲１１の「Ⅱシステム仕様」には，次の記載がある。 「１．概要本画像処理部は，φ３００ｍｍウエハの端面を高解像度ラインセンサカメラで観測し，欠陥の位置と個数を自動検出した後，オペレータもしくはあらかじめ設定された判定式により合否判定を行うシステムです。 ２．光学系概略仕様ラインセンサカメラ１０２４画素高速デジタルラインセンサカメラ（３台）- 45 -５．ノッチ部画像取込光学系概略ノッチ部画像取込光学系部品の概略仕様を以下に示します。 エリアＣＣＤカメラ６４０×４８０画素カメラ（３台）６．ノッチ部画像入力について３台のエリアカメラを切り替えて画像取り込みを行うため，切り替え時間等含めて約２秒ウエハを静止させる必要があります。」また，甲１１の「添付２．エッジ検査部構成図」には，ウエハの周端縁の厚さ方向の異なる部位を該方向に沿って略直線状に撮像する３台のカメラ（ラインカメラ１～３。なお，ラインカメラ１（同３）が水平となす角度は４５度±１０度（－４５度±１０度）。）が示され，「添付３．ノッチ検査部構成図」には，ノッチの厚さ方向の異なる部位を撮像する３台のカメラ（エリアカメラ１～３。なお，エリアカメラ１（同３）が水平となす角度は４５度±１０度（－４５度±１０度）。）が示されている。 (13)被告は，平成１３年１月９日，本件ウエハーエッジ検査装置に関する見積書を作成し，本多エレクトロンに提出した（甲４３）。上記見積書に は４５度±１０度（－４５度±１０度）。）が示されている。 (13)被告は，平成１３年１月９日，本件ウエハーエッジ検査装置に関する見積書を作成し，本多エレクトロンに提出した（甲４３）。上記見積書に添付された「ウェハエッジ検査装置ソフトウェア仕様書」の「１．概要」には，「エッジは，表面，側面，裏面の３方向より，３台のラインセンサカメラで取り込みます。但し，ノッチ部側面については，エリアカメラにて２方向からみるものとします。」との記載とともに，上面図及び側面図にはそれぞれラインカメラ３台とエリアカメラ２台が示されている。 (14)平成１３年１月１８日，本多エレクトロンの本社会議室において，本多エレクトロンのＡ，Ｒ，被告のＳ，Ｐ等が出席して，φ３００ｍｍ自動端面欠陥座標計測装置画像処理部仕様打合せが行われた（甲１３）。被告は，本多エレクトロンに対し，「φ３００ｍｍ自動端面欠陥座標計測装置画像処理部」の納入仕様書を提出した（甲４４）。甲４４には次の記載がある。 「II．仕様- 46 -２．設備能力条件及び主仕様(4)観測部位①ウエハ外周部②ベベル部表／裏③Ｖノッチ：ボトム部分は，ラインセンサにてある程度観測可能＊サイド部については２次元カメラにて観測III．装置構成１．ウエハ検査ステージ(4)カメラユニットエッジ検査用：３．５倍高解像テレセントリックレンズラインセンサカメラ＜ＮＵＦ１０２４Ｄ＞Ｖノッチ部用：２．０倍テレセントリックレンズ２次元ＣＣＤカメラノッチ端面２方向観察用IV．システム仕様１．概要エッジは，表面，側面，裏面の３方向より，３台のラインセンサカメラで取り込みます。但し，ノッチ部側面については，エリアカメラにて２方向からみるものとします。」(15)被告は，本多エレクトロンに対し，平成１３年１月２４日 面の３方向より，３台のラインセンサカメラで取り込みます。但し，ノッチ部側面については，エリアカメラにて２方向からみるものとします。」(15)被告は，本多エレクトロンに対し，平成１３年１月２４日，「φ３００ｍｍ自動端面欠陥座標計測装置」の納入仕様書を提出した（甲４５）。甲４５には次の記載がある。 「II．仕様４．(1)端面検出光学系ラインセンサカメラＮＵＦ１０２４Ｄ１０２４画素高速デジタルラインセン- 47 -サカメラ（３台）(2)ノッチ部検出光学系エリアＣＣＤカメラＭＰ－ＭＩＡ６４０×４８０画素カメラ（２台）III．システム仕様１．概要…エッジは，表面，側面，裏面の３方向より，３台のラインセンサカメラで取り込みます。但し，ノッチ部側面については，エリアカメラにて２方向からみるものとします。」(16)平成１３年２月６日，被告の大阪技術センターにおいて，本多エレクトロンのＲ，Ａ，被告のＳ，Ｐが出席して，ウエハ端面欠陥座標計測装置仕様打合せが行なわれ（甲１４），同月９日に，ＭはＡに対し，二次元ＣＣＤカメラによるノッチ端面画像及びラインセンサカメラによるノッチベベル面画像を送付した（甲１５，１６）。 (17)Ｍは，Ｓに対し，平成１３年２月１７日から同月２３日にかけて電子メールを送信した（甲１７ないし２０）。このうち同年２月１９日付け電子メール（甲１８）には，「ノッチベベル面を他のベベル面と同様にラインセンサカメラで見るというのは照明が煩雑になります。エリアセンサカメラで見るのが実用的と思います。またノッチをエリアセンサカメラで見る場合，上，横，下の３箇所から見るというのが妥当ではないでしょうか。」との記載があり，同月２０日付け電子メール（甲１９）には，「ノッチのベベル面はエリアセンサカメラで見るように，方針を カメラで見る場合，上，横，下の３箇所から見るというのが妥当ではないでしょうか。」との記載があり，同月２０日付け電子メール（甲１９）には，「ノッチのベベル面はエリアセンサカメラで見るように，方針を変えるというのはいかがでしょうか？」との記載があり，同月２３日付け電子メール（甲２０）には，「これまでの実験からは，ノッチの撮影は次の構成になるかと思います。上下ベベル：それぞれカメラ一台，円錐上ＬＥＤ照明一つ。ノッチ側面：左右，それぞれカメラ１台，メタハラ面照明２枚（間から覗きます）。ノッチ正面：- 48 -カメラ１台，照明は上記メタハラ面照明を併用。カメラは計５台，照明はＬＥＤが２個，メタハラが４個になります。」との記載がある。 そして，Ｍは，Ａに対し，平成１３年３月１日に電子メールを送信し（甲２１），その中で，「ノッチベベル面の撮影をラインセンサカメラで行うことを断念し，エリアカメラに切り替えた理由を記します。添付画像をご覧下さい。左は，Ｃ型メタハラ照明のみの場合で，光軸のやや左側より照射しています。右は，それに加え，光軸の右側に１００Ｗの白熱電球を配置したものです。左側面が見えるようになりましたが，右側面用にもう一つ電球が必要です。結局，上下で計４個の電球が必要になり，照明が非常に煩雑になります。また，電球は，破損，寿命の問題もあります。（中略）一方，エリアカメラで撮影したノッチベベル面は，分解能はラインセンサカメラの場合に比べ劣りますが，十分なものが得られていると思います。」と述べている。 (18)平成１３年３月５日，被告のＳ，Ｐ，本多エレクトロンのＲ，Ｃ，Ｂ，Ａが出席して「自動端面欠陥座標計測システム極秘ミーティング」が行なわれた（甲３１，５８）。この際，本多エレクトロンは，被告に対し，φ３００ｍｍ自動端面欠陥座標計測装置開発 レクトロンのＲ，Ｃ，Ｂ，Ａが出席して「自動端面欠陥座標計測システム極秘ミーティング」が行なわれた（甲３１，５８）。この際，本多エレクトロンは，被告に対し，φ３００ｍｍ自動端面欠陥座標計測装置開発評価器材一式の借用を依頼した（甲２７）。 また，Ｍは，同日付けで「品名：φ３００ｍｍ自動端面欠陥座標計測装置形式：ＬＷ－３００ＤＸ」と題する本多エレクトロン宛ての仕様書（甲４６）及び「ウエーハエッジ検査装置ノッチ検査用光学系図面」（甲２３）を作成した。 前記甲２３及び４６には，ノッチを観察するためのエリアカメラ５台を使用する構成が，甲４６にはラインセンサカメラ３台を使用する構成がそれぞれ記載されている。 (19)Ｍは，平成１３年３月２６日付けで「品名：φ３００ｍｍ自動端面欠陥- 49 -座標計測装置形式：ＬＷ－３００ＤＸ」と題する本多エレクトロン宛ての仕様書（甲２６）を作成した。甲２６には，下記の記載がある。 「用途φ３００ｍｍシリコンウエハー端面欠陥座標計測装置画像処理部」（１頁）「２．１号機検収条件①ウエハー端面（上面ベベル・側面・下面ベベル）の良質な画像を撮像出来ること。」（２頁）「II仕様２．対象物仕様(2)ウエハー端面形状ユーザー提供別紙＜Ｔｙｐｅ－Ａ，Ｔｙｐｅ－Ｂウエハー端面／ノッチ形状＞資料に準ずる」３．画像処理部仕様(1)端面検出光学系ラインセンサカメラ１０２４画素高速デジタルラインセンサカメラ（３台）レンズ３．５倍テレセントリックタイプ（３本）照明高輝度メタルハライドランプ（１台），ライトガイド（特殊Ｃ型リングライト）(2)ノッチ部検出光学系エリアＣＣＤカメラ７６８×４９４画素カメラ（５台）レンズ２．０倍高解像度レンズ（５本）照明ＬＥＤ無影照明ベベル部：ＬＡＶ－８０（２本 （特殊Ｃ型リングライト）(2)ノッチ部検出光学系エリアＣＣＤカメラ７６８×４９４画素カメラ（５台）レンズ２．０倍高解像度レンズ（５本）照明ＬＥＤ無影照明ベベル部：ＬＡＶ－８０（２本），ＬＥＤ面照明側面：ＬＤＬ－７４×２７－Ｎ（３本）- 50 -Ⅲシステム仕様 構成２．１カメラ構成エッジは，表面，側面，裏面の３方向より，３台のラインセンサカメラで取り込みます。但し，ノッチ部側面については，エリアカメラにて５方向からみるものとします。」以上の記載の他に，図面（８頁）には，エリアカメラ２（ノッチ左側面観察用），エリアカメラ３（ノッチ右側面観察用），エリアカメラ４（ノッチ上ベベル用），エリアカメラ１（ノッチ底面用），エリアカメラ５（ノッチ下ベベル用），ラインセンサ２（表面観察用），ラインセンサ１（側面観察用），ラインセンサ３（裏面観察用）が記載されている。「２．２装置構成図」（９頁）には，エリアカメラ１～５及びラインセンサカメラ１～３からのデータを処理するパソコン（側面観測用パソコン，表面観測用パソコン，裏面観測用パソコン）が示されている。 (20)被告のＭ，Ｔと本多エレクトロンのＡ，Ｂとの間で平成１３年１０月１７日に契約内容の事前確認が行なわれ，この際に作成されたメモ（甲３２，５９）には，「１．ＮＥＤ殿の申し入れ事項」に「ＬＷ－３００ＤＸの光学販売権はＮＥＤにあると主張」と，「２．本多見解」に「ＬＷ－３００－ＤＸの光学部販売権はＮＥＤ殿と本多にあると主張」と記載されている。 (21)被告は，平成１３年１０月２４日，「品名：φ３００ｍｍウェーハ端面欠陥座標検査システム初号機及びその開発形式：ＬＷ－３００ＤＸ－１Ａ」と題する本多エレクトロン宛ての取扱説明書兼メインテナンスマニュアル（光学系編）を作成した（ 「品名：φ３００ｍｍウェーハ端面欠陥座標検査システム初号機及びその開発形式：ＬＷ－３００ＤＸ－１Ａ」と題する本多エレクトロン宛ての取扱説明書兼メインテナンスマニュアル（光学系編）を作成した（甲２８）。甲２８には，次の記載等がある。 ア「図１－１．光学系概観」（３頁）には，「エリアセンサカメラ，ＬＥＤ照明（ノッチ観察用）」，「ラインセンサカメラ（エッジ上面観察用）」，「ラインセンサカメラ（エッジ側面観察用）」，「ラインセンサ- 51 -カメラ（エッジ下面観察用）」，「Ｃ型ライトガイド」，「メタルハライド光源」，「ラインセンサカメラ取り付けステージ」及び「ラインセンサカメラ取り付けステージ固定台」が示されている。 イ「２．ラインセンサの光学系」（４～１１頁）には，「各ラインセンサは，Ｃ型ライトガイドからの照明を，正反射で受けるよう配置します。」（４頁），「図２－６は，Ｃ型照明を，ファイバ接続部のファイバ軸まわりに少し回転させ，より輝度の高い成分のテーパ面からの正反射光が下カメラに入るように調整したものです。」（８頁），との記載があり，図２－８には，Ｃ型ライトガイドが，ウエーハのエッジの厚さ方向に沿う所定の円弧に沿って照射面を形成し該円弧の中心に向けて収束するように配置されていることが示されている。 ウ「３．ラインセンサの取り付け，調整手順」（１２頁）には，「側面，上面，下面用の各カメラ取り付けステージを，垂直に立った固定台の側面に取り付けます（図１－１）。」との記載がある。 エ「４．エリアセンサの光学系」（１４頁）には，次の記載がある。 「図では，角型照明と円錐状同軸無影照明がウェーハ上に映っていますが，実際も，このようにウェーハに対して上下に対象に照明が配置されています（ウェーハが透けているとイメージしてください）。 ノッチ 。 「図では，角型照明と円錐状同軸無影照明がウェーハ上に映っていますが，実際も，このようにウェーハに対して上下に対象に照明が配置されています（ウェーハが透けているとイメージしてください）。 ノッチ部側面にあたる，底面，左側面，右側面は，２枚の角型照明の隙間から覗く形で撮影します。隙間は５ｍｍ程度が適当です。 上，下テーパ面は，円錐状同軸無影照明の中央部から覗く形で撮影します。」オ「５．エリアセンサの取り付け，調整手順」（１５頁）には，「照明に関しても，光軸方向に移動させ，最適な場所を探します。」との記載がある。 カ「６．構成品リスト」（１６頁）には，「①ラインセンサ光学系」とし- 52 -て，ラインセンサカメラ３個，メタルハライドランプ１個，Ｃ型ライトガイド１個が，また「②エリアセンサ光学系」として，エリアセンサカメラ５個，ＬＥＤ照明器（１）２個，ＬＥＤ照明器（２）２個がそれぞれ記載されている。 キ「８．保守体制」（１８頁）には，「お問合せ先：日本エレクトロセンサリデバイス株式会社（判決注：被告を指す。）ＥＭＩ事業部担当：Ｍ」と記載されている。 (22)平成１３年１１月１日，本多エレクトロンと被告との間で，覚書が交わされた（甲５７）。この甲５７には，次の記載がある（判決注：甲は本多エレクトロン，乙は被告を指す。）。 「双方は，甲がウェハー端面欠陥座標検査システム（以下本件）を１０月度に検収する条件が，以下の三点であることを確認しました。 （中略）３．乙は，本件に係る情報を第三者に公開する場合，事前に甲の同意を得ます。」(23)被告は，本多エレクトロンに対し，平成１３年１２月２０日に本件ウエーハエッジ検査装置を納品した（乙２１，弁論の全趣旨）。 他方，本多エレクトロン及び東芝セラミックスは，本多エレクトロンのＡ，Ｂ，Ｃ及 被告は，本多エレクトロンに対し，平成１３年１２月２０日に本件ウエーハエッジ検査装置を納品した（乙２１，弁論の全趣旨）。 他方，本多エレクトロン及び東芝セラミックスは，本多エレクトロンのＡ，Ｂ，Ｃ及び東芝セラミックスのＤ，Ｅ，Ｆを発明者として，同人らから本件各発明についてそれぞれ特許を受ける権利を承継し，平成１４年２月１９日に上記６名を発明者として特許出願（特願２００２－４２３９８）をした。 判断 (1)以上認定した事実によれば，本多エレクトロンは本件ウエーハエッジ検査装置の開発を行なったが，その過程で，被告に対して，平成１２年９月末ころに上記装置の共同開発を，同年１０月２０日にはノッチ部の検査手法の- 53 -検討を，それぞれ依頼したこと，これに対して，被告の担当者であるＭは，本多エレクトロンに検討結果を報告し，同年１２月１１日に本件発明１が含まれる仕様書（甲１１）をいったん作成，提供したが，その後も仕様変更を行なう等して実験を継続し，その結果仕様変更前の構成が相当であるとの認識を持ち，平成１３年３月２６日に本件各発明が記載された仕様書（甲２６）を作成して，これを本多エレクトロンに宛てて提示したものであり，本件発明１は，この時点又はそれ以降に完成したというべきである。 以上の経緯及び後記(2)における認定判断に照らすならば，本件発明１の発明者にＭが含まれることは明らかである。そして，本件発明２ないし３５は，いずれも本件発明１を含むものであるから，結局，本件各発明の発明者にＭが含まれることも明らかである。 (2)この点について，原告は以下のとおり主張する。しかし，いずれも理由がない。 ア原告は，本件各発明は平成１２年５月ころまでに完成し，被告は本件各発明の完成後に関与したにすぎないと主張する。しかし，原告の主張は採用できない 下のとおり主張する。しかし，いずれも理由がない。 ア原告は，本件各発明は平成１２年５月ころまでに完成し，被告は本件各発明の完成後に関与したにすぎないと主張する。しかし，原告の主張は採用できない。 すなわち，上記２で認定した事実によれば，そもそも，当初の仕様（甲７，３０）には本件発明１の構成要素であるノッチ撮像部が含まれていないし，被告は本多エレクトロンから本件ウエーハエッジ検査装置の共同開発を持ちかけられた際に本件各発明の内容の開示を受けた事実もない。また，平成１２年１０月２０日にはノッチ検査手法の検討を依頼した事実，完成した本件ウエーハエッジ共同装置の販売権に関しては，被告のみならず本多エレクトロンも，販売権が被告にあると認識していた事実，秘密保持の合意も平成１３年１１月１日になってはじめて行なわれている事実，及び，仮に，本件各発明の完成時期が，原告の主張に係る時期であるとすると，発明完成から約２年後の平成１４年２月に，特許出願が行なわれた- 54 -ことになり不自然であること等の事実経緯に照らすならば，原告の上記主張は到底採用の限りでない。 また，原告は，平成１２年１０月２０日の打合せにおいて，本多エレクトロンは，被告に対しノッチ部の撮像も複数のエリアカメラで行なうよう要請したが，被告が，ラインセンサメーカーであるため，ラインセンサで行なうことを主張し譲らなかったので，本多エレクトロンが被告に対し，ノッチ検査の手法の検討を指示したとも主張する。しかし，前記認定のＡ作成の議事録及びＰ作成の打合せ記録（甲８）には，上記本多エレクトロンの要請や同社と被告との主張の対立やそれをうかがわせる記載はない。 原告の上記主張は採用できない。 イ原告は，Ａ作成のノート（甲４８，６７）は，平成１０年２月ころから平成１２年５月ころまでの間に作成 の要請や同社と被告との主張の対立やそれをうかがわせる記載はない。 原告の上記主張は採用できない。 イ原告は，Ａ作成のノート（甲４８，６７）は，平成１０年２月ころから平成１２年５月ころまでの間に作成され，本件発明１の構成がすべて記載されていることを根拠に，平成１２年５月ころに本件各発明が完成したと主張し，Ａ作成の陳述書（甲７６）にもこれに沿った記載がある。 しかし，原告の主張は，以下のとおり失当である。 確かに，甲４８（甲６７）の３０頁，２４頁，２５頁及び５０頁には本件発明１の構成要件ｂ，ｃ，ｇを含む図面の記載等があるが，これらの図面等がいつ作成されたかについては，甲４８（甲６７）からは明らかではない。仮に，上記図面等が被告が関与する以前に記載されたとしても，前記２で認定した事実に照らせば，上記図面等は本件各発明の着想にとどまり，Ｍら被告の技術者が実験等により検証し具体化したものということができるので，上記記載をもってＭを含む被告の技術者が本件各発明の発明者でないこと裏付けるものとはいえない。そして，甲４８（甲６７）に基づく本件発明１の完成時期の主張が失当であることは前記(1)のとおりである。原告の主張は理由がない。 ウ原告は，甲６３の１ないし３，甲６８において本件発明１の構成が記載- 55 -されていると主張する。 しかし，原告の上記主張も，以下のとおり失当である。 すなわち，甲６３の１ないし３記載の構成は，いずれも周縁部を撮像するエリアセンサカメラを１台しか備えておらず，周縁部を撮像する複数のラインセンサカメラ（エッジ用）と複数のエリアセンサカメラ（ノッチ用）を特徴的部分とする本件発明１とは異なる。 また，本件発明１は，エッジとノッチで使用するカメラを使い分けることを特徴的部分とするのに対し，甲６８記載の実験は，エッジとノッチの両 サカメラ（ノッチ用）を特徴的部分とする本件発明１とは異なる。 また，本件発明１は，エッジとノッチで使用するカメラを使い分けることを特徴的部分とするのに対し，甲６８記載の実験は，エッジとノッチの両方をエリアセンサで撮像する構成であり，本件発明１とは異なる。原告は，エッジの撮像はラインセンサで行なうことを前提として実験がなされていると主張するが，ラインセンサとエリアセンサとでは，必要とされる光学条件及びその後の画像処理が異なるので，失当である。 エ原告は，上記確認依頼書に本件発明１の構成を採用することが示されていると主張する。しかし，甲６９には，本件各発明の特徴的部分の１つであるノッチ撮像用カメラの具体的構成について何ら記載されていないし，エリアセンサカメラ３台を配置するとの記載はあっても，それを「厚さ方向の異なる部位」に撮像するように配置することまでは開示されていない。原告の上記主張は採用できない。 オ原告は，本多エレクトロンが，本件各発明の完成を受けて，甲４２（Ｂ作成の平成１２年１０月２３日付け図面）が作成されたと主張する。 しかし，甲４２の右上図と左下図にそれぞれ記載されているカメラはほぼ同じ寸法，形状であり，装置への取り付け態様もほぼ同じであることが認められるところ，撮像方式の異なるラインセンサとエリアセンサとは通常，異なる寸法，形状からなり，取り付け態様も異なるものから構成されることからすれば，上記カメラのうち一方がラインセンサであり，他方がエリアセンサであると認めることはできない。原告の上記主張は採用でき- 56 -ない。 カ原告は，Ｍが作成した見積仕様書（甲１１）は，Ａ作成のノート（甲７０）を反映したものにすぎないと主張する。しかし，甲７０にはノッチ撮像部に関する構成（構成要件ｄ，e,ｇ）が開示されているのみで，本件 原告は，Ｍが作成した見積仕様書（甲１１）は，Ａ作成のノート（甲７０）を反映したものにすぎないと主張する。しかし，甲７０にはノッチ撮像部に関する構成（構成要件ｄ，e,ｇ）が開示されているのみで，本件発明１の特徴的部分である構成要件ｂ，ｃが開示されていないし，両者はカメラの水平となす角度及び照明とカメラとの位置関係の点で異なっている。原告の主張は失当である。 また，原告は，Ａが平成１２年１２月６日から８日まで開催された「セミコン・ジャパン２０００」（甲７１）の会場内において，被告のＳ及びＴに対し甲７０を示して本件発明１の内容を開示したと主張し，Ａ作成の陳述書（甲７６）にもこれに沿う記載がある。しかし，陳述書の記載を裏付ける証拠はないのみならず，また，甲７０には本件各発明の特徴的部分がすべて開示されているとはいえないことは前記のとおりである。原告の主張は採用できない。 ⑶結語以上のとおり，原告の主張する取消事由には理由がない。原告はその他縷々主張するが，審決を取り消すべきその他の誤りは認められない。 よって，原告の請求は理由がないから棄却することとし，主文のとおり判決する。 知的財産高等裁判所第３部裁判長裁判官飯村敏明裁判官中平健- 57 -裁判官上田洋幸
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